MOCVD激光诱导选择原子层外延(LALE)生长室的研究

【摘要】：本文对 MOCVD 激光诱导选择原子层外延进行了研究,设计并制作了一种激光诱导原子层外延生长室结构,该系统能实现低温 MOCVD 生产,可形成稳定的层流,易于生长均匀的外延层,通过激光诱导可实现选择性的原子层外延.

【作者单位】：华中理工大学激光技术国家重点实验室华中理工大学激光技术国家重点实验室华中理工大学激光技术国家重点实验室华中理工大学激光技术国家重点实验室华中理工大学激光技术国家重点实验室华中理工大学激光技术国家重点实验室
【基金】：电科院预研基金
【分类号】：TN249

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前1条

1	罗风光，曹明翠，李洪谱，李一男，黄林强，艾军，徐军，李再光;65×65点阵Dammann光栅分束器[J];高技术通讯;1994年06期

	【共引文献】
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中国硕士学位论文全文数据库

前3条

1	徐兵;光束整形元件的位相编码及制作工艺研究[D];苏州大学;2004年
2	邹杰宇;基于改进GS算法的COE设计信息处理系统研究[D];电子科技大学;2007年
3	刘鹏;利用二元光学元件实现激光波前整形[D];大连理工大学;2008年

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前2条

1	王昆林;;激光诱导沉积技术及其应用[J];表面技术;1993年06期
2	葛柏青,王豫;激光诱导化学气相沉积制膜技术[J];安徽工业大学学报(自然科学版);2004年01期

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前10条

1	刘国军，徐莉，史全林，王喜祥，张千勇;水平式MOCVD系统生长速率均匀性的研究[J];激光技术;1994年04期
2	刘奕,陈海昕,符松;GaN-MOCVD设备反应室流场的CFD数值仿真[J];半导体学报;2004年12期
3	单正平;顾书林;朱顺明;;Zn_(1-x)Mg_xO合金的MOCVD生长及其紫外探测器的研究[J];半导体技术;2008年S1期
4	黄鑫;宋爱民;段利华;;1053nm超辐射发光二极管量子阱的设计[J];半导体光电;2010年04期
5	技物;中科院上海技物所承担的863高技术课题“HgCdTe-MOCVD薄膜材料长晶装置”通过成果鉴定[J];红外;1998年02期
6	梁松,朱洪亮,潘教清,王圩;用MOCVD在偏(100)GaAs基片上生长空间规则排列的1.3μm InAs量子点(英文)[J];半导体学报;2005年11期
7	龚正烈,刘冰,姚素薇,张国庆,张卫国,程晓曼;调Q脉冲YAG三波长激光诱导液相沉积Si甚Ni-Pd-P纳米膜[J];中国激光;1999年10期
8	黄妙良,林煜,林建明;陶瓷表面激光诱导局域化学镀覆金属镍的研究[J];激光杂志;2000年06期
9	李秀清;GaN蓝光-紫外光光电子材料与器件的研究现状[J];半导体情报;2000年02期
10	李建军,廉鹏,邓军,韩军,郭伟玲,沈光地;高迁移率GaAs本征外延层的MOCVD生长[J];半导体光电;2002年06期

中国重要会议论文全文数据库

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1	李庆;伏再喜;王莉;徐丽;吕良宏;张先燚;季学韩;崔执凤;;固体样品的飞秒双脉冲激光诱导击穿光谱研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
2	曹泉;郭亚辉;周晓东;胡继明;;微流控芯片中的激光诱导热透镜检测系统的构建[A];中国化学会第十届全国发光分析学术研讨会论文集[C];2011年
3	王琦;梁云仙;陈兴龙;王静鸽;杨阳;倪志波;董凤忠;;预烧蚀双脉冲激光诱导Fe等离子体发射光谱的实验研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
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5	陈顺利;赵元安;高鹏鹏;李大伟;贺洪波;邵建达;范正修;;纳秒激光表面改性对Ta_2O_5/SiO_2介质膜飞秒激光诱导损伤的影响[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
6	姜远飞;陈安民;刘航;金明星;丁大军;;TEA-CO_2激光诱导空气等离子体[A];第十六届全国原子与分子物理学术会议论文摘要集[C];2011年
7	王虎;;利用激光诱导气体等离子体实现整个THz甚至超远红外波段探测[A];第十三届全国红外加热暨红外医学发展研讨会论文及论文摘要集[C];2011年
8	陈金忠;张晓萍;郭庆林;苏红新;李光;;激光诱导熔穴对等离子体辐射增强效应的研究[A];第七届全国光学前沿问题讨论会论文摘要集[C];2007年
9	陈金忠;史金超;郭庆林;怀素芳;魏艳红;;高气压Ar气对激光诱导Cu等离子体电子温度的影响[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年
10	马洪良;杨俊毅;戴晔;鲁波;马国宏;;飞秒激光诱导金红石单晶相变和纳米光栅[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年

