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《光学技术》 2007年02期
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基于相位相关与块匹配的纳米精度微器件平面动态测量

金翠云  王建林  靳世久  栗大超  胡晓东  
【摘要】:为测量MEMS谐振器周期运动过程中各个时刻的运动特性及其动态特性参数,结合微器件的特征,利用光学的方法对MEMS器件进行了运动分析。提出了基于相位相关与块匹配相结合的运动检测技术,并对MEMS器件的运动图像序列做了分析与处理,得到了其动态特性参量,为MEMS器件的设计提供了重要参考。实验结果表明,该方法具有较好的测量精度和测量速度,测量重复性可达到44nm。

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【引证文献】
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 黄赞;基于计算机微视觉的微运动测量关键技术研究[D];华南理工大学;2011年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 王明辉,彭立中;一种新的快速块匹配运动估计算法[J];北京大学学报(自然科学版);2001年03期
2 王立鼎,刘冲;微机电系统科学与技术发展趋势[J];大连理工大学学报;2000年05期
3 肖德贵,余胜生,周敬利;快速而有效的块运动估计算法[J];计算机研究与发展;2001年06期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 褚金奎,郝秀春,王立鼎;拓扑优化方法的研究现状及在微机构设计中的应用[J];微纳电子技术;2003年Z1期
2 马官营;颜国正;于莲芝;施建;;人体消化道内微机电系统线圈耦合系数分析[J];北京生物医学工程;2006年05期
3 王沫然,李志信;基于MEMS的微泵研究进展[J];传感器技术;2002年06期
4 徐鹏,祖静,林祖森;微加速度计的力学分析[J];传感器技术;2002年06期
5 李新,唐祯安,徐军;用于微机电系统的类金刚石膜制备及表征[J];材料研究学报;2004年06期
6 俞能海,陈豪,刘政凯;基于块金字塔的快速块匹配算法[J];电路与系统学报;2003年02期
7 张博;吴芝路;张欣宇;陈广平;林茂六;;基于矢量叠加和自适应中止的快速运动估计[J];电视技术;2006年04期
8 彭金祥;基于校园网的远程监控系统研究[J];佛山科学技术学院学报(自然科学版);2005年02期
9 陈治;胡晓东;傅星;胡小唐;;基于块匹配的MEMS平面纳米精度运动测量[J];光学精密工程;2008年03期
10 李强,吴宇列,李圣怡;经济型微机电台阶测量仪的研究[J];航空精密制造技术;2005年03期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 亓璐;张勇;杨波;韩涵;;H.264标准中视频编码层技术的研究[A];第25届中国控制会议论文集(下册)[C];2006年
2 王立鼎;;中国MEMS的研究与开发进程(简稿)[A];MICONEX2002仪器仪表与自动化技术发展学术大会会议指南[C];2002年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 张田田;微通道内气体流动换热的理论与实验研究[D];北京交通大学;2011年
2 刘超;激光光热驱动技术与微型光热驱动机构研究[D];浙江大学;2010年
3 卢泉;基于机器视觉的特殊管道静态参数高精度测量技术研究[D];西安电子科技大学;2010年
4 周健;铜箔力学性能的尺寸效应及微拉深成形研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
5 黄赞;基于计算机微视觉的微运动测量关键技术研究[D];华南理工大学;2011年
6 郭春海;电磁力扰动作用下微管道中液体流动与混合的特性研究[D];南京理工大学;2012年
7 贾智;微电子机械系统中新型电磁微电机的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
8 王沫然;微纳尺度气体流动和换热的Monte Carlo模拟[D];清华大学;2004年
9 曹彬;微通道反应器的传递和反应特性[D];中国科学院研究生院(大连化学物理研究所);2005年
10 白兰;基于MEMS的无阀泵数值仿真与实验研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张斌;基于MIMU的捷联惯性导航系统数据采集与处理技术研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
