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《硅酸盐学报》 1999年03期
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APCVD法SiH_4-NH_3-CO_2系统制备氧氮玻璃薄膜的研究

余京松  钱晓倩  马青松  葛曼珍  孟祥森  杨辉  
【摘要】:在660℃下以SiH4-NH3-CO2作为反应气体利用常压CVD(APCVD)设备沉积得到了氧氮玻璃薄膜.此温度比文献报道的APCVD法低200℃以上,有效地降低了沉积温度.实验发现NH3中水汽对沉积反应的显著影响.初步研究表明:运用APCVD法将这种薄膜应用于普通钠钙硅玻璃的表面改性,可使镀膜玻璃的表面硬度比退火玻璃提高了50%以上

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 魏文霖,孟祥森,袁骏,杨辉,葛曼珍,季振国;SiON薄膜中氢的研究[J];材料导报;2000年03期
2 杨辉,丁新更,孟祥森,马青松,葛曼珍;APCVD制备氮化硅薄膜的微观结构[J];功能材料;2000年06期
3 孟祥森,马青松,葛曼珍,杨辉;常压化学气相沉积法氮氧化硅薄膜性能的研究[J];硅酸盐通报;2000年02期
4 丁新更,杨辉,孟祥森;常压CVD法制备氮氧化硅薄膜沉积特性的研究[J];硅酸盐学报;2003年11期
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中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 丁新更;杨辉;孟祥森;葛曼珍;;APCVD法氮氧化硅薄膜沉积速率与生长模式研究[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 吴峰;ZnS:Cu电致发光粉表面包覆SiO_2的研究[D];河北大学;2003年
2 李娟;CVD法采用TEOS-O_3沉积二氧化硅膜[D];河北大学;2004年
3 朱建强;玻璃基板上硅薄膜结构和性能的研究[D];浙江大学;2005年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 周海,吴大兴,杨川,高国庆;DC-PCVD法快速制备Si_3N_4薄膜[J];硅酸盐学报;1997年04期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 魏文霖,孟祥森,袁骏,杨辉,葛曼珍,季振国;SiON薄膜中氢的研究[J];材料导报;2000年03期
2 梁宗存,沈辉,李戬洪;辐射致冷用氮化硅薄膜的微观结构和光学性质[J];太阳能学报;2001年03期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 田春艳;纳米Si_3N_4基陶瓷复合材料的制备与性能研究[D];合肥工业大学;2007年
【同被引文献】
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【二级引证文献】
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2 申继伟;郭亨群;曾友华;吕蓬;王启明;;纳米硅镶嵌氮化硅薄膜的制备与光致发光特性[J];半导体技术;2007年09期
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5 丁新更,杨辉,孟祥森;常压CVD法制备氮氧化硅薄膜沉积特性的研究[J];硅酸盐学报;2003年11期
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中国重要会议论文全文数据库 前1条
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中国博士学位论文全文数据库 前1条
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1 吕劲锋;功率晶体管封装中铜丝键合工艺的可靠性研究[D];电子科技大学;2010年
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4 侯海虹;氮化硅薄膜的螺旋波PECVD及其光学特性研究[D];河北大学;2003年
5 吴峰;ZnS:Cu电致发光粉表面包覆SiO_2的研究[D];河北大学;2003年
6 李娟;CVD法采用TEOS-O_3沉积二氧化硅膜[D];河北大学;2004年
7 朱建强;玻璃基板上硅薄膜结构和性能的研究[D];浙江大学;2005年
8 刘爱青;可低压驱动的钛酸钡薄膜场发射研究[D];中国海洋大学;2006年
9 徐大为;低压化学气相沉积模型与模拟[D];东南大学;2006年
10 陈全海;氮化硅薄膜的光吸收及光致发光性质研究[D];西北师范大学;2007年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 吴大兴,周海,杨川,高国庆;用DC-PCVD法沉积非晶态Si_3N_4薄膜的研究[J];硅酸盐学报;1992年03期
【相似文献】
