收藏本站
《光学学报》 1984年08期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

用X-射线电子能谱仪分析TiO_2光学薄膜

范正修  罗兴华  
【摘要】:用X-射线电子能谱仪对TiO_2光学薄膜的组分和价态进行分析.为了避免静电效应引起的ESCA谱峰移动,需要将TiO_2薄膜淀积在Si基体上.可以看出,不论是有吸收的还是透明的TiO_2膜,其主要成分都是TiO_2,在有吸收的TiO_2薄膜中,部分TiO_2已分解为钛的低价氧化物.TiO_2膜表面含有大量的C,可能引起较大的表面吸收.

【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 林开华;郑宣明;;反应性离化团束制备光学薄膜新技术[J];光学精密工程;1991年05期
2 叶志镇,唐晋发;直流反应磁控溅射氧化物光学薄膜及其性能研究[J];浙江大学学报(工学版);1989年06期
3 刘洪祥,熊胜明,李凌辉,张云洞;离子束溅射沉积Ta_2O_5光学薄膜的实验研究[J];光电工程;2004年03期
4 司磊,王玉霞,刘国军;光学薄膜制备技术[J];长春理工大学学报;2004年02期
5 仲永安;固体光学薄膜结构研究的一些进展[J];物理;1981年11期
6 吴周令,范正修,王之江;强激光对薄膜的损伤研究[J];物理;1991年03期
7 沈元华;软X射线波段的光学薄膜[J];激光与红外;1991年05期
8 ;其它[J];中国光学与应用光学文摘;2000年02期
9 占美琼;;提高光学薄膜激光损伤阈值的途径[J];上海第二工业大学学报;2010年04期
10 张福初;赵福庭;;美国第三届光学干涉薄膜讨论会论文简介[J];激光与红外;1984年12期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 闫宏;赵福庭;;光学薄膜领域反应磁控溅射技术的进展[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
2 洪冬梅;朱震;刘国喜;;激光器使用的光学薄膜[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
3 邵乐喜;黄惠良;;无Cd薄膜CuInS_2太阳电池的低成本全程溅射技术制作[A];21世纪太阳能新技术——2003年中国太阳能学会学术年会论文集[C];2003年
4 洪冬梅;陈生;曹海云;朱震;王春;;红外用光学薄膜[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
5 王舟;王琦;张俊彦;;不同基底偏压对非晶碳薄膜摩擦学性能的影响[A];2009年全国青年摩擦学学术会议论文集[C];2009年
6 陈琨;王志红;张金平;周宇;;倾斜溅射制备TbFe薄膜的磁力显微镜研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
7 刘建华;徐可为;;溅射气压对ZrO_2薄膜微结构与光学性能的影响[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ[C];2004年
8 申林;熊胜明;刘洪祥;李凌辉;张云洞;;氧化物激光薄膜的离子束溅射制备技术[A];第七届全国激光科学技术青年学术交流会专辑[C];2003年
9 申林;熊胜明;刘洪祥;李凌辉;张云洞;;双离子束溅射技术制备带通滤光片[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
10 姚兰芳;沈军;汪国庆;吴广明;吴兆丰;王珏;;蒸发诱导自组装法制备多孔二氧化硅光学薄膜[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 万军;光学薄膜与材料领域的领军人[N];中国企业报;2011年
2 常建龙 王婧 郝晓丽;徐耀:光学薄膜领域的探索者[N];科技日报;2011年
3 本报记者 马守贵;你还记得乐凯吗[N];中国化工报;2011年
4 证券时报记者 李小平;康得新有望替代三星供货京东方[N];证券时报;2011年
5 本报记者 赵芮 孙晓青 李湘虹;他从“千人计划”中脱颖而出[N];人民日报海外版;2009年
6 DisplayBank;光学薄膜核心专利日本企业的申请数位居前列 FUJI FILM偏光板用核心专利名列各企业之首[N];电子资讯时报;2007年
7 记者 郭瑞坤 张小明;ST天龙子公司光学薄膜项目开工[N];上海证券报;2011年
8 荣超;中光学欲“影”响世界[N];人民邮电;2010年
9 余卫华;富士胶片计划增产液晶用光学薄膜三成[N];电子资讯时报;2008年
10 本报记者 郑惠华;中国乐凯 “变身”光学薄膜制造商[N];河北经济日报;2011年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 白胜元;光学薄膜设计及其在光波分复用系统中的应用[D];浙江大学;2001年
2 薛晖;光学薄膜光学特性检测中若干关键问题的研究[D];浙江大学;2009年
3 韩军;光学膜厚宽带监控关键技术研究[D];西安电子科技大学;2011年
4 李再金;半导体激光器腔面光学膜关键技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
5 郭亚军;轴瓦磁控溅射镀膜技术及其材料力学性能研究[D];哈尔滨工程大学;2002年
6 马万云;用于超微量和微区分析的SIRI-TOFMS装置的研制[D];清华大学;1987年
7 贾璐;非晶GaN薄膜的制备及性能和碳纳米管的LB排布[D];兰州大学;2009年
8 刘传胜;氮化碳纳米复合涂层摩擦磨损和耐水蚀研究[D];武汉大学;2004年
9 吴峻岭;新型牙用烤瓷支架钴铬合金金瓷结合的研究[D];四川大学;2005年
10 沈伟东;基于MOEMS技术的光学调制器研究[D];浙江大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 刘鹏程;光热偏转法评价光学薄膜的激光损伤[D];浙江大学;2003年
2 张淑娜;光学薄膜相位特性测试的研究[D];浙江大学;2011年
3 孙银洁;PET基氟碳膜形貌、结构及性能研究[D];青岛大学;2003年
4 史金辉;消偏振分光棱镜膜系分析与设计[D];哈尔滨工程大学;2005年
5 张胜坤;电容耦合射频辉光放电等离子体激发源研制[D];河北大学;2005年
6 宋玲玲;光学薄膜优化设计的实现[D];合肥工业大学;2006年
7 林宇翔;光学薄膜厚度实时监控系统及其反演的研究[D];浙江大学;2004年
8 张乃枝;溅射法制备CeO_2-TiO_2薄膜的结构性能研究[D];武汉理工大学;2004年
9 鞠兵;高精度数字式光学膜厚监控系统的研制[D];四川大学;2005年
10 冯君刚;反可见、中红外透10.6μm高能激光分色镜的研制[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026