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《光子学报》 1996年04期
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MOCVD激光诱导选择原子层外延(LALE)生长室的研究

罗风光  曹明翠  李洪谱  万安君  徐军  李再光  
【摘要】:本文对 MOCVD 激光诱导选择原子层外延进行了研究,设计并制作了一种激光诱导原子层外延生长室结构,该系统能实现低温 MOCVD 生产,可形成稳定的层流,易于生长均匀的外延层,通过激光诱导可实现选择性的原子层外延.

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 罗风光,曹明翠,李洪谱,李一男,黄林强,艾军,徐军,李再光;65×65点阵Dammann光栅分束器[J];高技术通讯;1994年06期
【共引文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 徐兵;光束整形元件的位相编码及制作工艺研究[D];苏州大学;2004年
2 邹杰宇;基于改进GS算法的COE设计信息处理系统研究[D];电子科技大学;2007年
3 刘鹏;利用二元光学元件实现激光波前整形[D];大连理工大学;2008年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 王昆林;;激光诱导沉积技术及其应用[J];表面技术;1993年06期
2 葛柏青,王豫;激光诱导化学气相沉积制膜技术[J];安徽工业大学学报(自然科学版);2004年01期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘国军,徐莉,史全林,王喜祥,张千勇;水平式MOCVD系统生长速率均匀性的研究[J];激光技术;1994年04期
2 刘奕,陈海昕,符松;GaN-MOCVD设备反应室流场的CFD数值仿真[J];半导体学报;2004年12期
3 单正平;顾书林;朱顺明;;Zn_(1-x)Mg_xO合金的MOCVD生长及其紫外探测器的研究[J];半导体技术;2008年S1期
4 黄鑫;宋爱民;段利华;;1053nm超辐射发光二极管量子阱的设计[J];半导体光电;2010年04期
5 技物;中科院上海技物所承担的863高技术课题“HgCdTe-MOCVD薄膜材料长晶装置”通过成果鉴定[J];红外;1998年02期
6 梁松,朱洪亮,潘教清,王圩;用MOCVD在偏(100)GaAs基片上生长空间规则排列的1.3μm InAs量子点(英文)[J];半导体学报;2005年11期
7 龚正烈,刘冰,姚素薇,张国庆,张卫国,程晓曼;调Q脉冲YAG三波长激光诱导液相沉积Si甚Ni-Pd-P纳米膜[J];中国激光;1999年10期
8 黄妙良,林煜,林建明;陶瓷表面激光诱导局域化学镀覆金属镍的研究[J];激光杂志;2000年06期
9 李秀清;GaN蓝光-紫外光光电子材料与器件的研究现状[J];半导体情报;2000年02期
10 李建军,廉鹏,邓军,韩军,郭伟玲,沈光地;高迁移率GaAs本征外延层的MOCVD生长[J];半导体光电;2002年06期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 李庆;伏再喜;王莉;徐丽;吕良宏;张先燚;季学韩;崔执凤;;固体样品的飞秒双脉冲激光诱导击穿光谱研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
2 曹泉;郭亚辉;周晓东;胡继明;;微流控芯片中的激光诱导热透镜检测系统的构建[A];中国化学会第十届全国发光分析学术研讨会论文集[C];2011年
3 王琦;梁云仙;陈兴龙;王静鸽;杨阳;倪志波;董凤忠;;预烧蚀双脉冲激光诱导Fe等离子体发射光谱的实验研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
4 吴涛;王新兵;饶志明;唐建;;脉冲CO_2激光诱导锡等离子体光谱观测[A];第十三届全国红外加热暨红外医学发展研讨会论文及论文摘要集[C];2011年
5 陈顺利;赵元安;高鹏鹏;李大伟;贺洪波;邵建达;范正修;;纳秒激光表面改性对Ta_2O_5/SiO_2介质膜飞秒激光诱导损伤的影响[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
