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《光学学报》 1995年01期
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原子力显微镜

张亦奕  贺节  商广义  姚骏恩  
【摘要】:研制成功了一台使用光学偏转法检测的原子力显微镜,通过对云母、光栅、光盘等样品的观测证明仪器达到原子分辨率,最大扫描范围可达7μm×7μm。文中将对这台原子力显微镜的原理、结构及一些应用结果进行讨论。
【作者单位】中国科学院北京电子显微镜实验室
【分类号】:TN16

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