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《光学学报》 2010年07期
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子孔径拼接干涉检测凸非球面的研究

王孝坤  郑立功  张学军  
【摘要】:在总结各种检测凸非球面方法优缺点的基础上,提出了利用子孔径拼接干涉检测凸非球面的新方法。利用标准球面波前作为参考波面,用干涉法逐次测量非球面各区域的相位分布,去除参考波面偏差以及调整误差后,通过子孔径拼接算法就可以重构凸非球面全口径的面形分布。研究和分析了该方法的基本原理和基础理论,开发了综合优化和误差均化的子孔径拼接算法。设计和研制了子孔径拼接干涉检测装置,并结合实例对口径为140 mm的碳化硅凸非球面进行了子孔径拼接测量,得到了精确的全口径面形分布,其面形分布的峰值(PV)和均方根(RMS)值偏差分别为0.274λ和0.024λ(λ=632.8 nm),且对该非球面进行零位补偿测量,其全口径面形与拼接全口径面形是一致的,面形分布的PV和RMS值的偏差仅为0.064λ和0.002λ,从而提供了又一种定量测试凸非球面的手段。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前7条
1 张峰;;高精度离轴凸非球面反射镜的加工及检测[J];光学精密工程;2010年12期
2 崔天刚;张宏吉;马文生;陈波;;Wolter Ⅰ型反射镜面形检测装置的改进[J];光学学报;2011年04期
3 任建锋;郭培基;;计算全息法检测离轴凸非球面照明镜组初始结构设计[J];光学学报;2012年02期
4 徐新华;王青;宋波;傅英;;基于子孔径拼接技术的大尺寸光学材料均匀性检测系统[J];光学学报;2012年04期
5 王道档;杨甬英;陈晓钰;邵卫红;;基于差分方法的高精度球面调整误差校正[J];光电子.激光;2013年01期
6 范镝;;碳化硅光学表面抛光机理研究[J];激光与光电子学进展;2012年02期
7 谷勇强;苗二龙;高松涛;隋永新;杨怀江;;计算全息法标定抛物面精度分析[J];中国激光;2011年12期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 洪小苗;双CGH检测凸非球面研究[D];苏州大学;2012年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前9条
1 王孝坤;张学军;王丽辉;郑立功;;环形子孔径拼接干涉检测非球面的数学模型和仿真研究[J];光学精密工程;2006年04期
2 李锐钢;郑立功;薛栋林;张学军;;大口径高次、离轴非球面干涉测量中投影畸变的标定方法[J];光学精密工程;2006年04期
3 王孝坤;王丽辉;张学军;;子孔径拼接干涉法检测非球面[J];光学精密工程;2007年02期
4 王孝坤;王丽辉;殷龙海;张斌智;范镝;张学军;;Measurement of large aspheric surfaces by annular subaperture stitching interferometry[J];Chinese Optics Letters;2007年11期
5 张凤生;;非球面系统中高斯光束传输的数值计算[J];光学学报;2008年01期
6 付联效;吴永刚;李兴隆;郝沛明;王鹏;;大相对口径轻量化卡塞格林系统主镜的加工检验[J];光学学报;2008年04期
7 谢意;陈强;伍凡;侯溪;张晶;吴高峰;;用双计算全息图检测凹非球面[J];光学学报;2008年07期
8 王孝坤;郑立功;张斌智;闫锋;张忠玉;张学军;;子孔径拼接干涉测量一大口径双曲面(英文)[J];红外与激光工程;2009年01期
9 王孝坤;张学军;;环形子孔径拼接检测非球面中的数据处理和标定[J];激光与光电子学进展;2009年01期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 尤锐;王晶;王文革;刘季春;薛育;;大口径测量系统主反射镜装调及精度分析[J];长春理工大学学报(自然科学版);2008年03期
2 李开;吴瑕;王树成;张彩霞;;关于目前非球面测量方法的综述[J];国防技术基础;2010年11期
3 廖文林;戴一帆;周林;王建敏;袁征;解旭辉;;离子束抛光加工矩形离轴非球面镜[J];国防科技大学学报;2011年01期
4 周林;戴一帆;解旭辉;焦长君;李圣怡;;光学镜面离子束加工的可达性[J];光学精密工程;2007年02期
