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《光学学报》 2006年04期
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用锌有机源和CO_2/H_2混合气源PECVD沉积ZnO薄膜

张萌  王应民  徐鹏  蔡莉  李禾  程国安  刘庭芝  
【摘要】:在等离子体作用下,以CO2/H2混合气为氧源,Zn(C2H5)2锌为锌源,在单晶硅上生长出高度择优取向的氧化锌薄膜。X射线衍射分析表明,薄膜为六方结构,c轴高度择优;原子力显微镜观察到晶粒是有规律地按六方排布,薄膜的表面粗糙度较小;从光致发光谱还发现在380 nm处有非常强的紫外峰。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
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【同被引文献】
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5 王林,张覃轶,祝柏林,王爱华,谢长生;激光烧结纳米ZnO气敏传感器制备及其气敏特性研究[J];传感技术学报;2003年04期
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【二级引证文献】
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4 曾永平;陶淑芬;徐利兵;杨红磊;;热蒸发制备Zn/ZnO薄膜的实验研究[J];科技信息;2011年23期
5 曾永平;陶淑芬;徐利兵;杨红磊;;热蒸发制备Zn/ZnO薄膜的实验研究[J];科技视界;2011年02期
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中国重要报纸全文数据库 前10条
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3 本报记者 李宏乾;纳米涂料:大力发展 谨慎宣传[N];中国化工报;2002年
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5 张军民高鹏飞;纳米氧化锌在断奶子猪饲料中的应用[N];中国畜牧兽医报;2008年
6 记者 赵伟 通讯员 郑原驰;2008年度全省科技进步奖揭晓[N];长春日报;2008年
7 郑原驰 记者 李林岩;省科学技术进步奖揭晓[N];吉林日报;2008年
8 韩文;韩国使用高效光催化活性剂制造抗菌陶瓷[N];中国包装报;2009年
9 记者 付雪;昆仑集团包装公司 首批BOPP仿纸膜下线[N];大庆日报;2010年
10 证券时报记者 李坤;水晶光电定向增发募资投入三项目[N];证券时报;2011年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
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2 刘云燕;ZnO薄膜的表面形貌与应力特性研究[D];山东师范大学;2011年
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4 谭红琳;金属离子掺杂的ZnO第一性原理计算及透明导电薄膜制备研究[D];昆明理工大学;2009年
5 汤琨;ZnO中的杂质行为与p型掺杂[D];南京大学;2011年
6 张晓;ZnO基宽禁带稀磁半导体材料的制备及性能研究[D];南开大学;2010年
7 刘洋;过渡元素掺杂ZnO稀磁半导体的制备及性质研究[D];江苏大学;2011年
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 马向丽;ZnO薄膜及其光电器件的室温制备及性能研究[D];浙江大学;2011年
2 朱绍平;Sb掺杂ZnO薄膜的制备及光学性能研究[D];重庆师范大学;2010年
3 曲盛薇;Cu和Ag掺杂ZnO薄膜的结构与光学性能[D];大连理工大学;2010年
4 王兰芳;宽禁带半导体材料—ZnO、TiO_2和金刚石的制备及发光性能研究[D];天津理工大学;2010年
5 范晓玲;磁控溅射法制备ZnO薄膜及光电导探测器的研制[D];山东理工大学;2010年
6 锁雅芹;Na-Mg共掺杂ZnO薄膜的结构及光学性质研究[D];兰州大学;2010年
7 谢炜;ZnO与TiO_2的光催化及其光电转换耦合性能的比较[D];武汉理工大学;2010年
8 吕金鹏;Al~(3+)掺杂抗静电改性ZnO颜料制备及其质子辐照效应[D];哈尔滨工业大学;2010年
9 张路宁;聚合物/ZnO杂化太阳能电池的制备[D];北京交通大学;2011年
10 马金雪;ZnO超长微米线的制备及光学性质的研究[D];大连理工大学;2011年
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