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1	本报记者诸玲珍;LED设备：关键设备依赖进口 MOCVD并非不可逾越[N];中国电子报;2010年
2	本报记者梁红兵;国产MOCVD设备下线有望降低LED成本[N];中国电子报;2010年
3	彭淑合;多角度创新解决散热难题[N];中国电子报;2011年
4	本报记者焦莉莉;LED照明,谁与争锋——[N];石家庄日报;2010年
5	本报记者胡敏邹平;乾照光电“速度”这样创造[N];扬州日报;2010年
6	本报记者付毅飞;虚拟仿真系统让晶片做得更好[N];科技日报;2005年
7	台湾电子设备协会总干事王信阳;台商加快LED布局关键设备有望突破[N];中国电子报;2010年
8	本报记者梁红兵;LED照明：发展硅衬底LED技术[N];中国电子报;2011年
9	樱敬;量子元件材料加工，纳米管和半导体谁主沉浮[N];中国有色金属报;2002年
10	国信证券陈健　李筱筠王念春段迎晟;政策支持需求旺盛 LED产业步入黄金发展期[N];通信信息报;2010年

中国博士学位论文全文数据库

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1	朱德华;激光诱导击穿光谱技术检测物质成分的理论应用分析和实验研究[D];南京理工大学;2012年
2	罗文峰;激光诱导击穿光谱技术的初步研究[D];中国科学院研究生院(西安光学精密机械研究所);2011年
3	张宏超;纳秒激光诱导空气等离子体光学诊断与机理分析[D];南京理工大学;2009年
4	彭新村;锑化物热光伏电池材料的MOCVD生长特性研究及其器件模拟[D];吉林大学;2010年
5	钟树泉;MOCVD设备工艺优化理论与低温InP/Si晶片键合机理的研究[D];北京邮电大学;2010年
6	李晖;MOCVD生长GaN的输运—反应模型研究[D];江苏大学;2012年
7	赵旺;MOCVD法制备氧化锌发光器件及薄膜晶体管的研究[D];吉林大学;2011年
8	黄永光;飞秒激光诱导金属表面微纳米结构的基础研究[D];北京工业大学;2010年
9	刘霖;激光腐蚀/刻蚀技术研究[D];电子科技大学;2009年
10	李明;高功率激光诱导液体介质产生等离子体的理论研究和实验测试[D];南京理工大学;2011年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	陈晟昊;激光诱导击穿光谱技术在蔬菜元素检测中的应用研究[D];延边大学;2010年
2	李铁强;激光诱导击穿光谱仪及应用[D];杭州电子科技大学;2011年
3	李秋连;激光诱导击穿光谱应用于柑橘和土壤中金属元素检测的分析研究[D];江西农业大学;2011年
4	马爽;激光诱导击穿光谱用于杨树叶片成分分析[D];长春理工大学;2011年
5	李伟;MOCVD的在线膜厚监测系统的设计与实现[D];武汉理工大学;2012年
6	徐彬彬;激光诱导三维金属布线的研究和应用于微流控系统[D];吉林大学;2010年
7	郑剑杰;基于自由定标法的激光诱导击穿光谱定量化分析技术研究[D];北京交通大学;2010年
8	张琳晶;激光诱导土壤等离子体辐射的增强方法研究[D];河北大学;2010年
9	费腾;用激光诱导等离子体光谱法分析碳钢样品中碳含量的实验研究[D];中国科学技术大学;2011年
10	刘加高;氧化锌MOCVD材料生长和器件应用[D];南京大学;2011年

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