5 王孝坤;王丽辉;张学军;;子孔径拼接干涉法检测非球面[J];光学精密工程;2007年02期
6 仇谷烽;郭培基;懈滨;杨晓飞;王毅;;接触式非球面轮廓测量的数据处理模型[J];光学精密工程;2007年04期
7 曹华梁;程祖海;余亮英;;用干涉条纹图像重建反射镜的三维面形[J];光学精密工程;2007年04期
8 李锐钢;郑立功;张峰;薛红梅;张学军;;大口径高陡度离轴非球面精磨阶段的数控加工[J];光学精密工程;2007年05期
9 陈长征;赵贵军;张星祥;卢锷;任建岳;;空间光学镜头可适应边界温度的CAE计算方法[J];光学精密工程;2007年05期
10 邓伟杰;郑立功;史亚莉;王孝坤;张学军;;基于线性代数和正则化方法的驻留时间算法[J];光学精密工程;2007年07期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 李树军;白雨虹;吴秀丽;曹金;王卉;严寒;常唯;朱丹;;有效扩大审稿专家在文章评审中的作用[A];编辑学报(2009年增刊)[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘东;通用数字化高精度非球面干涉检测技术与系统研究[D];浙江大学;2010年
2 王小鹏;大口径非球面数字刀口仪测试技术研究[D];南京理工大学;2010年
3 丁凌艳;非球面相位恢复检测技术研究[D];国防科学技术大学;2011年
4 满玉春;基于数字莫尔条纹的非球面检测技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
5 刘春雨;非球面补偿检测的准确度研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
6 黄大刚;非球面测量技术与数据处理方法研究[D];天津大学;2007年
7 李威;空间相机主次镜间支撑结构技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
8 陈逢军;非球面超精密在位测量与误差补偿磨削及抛光技术研究[D];湖南大学;2010年
9 张金平;夏克—哈特曼波前传感器检测大口径非球面应用研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2012年
10 郭权锋;同轴三反空间相机结构稳定性研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 吴晶;基于Shack-Hartmann的子孔径拼接波前检测技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
2 能芬;实际光学系统仿真成像研究[D];浙江大学;2012年
3 郑婉喆;宽光束波前检测子孔径拼接技术[D];长春理工大学;2008年
4 翁俊淼;非球面检测的若干基础理论研究[D];浙江大学;2008年
5 季波;子孔径拼接干涉检测非球面光学元件[D];南京理工大学;2008年
6 刘崇;非球面环形子孔径拼接干涉测试方法研究[D];南京理工大学;2009年
7 咸飞;多干涉图组合测试中的空间一致性研究[D];南京理工大学;2009年
8 唐勇;计算全息对准方法的研究[D];南京理工大学;2009年
9 曾生跃;子孔径拼接工作站设计及其关键技术研究[D];国防科学技术大学;2008年
10 崔继峰;光学零件表面轮廓干涉测量方法研究[D];哈尔滨工业大学;2008年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 马冬梅;韩昌元;;基于五棱镜扫描技术测试大口径平面镜的系统设计[J];电子测量技术;2007年11期
2 伏燕军;杨坤涛;;三维形貌测量的莫尔条纹的理论分析[J];光电工程;2006年07期
3 雷柏平;伍凡;陈强;;大口径非球面Ronchi光栅测量方法[J];光电工程;2007年04期
4 谢意;陈强;伍凡;邱传凯;侯溪;张晶;;凹非球面检测的双计算全息图设计及制作[J];光电工程;2008年06期
5 周绍林;陈旺富;杨勇;唐小萍;胡松;马平;严伟;张幼麟;;纳米光刻中莫尔对准模型与应用[J];光电工程;2008年09期
6 黄恩令,姚久胜;同心环形光栅莫尔条纹的机理[J];光电子·激光;1992年04期
7 卢振武,李凤有,刘华,谢永军,翁志成;利用曲面计算全息图进行凸面非球面检测[J];光电子·激光;2004年09期
8 何宇航;曹益平;翟爱平;;相移量校准提高正交复合光三维测量的精度[J];光电子.激光;2011年03期
9 蔡履中;闫汝森;;相移干涉术中参考波准直误差的数值校正[J];光电子.激光;2011年05期
