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一种超小型1×2微机械光开关

鲍俊峰  邹勇卓  吴兴坤  
【摘要】:设计制作了一种非硅基底的 1× 2微机械光开关 ,利用电磁驱动微反射镜运动实现输出端口切换 ,开关时间 3ms ,封装尺寸缩小至 2 1mm× 16mm× 12 .6mm ,驱动电压 5VDC ,经 5× 10 6 次开关重复性测试 ,性能稳定

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