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2 吴隆仕,邝安祥;PbTiO_3薄膜的热释电性和铁电性研究[J];湖北大学学报(自然科学版);1990年03期
3 李伯泉,王兵,张庶元,刘文汉,吴自勤;Al的沉积速率对Al/Ge双层膜分形晶化的影响[J];科学通报;1995年15期
4 翟继卫,张良莹,姚熹;溶胶-凝胶法制备SiO_2-TiO_2纳米复合薄膜的结构及光学性能研究[J];硅酸盐学报;1998年04期
5 刘彭义,唐振方,孙汪典;有机发光器件的研究进展及应用前景(综述)[J];暨南大学学报;2002年01期
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10 张占祥;王慧田;叶佩弦;赵纬;陈立泉;;银表面增强C_(60)薄膜的光学二次谐波[J];科学通报;1993年15期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
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4 房喻;;荧光传感薄膜的性能优化——单层化学方法[A];中国化学会第十二届全国应用化学年会论文集[C];2011年
5 周敏;谢毅;;三维有序BiVO_4薄膜的可控合成及其增强的光电性质[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年
6 李学;杨辉;张书香;赵淑英;褚国红;;利用嵌段共聚物/均聚物混合物的自组装构筑含有金属的嵌段共聚物纳米孔状薄膜[A];2007年全国高分子学术论文报告会论文摘要集(上册)[C];2007年
7 王青如;宋峰;张超;赵红艳;刘加东;明成国;林赏心;潘裕斌;;金属纳米颗粒对掺杂铕配合物的薄膜发光的增强和淬灭[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
8 金艳梅;刘赵淼;;液体涂覆中褶皱形成的影响因素及防治措施[A];北京力学会第13届学术年会论文集[C];2007年
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1 记者 孙文生 通讯员 张晓奇;新型“光生态薄膜”在杨凌研发成功[N];陕西日报;2010年
2 通讯员 钟伟 陈淼;“凯利包装”试产会“呼吸”的薄膜[N];绍兴日报;2009年
3 古月;艾利·丹尼森公司推出多用途高光白色PP薄膜[N];中国包装报;2009年
4 本报记者 那罡;为苏州昆岭薄膜增添绿色动力[N];中国计算机报;2010年
5 文报;佛塑股份开发复合智能节能薄膜[N];中国包装报;2010年
6 吕军锋;薄膜表面极性火焰处理技术的原理及其特点[N];中国包装报;2009年
7 张图;美国Pentapharm敏感药物包装薄膜生产线扩产[N];中国包装报;2009年
8 魏明;薄膜回收篇[N];中国包装报;2011年
9 记者 徐雯雯;义和科技:三方联手打造“黄金薄膜”[N];莱芜日报;2011年
10 黄英;首条端对端薄膜硅电池生产线成功安装[N];中国企业报;2009年
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1 何少龙;Yb-C_(60)填隙化合物电子结构研究[D];浙江大学;2004年
2 顾强;受限态对分子运动性、化学反应以及扩散行为影响的研究[D];南京大学;2011年
3 李秀英;Y-Mg-Si-Al-O-N玻璃和微晶玻璃的制备及其组成—结构—性能关系研究[D];中南大学;2010年
4 薛庆忠;过渡金属-碳复合材料和复合纳米薄膜的磁电阻和电输运特性[D];清华大学;2004年
5 于桂琴;离子液体的合成及其摩擦学性能的研究[D];兰州大学;2007年
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7 魏向军;全反射相关的X射线荧光分析技术及其应用[D];兰州大学;2006年
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10 杨杰;高分子量聚芳硫醚砜的合成及结构与性能研究[D];四川大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 陈喜明;TiO_2薄膜光诱导超亲水性的研究[D];浙江大学;2005年
2 任荣君;MgB_2超导薄膜的制备研究[D];江苏大学;2005年
3 陈兴科;脉冲激光沉积制备ZnO薄膜及发光特性研究[D];郑州大学;2005年
4 储开慧;纵向磁场中溅射机理研究[D];苏州大学;2005年
5 殷少飞;MnX_2、PbX_2体系有机—无机类钙钛矿材料的制备与结构[D];武汉理工大学;2006年
6 孔玮曼;应用于X射线FPD的非晶硒膜的制备方法研究[D];清华大学;2005年
7 曹渊武;生物蛋白胶在椎体后凸成形术中应用的离体研究[D];复旦大学;2008年
8 张云芳;PECVD法制备a-C:F:N薄膜的结构和稳定性研究[D];中南大学;2005年
9 蒲源;纳米La_(0.8)Sr_(0.2)FeO_3薄膜材料制备及其光电子特性研究[D];燕山大学;2006年
10 韩亚楠;钛酸铅系薄膜的制备与表征[D];河北师范大学;2006年
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