10 王恒;李杰;寇丽丽;胡丽丽;;一种基于PSD的弹丸炮口姿态测试新方法[J];电子设计工程;2010年04期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 范镝;大口径碳化硅质反射镜数控光学加工的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2004年
2 刘华;利用曲面计算全息图检测非球面[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 倪颖;小型非球面轮廓测量仪的原理和应用[D];苏州大学;2003年
2 王成军;双重计算全息图用于非球面绝对检验的研究[D];南京理工大学;2008年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 陈宁;王兵;陈兆兵;王恒坤;庄昕宇;韩旭东;;红外成像系统温度适应性设计[J];工程设计学报;2011年06期
2 闫勇;金光;张雷;王栋;姚劲松;;新型SiC光学材料的制备及应用[J];光电工程;2011年08期
3 薛栋林;郑立功;张峰;;基于光学自由曲面的离轴三反光学系统[J];光学精密工程;2011年12期
4 袁涛;何欣;;光学系统调制传递函数的敏感性分析[J];光学技术;2011年06期
5 李顺;巩岩;;长程轮廓仪用于筒状超光滑表面测量的误差分析及校正[J];光学学报;2011年11期
6 李旭;何飞;李达;陈波;;方孔微通道板结构缺陷对成像质量的影响[J];光学学报;2012年10期
7 张斌智;张舸;董德义;;反应连接230mm口径RB-SiC反射镜[J];光学精密工程;2012年11期
8 李建欣;郭仁慧;朱日宏;陈磊;何勇;;光学材料光学均匀性的波长调谐两步绝对测量法[J];光学学报;2012年11期
9 沙巍;张星祥;陈长征;许艳军;李新娥;任建岳;;中小型圆形反射镜检测支撑优化[J];红外与激光工程;2012年06期
10 王孝坤;;大口径离轴碳化硅非球面反射镜加工与检测技术研究[J];激光与光电子学进展;2012年01期
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘华,卢振武,李凤有,孙强,翁志成;用于非球面检测的球面计算全息图特性分析[J];光电工程;2004年07期
2 鄢静舟,雷凡,周必方,高志强;用Zernike多项式进行波面拟合的几种算法[J];光学精密工程;1999年05期
3 郭培基,余景池,孙侠菲;一种大数值孔径小非球面检测用补偿器设计[J];光学精密工程;2002年05期
4 卢振武,刘华,李凤有;利用曲面计算全息图进行非球面检测[J];光学精密工程;2004年06期
5 郭培基;余景池;;用校正法提高补偿器检测法的精度[J];光学精密工程;2006年02期
6 薛栋林;郑立功;王淑平;张学军;;离轴二次非球面补偿检验计算机辅助调整技术研究[J];光学精密工程;2006年03期
7 王孝坤;张学军;王丽辉;郑立功;;环形子孔径拼接干涉检测非球面的数学模型和仿真研究[J];光学精密工程;2006年04期
8 李锐钢;郑立功;薛栋林;张学军;;大口径高次、离轴非球面干涉测量中投影畸变的标定方法[J];光学精密工程;2006年04期
9 张学军,张云峰,余景池,张忠玉;FSGJ-1非球面自动加工及在线检测系统[J];光学精密工程;1997年02期
10 杨力,郑耀,曾志革,姜文汉,袁家虎,伍凡;大型非球面反射镜的柔性光学制造技术[J];光学技术;2001年06期
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中国期刊全文数据库 前10条
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6 张锡纯,高登芳;待测量最佳值的计算机求解[J];电测与仪表;1982年04期
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9 КацЕ.Л,ЦелебровскййЮ.В.,王蘅军;非均匀土壤中接地装置电阻的测定[J];吉林电力;1989年03期
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1 李新南;;极大口径光学/红外望远镜凸非球面副镜检验方法研究[A];中国天文学会2011年学术年会手册[C];2011年
