收藏本站
《硅酸盐学报》 2015年07期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

衬底取向对Al掺杂3C-SiC薄膜微结构的影响(英文)

苏剑峰  肖宏宇  牛强  唐春娟  张永胜  傅竹西  
【摘要】:采用低压化学气相沉积(LPCVD)法分别在Si(100)和Si(111)衬底上制备了Al掺杂的3C-Si C薄膜。采用X射线衍射、扫描电子显微镜、Raman光谱对所制备薄膜的微结构、形貌以及内部应力的演变进行分析。结果表明:在Si(100)衬底上制备的Al掺杂Si C薄膜具有较好的结晶质量,而且结晶质量受Al掺杂浓度的影响比较大。Al掺杂Si C薄膜的生长模式为二维层状生长模式。Si(100)衬底上所制备的Al掺杂Si C薄膜表面为层状的四边形结构,而Si(111)衬底上的Al掺杂Si C薄膜表面为层状的截角三角形结构。Si(100)衬底上的薄膜厚度略大于Si(111)衬底上的。由于Al离子的掺入和薄膜厚度的增加,Si(100)衬底上所制备的Al掺杂Si C薄膜内部的应力得到很好的释放。Si(111)衬底上的Al掺杂Si C薄膜内部的应力则由张应力模式转为压应力模式,而且纵光学声子(LO)、横光学声子(TO)特征峰分离变大,出现这种现象的原因可能与Al3+替代Si4+使Si C离子性增强和生长模式的转变有关。

