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《光学学报》 2014年02期
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基于白光干涉彩色图像的微结构表面形貌测量

郭彤  李峰  倪连峰  陈津平  傅星  胡小唐  
【摘要】:微结构的表面形貌会显著地影响微纳器件的使用性能及产品质量,是微纳测试领域的一个重要研究方面,利用白光干涉技术是测量物体表面形貌的一种常见方法。区别于常用的CCD黑白相机,使用CCD彩色相机采集白光干涉条纹的彩色图像,使获取的图像包含了R、G、B三个通道的信息。利用小波变换法分别求解出在不同扫描位置处R、G、B通道的相位信息,通过建立的评价函数,并结合最小二乘法可精确确定零光程差的位置,利用相对高度和零光程差位置的线性关系,进而得到物体的表面形貌。通过仿真以及实际测量由VLSI标准公司制造的标准台阶结构,验证了所提出方法的有效性。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前7条
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中国博士学位论文全文数据库 前8条
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中国硕士学位论文全文数据库 前9条
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【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前7条
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【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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中国重要报纸全文数据库 前1条
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中国博士学位论文全文数据库 前10条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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7 李全军;钛微弧氧化膜的制备及其生长特性研究[D];延边大学;2006年
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10 朱华超;用脉冲激光沉积工艺在不同衬底上生长GaN薄膜的研究[D];山东师范大学;2008年
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