2 吴创新;周春林;韩峰;弟宇鸣;;基于BH1216Ⅲ偏置高压对测量结果影响的实验研究[A];第十二届全国核电子学与核探测技术学术年会论文集[C];2004年
3 赵宇;陈松涛;;Monte-Carlo法在测量不确定度评定中的应用[A];加入WTO和中国科技与可持续发展——挑战与机遇、责任和对策(上册)[C];2002年
4 董芳;;流量积算仪测量结果的不确定度评定[A];江苏省计量测试学术论文集[C];2007年
5 钱昱;;无创血压监护仪压力的测量结果不确定度分析报告[A];江苏计量测试学术论文集(2009)[C];2009年
6 王珏;庄人遴;吉朋松;;多用途时间间隔测量系统[A];第7届全国核电子学与核探测技术学术年会论文集(一)[C];1994年
7 王宏斌;汪志农;杨青;张智涛;;利用DGPS测量农田电子地图[A];中国数字农业与农村信息化学术研究研讨会论文集[C];2005年
8 周良将;梁兴东;丁赤飚;;高精度相位特性测量系统设计与实现[A];2009安捷伦科技节论文集[C];2009年
9 张雪瑞;周霞勤;;高精密小电阻测量方法及测量结果的不确定度评定[A];中国造船工程学会2009年优秀学术论文集[C];2010年
10 周秀丽;陈敏;于景坤;;保护渣熔点的一种测量方法[A];2005中国钢铁年会论文集(第3卷)[C];2005年
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1 沈宣铭;温州局技术中心积极开展测量结果的不确定度评估[N];中国国门时报;2007年
2 健康时报记者 杜文明;哪个测量结果准[N];健康时报;2011年
3 储云;分析测速误差提高执法准确性[N];人民公安报·交通安全周刊;2005年
4 郑州 姜笃庆;柔性电子体温计[N];电子报;2006年
5 杨传波 周永辉;测量土地使用面积不再拉皮尺[N];中国税务报;2006年
6 《中国科学G辑:物理学力学天文学》 供稿;预测风沙运动,今有离散粒子追踪法[N];大众科技报;2007年
7 顾海燕;市领导检查沿江防汛工作[N];泰州日报;2008年
8 孝文;月亮上曾经有水[N];大众科技报;2008年
9 西安 高涛;用单片机实现PWM脉冲参数测量[N];电子报;2008年
10 市妇幼保健院 蒋雪英;怎样正确使用血糖检测仪[N];郴州日报;2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 田松峰;汽轮机组微波谐振腔湿度测量方法实验研究[D];华北电力大学(河北);2009年
2 孟庆丽;神经导航系统下射频治疗原发性三叉神经痛的解剖及临床学研究[D];山东大学;2009年
3 史丽静;CT、MR多种成像技术在肝脏疾病的比较和综合应用[D];第二军医大学;2006年
4 倪骁骅;形状误差测量结果不确定度的研究及应用[D];合肥工业大学;2002年
5 马嘉;与下颌支矢状骨劈开术相关的下颌前突患者下颌支的形态学研究[D];中国医科大学;2008年
6 侯永辉;三点相关函数的模拟和理论分析[D];中国科学院研究生院(上海天文台);2005年
7 刘华;利用曲面计算全息图检测非球面[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
8 李恕海;量子密码若干问题研究[D];西安电子科技大学;2008年
9 王岳宇;AFM恒力模式下倾角和摩擦力对测量结果影响的研究[D];哈尔滨工业大学;2008年
10 李海岩;基于CT图像的活体人颅骨几何特征测量与研究[D];天津大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 洪小苗;双CGH检测凸非球面研究[D];苏州大学;2012年
2 张健;国人人工膝关节几何外形尺寸研究[D];中国人民解放军军医进修学院;2006年
3 谢陶敢;胸椎椎弓根肋骨单元与椎弓根的形态测量比较研究[D];浙江大学;2007年
4 龙跃东;等价排除法与中学物理实验能力测量[D];云南师范大学;2006年
5 尹慧;行波管夹持杆复介电参数测量[D];电子科技大学;2007年
6 毛飞;室内轮胎噪声测试分析评价系统的设计[D];武汉理工大学;2008年
7 张佳欣;离轴三反系统非球面检验与系统装调[D];长春理工大学;2008年
8 魏莹;工程陶瓷磨削加工表面测量及评定[D];天津大学;2007年
9 岳香梅;测量不确定度在物理实验中的应用研究[D];太原理工大学;2007年
10 李建民;肱骨髁上骨牵引相关解剖学研究及临床应用[D];河北医科大学;2008年
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