手机知网App
【共引文献】
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 刘辉;高能激光调控微观化学反应及材料合成[D];天津大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 戴晓磊;激光化学法合成银基纳米结构[D];天津大学;2011年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 宋学萍,王佩红,孙兆奇;退火温度对溅射Al膜微结构及光学常数的影响[J];安徽大学学报(自然科学版);2005年03期
2 王欢;姚淑德;潘尧波;张国义;;用卢瑟福背散射/沟道技术及高分辨X射线衍射技术分析不同Al和In含量的AlInGaN薄膜的应变[J];物理学报;2007年06期
3 段宝兴;杨银堂;陈敬;;F离子注入新型Al_(0.25)Ga_(0.75)N/GaN HEMT器件耐压分析[J];物理学报;2012年22期
4 陈翔;邢艳辉;韩军;霍文娟;钟林健;崔明;范亚明;朱建军;张宝顺;;Al组分对MOCVD制备的Al_xGa_(1-x)N/AlN/GaNHEMT电学和结构性质的影响[J];发光学报;2013年12期
5 刘利花;张颖;吕广宏;邓胜华;王天民;;Sr偏析Al晶界结构的第一性原理计算[J];物理学报;2008年07期
6 郭金华,牛志电;悬铃木集中落叶的研究——AL试剂在悬铃木上的应用[J];中外技术情报;1996年01期
7 李文,张建民,关振中,蒋青,沈平,张瑞林,余瑞璜;Ti-Al相图的高温液相线[J];应用科学学报;1996年04期
8 宋一中,李亮;激光诱导Al等离子体连续辐射的时间分布[J];光学学报;2001年04期
9 李如璧,徐培苍,莫宣学;三元硅酸盐玻璃相中Al~(3+)离子结构状态的MAS NMR谱研究[J];波谱学杂志;2003年01期
10 常富华,张流强;金属泡沫Al激光靶的研制[J];原子能科学技术;1999年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 邱志祥;岑溪南;王莉红;欧晋平;王文生;李渊;尹玥;孙玉华;董玉君;梁赜隐;许蔚林;王茫桔;任汉云;;自体造血干细胞移植治疗AL淀粉样变性的临床研究[A];第12届全国实验血液学会议论文摘要[C];2009年
2 吴茂;何新波;常玲玲;曲选辉;;SiC_p/Al复合材料钎焊用Al基钎料的研究[A];2009全国粉末冶金学术会议论文集[C];2009年
3 常玲玲;何新波;王维;彭子榕;吴茂;曲选辉;;Al基钎料钎焊SiC_p/Al复合材料的研究[A];复合材料:创新与可持续发展(下册)[C];2010年
4 韩福生;朱震刚;;泡沫Al的非线性阻尼特征[A];内耗与超声衰减——第五届全国固体内耗与超声衰减学术会议论文集[C];1997年
5 李沄生;张利发;李蒙;;Al介质中的非平衡辐射烧蚀[A];中国工程物理研究院科技年报(2000)[C];2000年
6 王东升;王水锋;黄鹂;汤鸿霄;;纳米絮凝剂Al_(13)的物化性质和稳定性[A];中国化学会第七届水处理化学大会暨学术研讨会会议论文集[C];2004年
7 鞠志萍;何明;李世红;管永精;罗里熊;姜山;;~(26)Al的加速器质谱测量方法及其应用[A];2005年全国无机质谱、同位素质谱和质谱仪器学术报告会论文集[C];2005年
8 周环波;周震涛;;纳米Ni/Al双氢氧化物的结构及电化学性能[A];第十三次全国电化学会议论文摘要集(下集)[C];2005年
9 李海蓉;王五一;赵晓宇;冯福建;王丽珍;刘庆斌;;我国主要砖茶中F、Al等元素含量及其溶出特性对比[A];中国地理学会2007年学术年会论文摘要集[C];2007年
10 崔丽峰;刘丛强;徐胜;赵志琦;刘文景;刘洁;章倬君;范百龄;;江西龙南花岗岩风化壳剥蚀速率:宇宙成因核素~(26)Al和~(10)Be的定量研究[A];中国矿物岩石地球化学学会第14届学术年会论文摘要专辑[C];2013年
中国重要报纸全文数据库 前7条
1 武鹏;北钢成功开发08AL钢坯[N];中国冶金报;2006年
2 ;Al小铝厂将联合对外签订长期氧化铝供应合约[N];世界金属导报;2000年
3 记者 张愎;做空中概股隐形操盘手 AL初揭神秘面纱[N];第一财经日报;2012年
4 ;隽星848PAL主板[N];中国电脑教育报;2004年
5 王瑾;亚非跨海大桥,Al Noor双城梦想[N];21世纪经济报道;2008年
6 邓承继 祝洪喜 王进森;混铁车及铁水罐用高强度耐侵蚀Al_(2)O_(3)-SiC质复合耐火材料(1)[N];世界金属导报;2007年
7 邓承继 祝洪喜 王进森;混铁车及铁水罐用高强度耐侵蚀Al_(2)O_(3)-SiC质复合耐火材料(2)[N];世界金属导报;2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 周小伟;高Al组份AlGaN/GaN半导体材料的生长方法研究[D];西安电子科技大学;2010年
2 刘璟;Al_(13)胶体转变机制及其对阴离子界面吸附研究[D];中国矿业大学(北京);2009年
3 黄湘华;自体干细胞移植治疗AL淀粉样变性及新型诱导方案的研究[D];南京大学;2012年
4 戴吉春;Al及微量元素对Mg-Gd(-Y)合金晶粒细化行为、组织及力学性能影响的研究[D];上海交通大学;2014年
5 李军正;Co-Ni-Ga(Al)合金深过冷及定向凝固行为[D];上海交通大学;2011年
6 孙彦峰;ZnO:Al透明导电薄膜与ZnO器件的制备及性质的研究[D];吉林大学;2007年
7 初永宝;聚合氯化铝中纳米Al_(13)形态的分离纯化及性能研究[D];山东大学;2005年
8 刘万民;锂离子电池LiNi_(0.8)Co_(0.15)Al_(0.05)O_2正极材料的合成、改性及储存性能研究[D];中南大学;2012年
9 汤宏伟;锂离子电池正极材料LiNi_(1-x)M_xO_2(M=Co,Al,Mn)的研究[D];湖南大学;2003年
10 韩红培;Co_2VZ(Z=Ga,Al)薄膜半金属性及三维HgTe拓扑绝缘相研究[D];华中科技大学;2013年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 费永利;用高岭土制备“类龟式”Al_(13)盐酸盐[D];内蒙古大学;2006年
2 王忠;强流脉冲电子束辐照NiCoCrAlY涂层表面改性及Al膜合金化[D];大连理工大学;2009年
3 李丽萍;Al-δ层状二硅酸钠晶体结构稳定性及α、β相层状二硅酸钠钙镁脱除机理的研究[D];太原理工大学;2007年
4 段学静;核心结合因子al及骨形成相关蛋白在人牙胚发育过程中的表达[D];山东大学;2006年
5 徐利芳;第三主族元素B、Al和Ga氢化物双氢键的理论研究[D];西南大学;2009年
6 吴晓诚;LiBH_4与Al及其化合物复合体系储氢性能的研究[D];浙江大学;2012年
7 巩锋;溶胶—凝胶法制备Al~(3+):ZnO薄膜及其性能研究[D];北京工业大学;2003年
8 何斌燕;碳纳米管/Al基非晶复合材料的制备及性能研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
9 殷胜东;ZnO:Al薄膜的制备及其性质的研究[D];重庆师范大学;2007年
10 彭艳;普通小麦Al毒害特性及其耐Al机理研究[D];华中科技大学;2006年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026