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《光学学报》 2010年03期
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双通感红外日夜两用型滤光膜的研制

耿似玉  付秀华  谭志  李珊  
【摘要】:选取二氧化钛与二氧化硅作为薄膜材料,借助膜系设计软件优化设计膜系。采用离子源辅助沉积的真空镀膜方法,通过调整镀膜工艺参数,减少膜厚控制误差,在石英基底上成功镀制了符合使用要求的多波段滤光膜。所镀膜层在420~640 nm与近红外920~960 nm波段的平均透射比大于95%,680~880 nm和990~1100 nm波段的平均透射比小于3%,能够承受恶劣的环境测试,完全满足红外夜视摄像机的使用要求。

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