2 张成;SU-8柔性微夹钳的拓扑优化设计与制作工艺[D];大连理工大学;2010年
3 王文静;电热微夹钳的性能测试[D];大连理工大学;2010年
4 刘凉;3-RRRU并联机器人运动学控制的研究[D];天津理工大学;2010年
5 梅凡;三自由度并联机器人精度分析与综合[D];天津理工大学;2010年
6 李耀斌;三自由度并联机器人运动学分析[D];天津理工大学;2010年
7 赵洪全;3-DOF并联机器人传动性能研究[D];天津理工大学;2010年
8 南小武;介观压容效应在传感器应用方面的研究[D];中北大学;2011年
9 冀海文;应变对DBRT结构等效电容影响的研究[D];中北大学;2011年
10 祝婕;薄膜材料热性能研究与测试[D];电子科技大学;2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 郭彤,胡晓东,栗大超,胡春光,胡小唐;显微干涉技术在MEMS动态测试系统中的应用[J];微纳电子技术;2003年Z1期
2 冯亚林,栗大超,金翠云,郝一龙,张大成,靳世久;基于计算机视觉的MEMS测试系统[J];微纳电子技术;2003年Z1期
3 栗大超,冯亚林,傅星,胡晓东,靳世久,郝一龙,胡小唐;MEMS动态测试技术[J];微纳电子技术;2005年04期
4 王立鼎,刘冲;微机电系统科学与技术发展趋势[J];大连理工大学学报;2000年05期
5 王兵,赵荣椿,程英蕾;一种基于小波域的运动估计方法[J];电子与信息学报;2005年05期
6 廖强,周忆,米林,徐宗俊;机器视觉在精密测量中的应用[J];重庆大学学报(自然科学版);2002年06期
7 谢勇君,白金鹏,史铁林,刘胜;MEMS三维静动态测试系统[J];光电子·激光;2005年05期
8 张惠鸽;杨存榜;张文海;刘永刚;白立新;张文德;;用于激光聚变的科学级光学CCD读出噪声标定[J];光学与光电技术;2007年05期
9 李云飞;司国良;郭永飞;;科学级CCD相机的噪声分析及处理技术[J];光学精密工程;2005年S1期
10 陈治;胡晓东;傅星;胡小唐;;基于块匹配的MEMS平面纳米精度运动测量[J];光学精密工程;2008年03期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 朱铮涛;基于计算机视觉图像精密测量的关键技术研究[D];华南理工大学;2004年
2 金翠云;MEMS平面微运动测量的若干关键技术研究[D];天津大学;2004年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 丁衡高;微机电系统的科学研究与技术开发[J];清华大学学报(自然科学版);1997年09期
2 鲍敏杭;微机械加工技术发展概况(二)[J];仪表技术与传感器;1998年06期
3 王立鼎,吴一辉;抓住机遇,推动我国微型机械的快速发展[J];中国机械工程;1999年02期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 陈治;胡晓东;傅星;胡小唐;;基于相关拟合校准技术的MEMS平面微运动纳米精度测量[J];天津大学学报;2009年06期
2 李红斌,刘延冰,张卫军;光学电流传感器的研究进展[J];电工技术杂志;1997年01期
3 刘利生;刘元;;空间动态目标间相对距离解算方法的改进[J];飞行器测控学报;2005年06期
4 陆鹏;张熹;龚礼东;吴君毅;夏远富;;半导体固体绿激光在柴油机零部件光学无损检测中的应用研究[J];柴油机;2007年06期
5 花世群;骆英;花世荣;牛险峰;;应用干涉法测量杨氏弹性模量[J];半导体光电;2007年06期
6 刘朝山;肖松;师琳;王宏力;刘光斌;;大动态CMOS APS的星敏感器光学系统主要参数设计[J];光学技术;2007年S1期
7 黄林林;谢元平;张斌;;激光陀螺中的光学抖动及其对锁区的影响分析[J];应用光学;2010年02期
8 徐龙;瞿丹;钱钺;张文;周莉萍;;一种实现线性无衍射结构光的方法研究[J];光学仪器;2010年05期
9 崔东明;冯海友;;菲涅尔透镜间接阴影方法在自发光流场光学显示与测量中的应用[J];爆炸与冲击;1997年01期
10 吴努,沈世德,DresigH;凸轮机构运动特性的谐评判[J];机械科学与技术;1998年06期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 赵凤东;范顺武;林伟;黄悦;张宏军;;椎体终板骨折对腰椎稳定性的影响[A];2005年浙江省骨科学术会议论文汇编[C];2005年
2 夏开全;姚卫星;董石麟;;球面网壳失稳的运动特性研究[A];第九届空间结构学术会议论文集[C];2000年
