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《光子学报》 2003年01期
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磁控溅射法制备二氧化钒薄膜最佳参量的研究

刘金城  鲁建业  田雪松  掌蕴东  袁萍  贾晓玲  王骐  
【摘要】:用X射线电子能谱仪 (XPS)对不同条件下用磁控溅射法制备的VO2 薄膜进行测试 ,得到VO2 薄膜内部组成成份的信息 .研究了获得高含量VO2 薄膜的最佳制备参量 .同时还观察到V2 O3、VO2 、V2 O5以接近含量共存的现象 ,这与以前研究所给出的薄膜几乎只由V2 O3、VO2 、V2 O5中的两种组成的结论有所不同 .

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 张弛,刘梅冬,曾亦可,刘少波,黄焱球;VO_2薄膜的研究和应用进展[J];材料导报;2003年S1期
2 韦珏,徐晓峰,耿和平,康智慧,姜云,高锦岳;平面光波导折射率分布的测定[J];光子学报;2005年04期
3 沈自才,宋永香,王英剑,范正修,邵建达;非均匀性对单层膜光学特性的影响[J];光子学报;2005年10期
4 田雪松,刘金成,掌蕴东,鲁建业,王骐;二氧化钒薄膜的退火组分变化及光学特性研究[J];激光技术;2005年03期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 田雪松;刘金城;李连江;王骐;;ZnSe基片上氧化钒薄膜的制备及热非线性吸收特性[A];第十七届全国激光学术会议论文集[C];2005年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 田雪松,刘金成,掌蕴东,鲁建业,王骐;二氧化钒薄膜的退火组分变化及光学特性研究[J];激光技术;2005年03期
2 孙志君;红外焦平面阵列技术的发展现状[J];半导体光电;2000年S1期
3 李华高,杨子文,刘爽;非制冷红外探测器用VO_x薄膜的制备[J];半导体光电;2001年01期
4 赵康,魏建锋,孙军,谷臣清;溶胶凝胶法制备VO_2薄膜的组织与性能研究[J];功能材料;2002年01期
5 尹大川,许念坎,刘正堂,张晶宇,郑修麟;VO_2薄膜的主要制备工艺参数研究[J];功能材料;1997年01期
6 葛欣,尚志航,秦岩,卢志玉;氢水平衡法制备二氧化钒薄膜及XPS能谱分析[J];光谱实验室;2002年06期
7 卢勇,林理彬;真空还原制备的VO_2热致相变薄膜光学性质研究[J];激光杂志;2001年03期
8 袁宁一,李金华,林成鲁;溶胶-凝胶VO_2薄膜转换特性研究[J];物理学报;2002年04期
9 姜永睿,胡雄伟,杨沁清,王红杰,杨澜,郑金红,谢二庆;溶胶-凝胶法制备光波导薄膜及性质的研究[J];光子学报;2004年09期
10 孔伟金,吴福全,郝殿中,王吉明,邵建达;窄带薄膜偏光分束镜的研制及其性能测试[J];光子学报;2004年11期
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 原晨光;还原五氧化二钒制备钒的低价氧化物[D];浙江大学;2005年
2 徐灿阳;低价钒的氧化物制备及其与LAS微晶玻璃复合[D];浙江大学;2006年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 陈庆连,陈长琦,王君,方应翠,王旭迪;DC反应磁控溅射制备VO_2薄膜及XPS分析[J];合肥工业大学学报(自然科学版);2005年10期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 田雪松;刘金城;李连江;王骐;;ZnSe基片上氧化钒薄膜的制备及热非线性吸收特性[A];第十七届全国激光学术会议论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 张希珍;1.55μm波段聚合物光波导放大器的基础研究[D];吉林大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 陈庆连;反应磁控溅射制备VO_2薄膜及表面特征研究[D];合肥工业大学;2006年
2 梁雄;平面光波导衍射场特性分析及其在参数测量中的应用[D];福建师范大学;2006年
3 叶淼;平板波导传感器的设计与分析[D];哈尔滨工程大学;2007年
4 乔明霞;薄膜光学常数和厚度的透射光谱法测定研究[D];四川大学;2006年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 韩茂畴,徐温元;转换效率为7.9%的非晶硅PIN电池的获得[J];半导体光电;1986年01期
2 刘金城,鲁建业,田雪松,掌蕴东,袁萍,贾晓玲,王骐;磁控溅射法制备二氧化钒薄膜最佳参量的研究[J];光子学报;2003年01期
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