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用锌有机源和CO_2/H_2混合气源PECVD沉积ZnO薄膜

张萌  王应民  徐鹏  蔡莉  李禾  程国安  刘庭芝  
【摘要】:在等离子体作用下,以CO2/H2混合气为氧源,Zn(C2H5)2锌为锌源,在单晶硅上生长出高度择优取向的氧化锌薄膜。X射线衍射分析表明,薄膜为六方结构,c轴高度择优;原子力显微镜观察到晶粒是有规律地按六方排布,薄膜的表面粗糙度较小;从光致发光谱还发现在380 nm处有非常强的紫外峰。

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