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《工业计量》 2006年02期
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高精度衍射光栅干涉仪的研制

刘玉圣  范光照  陈叶金  
【摘要】:提出了一种新型的激光衍射光栅干涉仪测量系统,以光栅衍射原理和偏振光学为理论基础,配合正交信号的解相位细分原理,使得该系统可以达到纳米级分辨率。由于光栅干涉测量系统以光栅栅距作为测量基准,相对于传统干涉仪,光栅尺系统受环境因素造成的测量误差影响较小。通过实验校正,得到不同行程范围内光栅干涉测量系统的纳米级重复性误差,新型的激光衍射光栅干涉仪测量系统适合于较长行程的高精度位移测量。

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【引证文献】
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1 张金华;陈良洲;刘晓军;;双光栅干涉位移传感器原理及其误差分析[J];光电技术应用;2012年03期
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4 徐龙;何章宏;黑杨辉;刘晓军;;双光栅衍射位移测量实验仪的研制[J];实验技术与管理;2011年07期
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1 王伟丽;纳米三坐标测量机机械结构及接触式测头技术研究[D];合肥工业大学;2008年
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1 何章宏;双光栅干涉位移传感器及其电路系统研究[D];华中科技大学;2011年
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【同被引文献】
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【二级引证文献】
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5 陶胜;张珂;张晴;;基于DVD光学读取头的测微力计[J];计测技术;2012年04期
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1 王淑珍;基于白光干涉超精密表面形貌测量方法与系统研究[D];华中科技大学;2010年
2 程方;纳米三坐标测量机测控系统关键技术研究[D];合肥工业大学;2010年
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4 程伶俐;纳米工作台机械结构优化设计[D];合肥工业大学;2011年
5 丁邦宙;基于光纤布拉格光栅的触发式三维测头研究[D];合肥工业大学;2011年
6 王晨晨;异端类型三坐标测量机结构原理及误差修正技术研究[D];合肥工业大学;2012年
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1 吴盈;基于阿贝补偿原理的光栅电感组合轮廓测量系统研究[D];湖北工业大学;2011年
2 王轶;车身焊接精度的研究[D];吉林大学;2011年
3 武志超;基于三维微触觉测头的纳米坐标测量系统[D];天津大学;2012年
4 储玉芬;基于衍射光栅计量的宏微定位系统的研究[D];湖北工业大学;2010年
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5 樊振军;张自力;董爱国;冯娟;郝会颖;周惟公;;关于开设大学特色物理实验的研究——显微镜组装实验的改进[A];北京高教学会实验室工作研究会2009年学术研讨会论文集[C];2009年
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8 苏章菲;曾冬梅;孙世刚;;不同偏振光下Pt纳米薄膜的原位红外反射光谱研究和理论分析[A];第十五届全国分子光谱学术报告会论文集[C];2008年
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10 邵洁;陈林森;解剑峰;胡元;;数字全息图像光学效果的模拟显示技术研究[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
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2 证券时报记者 刘行健;3D显示标准之争 成本决胜负[N];证券时报;2011年
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9 曹彬;垂直腔面发射激光器偏振特性和光谱特性的研究[D];河北工业大学;2006年
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