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《河北省科学院学报》 2008年04期
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Sol-甩膜法制备钛酸钡薄膜及其微观形态的SPM研究

申玉双  杨芙丽  许新芳  翟学良  
【摘要】:采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法合成稳定的前驱体溶液,在单晶硅(100)上用甩膜法制得了均匀致密的钛酸钡薄膜,利用差热-热重(DTA-TGA)技术分析了钛酸钡(BT)干凝胶的热演化过程,首次用电子探针显微镜(SPM)之原子力显微镜(AFM)直接地从三维的角度观测了钛酸钡薄膜微观形成过程,并用XRD技术跟踪了薄膜加热过程中物相的变化情况,得到了薄膜生长的基本信息,最终制得了表面光滑的钛酸钡薄膜,晶粒大小在50-70nm之间。最佳煅烧温度为700℃。

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【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 王芳平;甩胶喷雾热分解方法制备BaTiO_3薄膜及其介电性能研究[D];北京化工大学;2010年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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中国重要会议论文全文数据库 前1条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 荣英凤;BDT铁电薄膜和ZnO纳米带压电性能的测试与表征[D];湘潭大学;2010年
2 王慧;钛酸钾及钛酸钾晶须的制备及其补强性质的研究[D];江南大学;2011年
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【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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3 李承恩,李毅,徐曾华,单双,周家光,朱为民;无铅压电材料NBT-BZT陶瓷压电性能及改性[J];电子元件与材料;2003年05期
4 赵鹏,张良莹,姚熹;复相功能玻璃陶瓷及其溶胶-凝胶法制备[J];功能材料;2000年01期
5 刘静波,王智民,郑春萍,谷林夫,李文超;铈、镧掺杂BaTiO_3基纳米晶的合成与表征[J];功能材料;2000年01期
6 朱基亮,朱建国,申林,潘宇,肖定全;射频磁控室温溅射(Pb,La)TiO_3薄膜退火前后的原子力显微镜分析[J];功能材料;2000年06期
7 李继光,孙旭东,茹红强,郝士明;湿化学法合成单分散陶瓷超微粉体的基本原理[J];功能材料;1997年04期
8 龚健,陶明德;溶胶-凝胶法制备BaTiO_3系薄膜[J];功能材料;1998年04期
9 肖静,孙晓琴,刘韩星,欧阳世翕;织构型钙钛矿铁电材料的研究进展[J];硅酸盐通报;2004年05期
10 孙一军,张良莹,姚熹;BaTiO_3薄膜的MOCVD方法制备及进展[J];硅酸盐通报;1998年02期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
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【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前5条
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【相似文献】
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7 陈庆东;胡晓亮;李立本;;梯度应变对钛酸钡薄膜介电行为的影响[J];河南科技大学学报(自然科学版);2009年06期
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2 朱涛;韩高荣;丁子上;;溶胶-凝胶法制备钛酸钡薄膜[A];第二届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1995年
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中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 蔡苇;钛酸钡基陶瓷的制备、微结构及介电性能研究[D];重庆大学;2011年
2 孙铁昱;纳米/亚微米晶钛酸钡铁电陶瓷的晶粒尺寸效应研究[D];清华大学;2010年
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1 刘志鹏;掺杂钛酸钡薄膜的合成及性能研究[D];华东师范大学;2010年
2 张艳;熔融盐法制备钛酸钡和钛酸镁的研究[D];大连理工大学;2012年
3 鞠少功;锆钛酸钡钙基陶瓷与薄膜的电性能研究[D];广东工业大学;2012年
4 胡晓亮;梯度应变对钛酸钡薄膜介电行为的影响与量子操作的实现[D];河南科技大学;2009年
5 陈日科;钛酸钡基纳米管阵列的制备、微结构及介电性能研究[D];海南大学;2012年
6 高婉丽;Zn-Mn共掺钛酸钡薄膜的化学溶液法制备与特性研究[D];华东师范大学;2012年
7 陈海涛;钛酸钡系钙钛矿结构薄膜的制备和性能[D];河南大学;2006年
8 刘爱青;可低压驱动的钛酸钡薄膜场发射研究[D];中国海洋大学;2006年
9 陈缔;锆钛酸钡陶瓷和钛酸钡纳米阵列的制备及研究[D];海南大学;2012年
10 梁伟正;高分子辅助沉积法在镍基片上生长钛酸钡薄膜的研究[D];电子科技大学;2012年
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