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《光学学报》 1999年07期
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X射线布拉格-菲涅耳光学元件的实验研究

王占山  马月英  吕俊霞  高宏刚  刘毅楠  裴舒  曹健林  徐向东  洪义麟  付绍军  
【摘要】:用光学全息方法在涂有光刻胶的多层膜表面上形成布拉格-菲涅耳元件所需的波带片图形,通过离子束刻蚀方法将波带片图形转写到多层膜上,完成元件的制作,给出布拉格-菲涅耳光学元件测量结果。测量结果表明上述方法适于制作布拉格-菲涅耳元件。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 陈刚;吴建宏;陈新荣;刘全;;镀铬基片全息光栅光刻胶掩模槽形参量光谱检测方法[J];中国激光;2006年06期
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 曹健林,马月英,张俊平,裴舒,陈星旦;软X光激光用多层膜反射镜的制备与检测[J];中国激光;1995年06期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 吕俊霞,马月英,张俊平,王占山,曹健林;工作波长短于10nm的软X射线多层膜[J];光学精密工程;1996年02期
2 吕俊霞,马月英,张俊平,曹健林;正入射Mo/B_4C软X射线多层膜[J];光学学报;1998年01期
3 王占山,高宏刚,马月英,吕俊霞,曹健林;软X射线多层膜技术[J];原子能科学技术;1999年04期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 陈波;空间极紫外太阳望远镜光学性能研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
2 杨成韬;光学多层薄膜结构及磁光性能研究[D];电子科技大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 张众;X射线超反射镜的设计、制备与检测[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
2 王蓓;类镍钽软X射线激光用高反射镜的研究[D];同济大学;2007年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 万华,陈新荣,吴建宏;利用严格耦合波方法研究多层介质膜光栅掩膜特性[J];中国激光;2005年09期
2 陈刚;吴建宏;陈新荣;刘全;;镀铬基片全息光栅光刻胶掩模槽形参量光谱检测方法[J];中国激光;2006年06期
3 徐向东,洪义麟,傅绍军,王占山;全息离子束刻蚀衍射光栅[J];物理;2004年05期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 万华;多层介质膜光栅掩模槽形的控制与检测[D];苏州大学;2005年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 张俊平,曹健林,马月英,高宏刚,陈斌,吕俊霞,裴舒,陈星旦;软X光激光用多层膜反射镜的设计与性能模拟计算[J];光学学报;1995年08期
2 王世绩,顾援,周关林,周正良,倪元龙,余松玉,傅思祖,毛楚生,韩国强,万炳根,计巍波,吴江,曾一新,陈万年,黄关龙;反射镜多靶串接增益饱和软X光激光实验[J];强激光与粒子束;1993年04期
【相似文献】
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 柳龙华;X射线显微成像纳米光学元件制作与应用研究[D];中国科学技术大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 田金萍;X射线成像旋转椭球聚焦镜的设计与检测[D];中国科学技术大学;2009年
2 韦玮;光子筛优化设计及仿真研究[D];中国科学技术大学;2009年
3 王仲平;共光路径向剪切干涉测量技术的研究及应用[D];南昌大学;2006年
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