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《光学学报》 2015年07期
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高精度相位型计算全息图的设计

朱德燕  张学军  
【摘要】:为了解决非球面及自由曲面的高精度检测问题,基于二元光学计算机全息图(CGH)模型基础,分析了该模型下相位型CGH各项误差对CGH检测精度的影响,同时结合工程实例,针对口径为846 mm×630 mm的自由曲面,设计了相应的相位型CGH,并实验验证了该设计的可行性。结果显示:在设计时应先将相位型CGH的各个衍射级次进行分离;改变CGH到干涉仪焦点距离以减小刻画畸变同时保证CGH尺寸;再将基板误差检测出来,并代入设计结果进行补偿标定;最后在编码时将占空比选择为0.5,刻蚀深度选择在0.3λ减小占空比误差、相位函数误差和振幅误差。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前7条
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3 高松涛;隋永新;杨怀江;;用计算全息图对非球面的高精度检测与误差评估[J];光学学报;2013年06期
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 高松涛;隋永新;杨怀江;;用计算全息图对非球面的高精度检测与误差评估[J];光学学报;2013年06期
2 赵爽;付秀华;贾宗合;;单晶硅柱面反射镜的加工与检测[J];长春理工大学学报(自然科学版);2013年Z2期
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【二级参考文献】
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【相似文献】
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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10 王玮;计算全息法检测圆柱面研究[D];苏州大学;2014年
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