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《光学学报》 2005年12期
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CdTe多晶薄膜沉积制备及其性能

郑华靖  郑家贵  冯良桓  谢二庆  
【摘要】:在氩气和氧气混合气氛下,近空间升华法制备了CdTe多晶薄膜。薄膜的结构、性质决定于整个沉积过程。深入研究沉积过程中的热交换、物质输运,有助于获得结构致密具有良好光电性质的CdTe薄膜。分析了近空间沉积的物理机制,测量了近空间沉积装置内的温度分布,讨论了升温过程、气压与薄膜的初期成核的关系。结果表明,不同气压下制备的样品,均有立方相CdTe。此外,还有CdS和SnO2∶F衍射峰。CdTe晶粒随气压增加有减小趋势;随气压的增加,透过率呈下降趋势,相应的CdTe吸收边向短波方向移动。采用衬底温度500℃,源温度620℃,在120℃的温差下,沉积时间4 min上制备CdTe多晶薄膜,获得转换效率优良的

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 黎兵,蔡亚平,朱居木,郑家贵,蔡伟,冯良桓;CdS多晶薄膜的制备及其性能的研究[J];四川大学学报(自然科学版);1999年03期
【共引文献】
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