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《光学技术》 2014年02期
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基于波前传感法的立方相位板面形测量

吴青青  张效栋  房丰洲  张林  
【摘要】:针对立方相位板的曲面特征,基于波前传感方法设计了面形测量系统。提出了波前数据到曲面面形的映射模型,借助图像处理方法有效地提高了测量的动态范围,实现了较大曲率的立方相位板面形精度的超精密测量。仿真分析表明,该模型的转换精度同传统算法相比提高了2~3倍,测量的动态范围提高了4倍,且仍有提高空间。最后搭建的实验系统实现了实际立方相位板面形的测量,通过与Wyko白光干涉仪的测量数据对比,验证了测量的准确性。
【作者单位】天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
【分类号】:O439

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
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2 张金平;张忠玉;张学军;李锐钢;;增大夏克-哈特曼波前传感器动态范围的算法研究[J];光学学报;2011年08期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 张金平;夏克—哈特曼波前传感器检测大口径非球面应用研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2012年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 钮赛赛;沈建新;梁春;张运海;;人眼像差探测哈特曼波前传感器的质心优化[J];光学精密工程;2011年12期
2 张金平;张学军;张忠玉;郑立功;;Shack-Hartmann波前传感器检测大口径圆对称非球面反射镜[J];光学精密工程;2012年03期
3 王俐;饶长辉;饶学军;;纳米级针孔矢量衍射波前误差分析[J];光学精密工程;2012年03期
4 齐岳;孔宁宁;李大禹;夏明亮;宣丽;;高分辨率开环液晶自适应光学视网膜成像系统[J];光学学报;2012年10期
5 刘丽丽;黄涛;蔡敏;高明;封文江;;大视场液晶自适应视网膜成像系统[J];光学精密工程;2013年02期
6 刘敏时;王晓曼;景文博;王斌;;用于激光光束检测的夏克-哈特曼传感器参量设计[J];光学学报;2013年03期
7 李晖;吴云韬;潘凡;蔡敦波;张彦铎;;基于液晶电控可调夏克-哈特曼波前传感器的研究[J];光学学报;2013年12期
8 李萌阳;李大海;赵霁文;章辰;王琼华;;基于方形域内标准正交矢量多项式的波前重建[J];光学学报;2014年07期
9 李响;张晓辉;;大型光学设备检测中大口径平行光管波像差的消除[J];光学精密工程;2015年02期
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中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 夏明亮;高精度人眼像差哈特曼探测器的研制[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
2 陈夫林;620mm弯月形薄镜主动支撑研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2012年
3 张金平;夏克—哈特曼波前传感器检测大口径非球面应用研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2012年
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【二级参考文献】
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8 谢意;陈强;伍凡;邱传凯;侯溪;张晶;;凹非球面检测的双计算全息图设计及制作[J];光电工程;2008年06期
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中国博士学位论文全文数据库 前5条
1 夏明亮;高精度人眼像差哈特曼探测器的研制[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
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3 史广维;基于矢量波像差理论的反射望远系统装调研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
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【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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3 耿远超;刘兰琴;王文义;张颖;黄晚晴;粟敬钦;李平;;利用晶体相位板同时实现焦斑整形和偏振匀滑[J];物理学报;2013年14期
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中国重要会议论文全文数据库 前2条
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1 赵惠;用于景深延拓的非旋转对称相位板特性研究与新的设计[D];浙江大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前6条
1 吁乐锋;波前编码系统中奇对称型相位板的研究[D];天津大学;2008年
2 李秀文;基于组合相位板的靶面束匀滑技术研究[D];西南交通大学;2014年
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4 左言胜;光场的计算与相位恢复的方法研究[D];安徽大学;2007年
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