6 姜远飞;陈安民;刘航;金明星;丁大军;;TEA-CO_2激光诱导空气等离子体[A];第十六届全国原子与分子物理学术会议论文摘要集[C];2011年
7 王虎;;利用激光诱导气体等离子体实现整个THz甚至超远红外波段探测[A];第十三届全国红外加热暨红外医学发展研讨会论文及论文摘要集[C];2011年
8 陈金忠;张晓萍;郭庆林;苏红新;李光;;激光诱导熔穴对等离子体辐射增强效应的研究[A];第七届全国光学前沿问题讨论会论文摘要集[C];2007年
9 陈金忠;史金超;郭庆林;怀素芳;魏艳红;;高气压Ar气对激光诱导Cu等离子体电子温度的影响[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年
10 马洪良;杨俊毅;戴晔;鲁波;马国宏;;飞秒激光诱导金红石单晶相变和纳米光栅[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 本报记者 诸玲珍;LED设备:关键设备依赖进口 MOCVD并非不可逾越[N];中国电子报;2010年
2 本报记者 梁红兵;国产MOCVD设备下线有望降低LED成本[N];中国电子报;2010年
3 彭淑合;多角度创新解决散热难题[N];中国电子报;2011年
4 本报记者 焦莉莉;LED照明,谁与争锋——[N];石家庄日报;2010年
5 本报记者 胡敏 邹平;乾照光电“速度”这样创造[N];扬州日报;2010年
6 本报记者 付毅飞;虚拟仿真系统让晶片做得更好[N];科技日报;2005年
7 台湾电子设备协会总干事 王信阳;台商加快LED布局 关键设备有望突破[N];中国电子报;2010年
8 本报记者 梁红兵;LED照明:发展硅衬底LED技术[N];中国电子报;2011年
9 樱敬;量子元件材料加工,纳米管和半导体谁主沉浮[N];中国有色金属报;2002年
10 国信证券 陈健 李筱筠 王念春 段迎晟;政策支持需求旺盛 LED产业步入黄金发展期[N];通信信息报;2010年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 朱德华;激光诱导击穿光谱技术检测物质成分的理论应用分析和实验研究[D];南京理工大学;2012年
2 罗文峰;激光诱导击穿光谱技术的初步研究[D];中国科学院研究生院(西安光学精密机械研究所);2011年
3 张宏超;纳秒激光诱导空气等离子体光学诊断与机理分析[D];南京理工大学;2009年
4 彭新村;锑化物热光伏电池材料的MOCVD生长特性研究及其器件模拟[D];吉林大学;2010年
5 钟树泉;MOCVD设备工艺优化理论与低温InP/Si晶片键合机理的研究[D];北京邮电大学;2010年
6 李晖;MOCVD生长GaN的输运—反应模型研究[D];江苏大学;2012年
7 赵旺;MOCVD法制备氧化锌发光器件及薄膜晶体管的研究[D];吉林大学;2011年
8 黄永光;飞秒激光诱导金属表面微纳米结构的基础研究[D];北京工业大学;2010年
9 刘霖;激光腐蚀/刻蚀技术研究[D];电子科技大学;2009年
10 李明;高功率激光诱导液体介质产生等离子体的理论研究和实验测试[D];南京理工大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 陈晟昊;激光诱导击穿光谱技术在蔬菜元素检测中的应用研究[D];延边大学;2010年
2 李铁强;激光诱导击穿光谱仪及应用[D];杭州电子科技大学;2011年
3 李秋连;激光诱导击穿光谱应用于柑橘和土壤中金属元素检测的分析研究[D];江西农业大学;2011年
4 马爽;激光诱导击穿光谱用于杨树叶片成分分析[D];长春理工大学;2011年
5 李伟;MOCVD的在线膜厚监测系统的设计与实现[D];武汉理工大学;2012年
6 徐彬彬;激光诱导三维金属布线的研究和应用于微流控系统[D];吉林大学;2010年
7 郑剑杰;基于自由定标法的激光诱导击穿光谱定量化分析技术研究[D];北京交通大学;2010年
8 张琳晶;激光诱导土壤等离子体辐射的增强方法研究[D];河北大学;2010年
9 费腾;用激光诱导等离子体光谱法分析碳钢样品中碳含量的实验研究[D];中国科学技术大学;2011年
10 刘加高;氧化锌MOCVD材料生长和器件应用[D];南京大学;2011年
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