3 黄品同;田新桥;黄福光;杨琰;赵雅萍;邹春鹏;詹坤高;吕夕明;李艳萍;;VVI技术对正常人颈动脉壁运动特性的初步研究[A];2006年浙江省超声医学学术年会论文汇编[C];2006年
4 俞高红;赵匀;孙良;;圆柱齿椭圆齿行星系分插机构的运动特性分析与优化[A];农业机械化与新农村建设——中国农业机械学会2006年学术年会论文集(上册)[C];2006年
5 吕冰海;袁巨龙;常敏;赵文宏;潘峰;;超精密修正环型平面抛光机运动特性的分析[A];制造业与未来中国——2002年中国机械工程学会年会论文集[C];2002年
6 徐新喜;赵秀国;谭树林;刘亚军;高振海;;人体口喉模型内气流运动特性数值模拟[A];第九届全国生物力学学术会议论文汇编[C];2009年
7 桂志国;韩焱;;相位相关配准法及其在射线图像数字减影中的应用[A];中国仪器仪表学会学术论文集[C];2004年
8 袁平;张宇;;内燃机气道模型的反求和快速成型探讨[A];面向21世纪的生产工程——2001年“面向21世纪的生产工程”学术会议暨企业生产工程与产品创新专题研讨会论文集[C];2001年
9 黄品同;田新桥;孙海燕;李艳萍;杨琰;邹春鹏;赵雅萍;张超;金慧佩;潘尹;黄福光;;VVI技术对颈动脉软斑运动特性的初步研究[A];2006年浙江省超声医学学术年会论文汇编[C];2006年
10 解小华;石要武;张爱春;;红外烟草水份测定仪及其数字滤波方法[A];中国仪器仪表学会第三届青年学术会议论文集(上)[C];2001年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 记者 李琦琨;省光学测量工程技术研究中心挂牌[N];经济信息时报;2011年
2 四川 张达 编译;用于光学测量的高灵敏度 放大器和高速响应放大器[N];电子报;2005年
3 马京生;王大珩 茫茫天宇追光电[N];解放军报;2000年
4 文文;2004奔驰布局中国[N];经济参考报;2004年
5 清晨;大众Polo GT 活力四射的新款运动轿车上市[N];中国汽车报;2004年
6 李涛;宝马X3在中国上市[N];中国质量报;2004年
7 记者 宫广军;2004奔驰发力布局中国市场[N];国际金融报;2004年
8 记者  董芸;全国政协原副主席宋健在西高新调研[N];陕西日报;2006年
9 李国辉 张军 汤义;挖掘技术直面多媒体[N];计算机世界;2002年
10 记者 黎文安;宋健在高新区调研[N];西安日报;2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 金翠云;MEMS平面微运动测量的若干关键技术研究[D];天津大学;2004年
2 张洪丽;超声振动辅助磨削技术及机理研究[D];山东大学;2007年
3 韩先国;并联机床相关理论及设计方法研究[D];北京航空航天大学;2002年
4 范玲;调制偏振光在光学精密测量和方位信息传递中的应用研究[D];北京邮电大学;2006年
5 李爽;基于光学测量的相对导航方法及在星际着陆中的应用研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
6 左芬;同步移相干涉测量的抗振技术研究[D];南京理工大学;2008年
7 王玉荣;光折变全息干涉新技术及其应用研究[D];山东大学;2005年
8 褚克坚;温差剪切分层流运动特性试验及数值模拟研究[D];河海大学;2006年
9 赵丹培;频域下的目标跟踪方法及其在DSP中的实现[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
10 胡社教;基于图像绘制的遥操作虚拟环境构建技术研究[D];中国科学技术大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 侯冬梅;基于离散小波变换和相位相关的图像复制粘贴篡改检测[D];云南大学;2011年
2 陈岩;基于DSP的实时智能视频跟踪系统设计[D];天津大学;2004年
3 苏宙平;空间极紫外望远镜在轨校准技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2004年
4 崔晓垣;基于光学测量的相对导航技术研究[D];西北工业大学;2005年
5 李宏;两种少自由度并联机器人的某些运动特性研究[D];燕山大学;2002年
6 杨锋;图像匹配系统的嵌入式实现[D];武汉理工大学;2006年
7 孟梦;影视舞蹈镜头语言之运动性研究[D];中国艺术研究院;2008年
8 陈航;三自由度并联机构正解及试验平台控制方法研究[D];华中科技大学;2005年
9 曾成杰;珊瑚砂运动特性及珊瑚砂岛泥沙流失防治研究[D];南京水利科学研究院;2009年
10 张王全;弧面分度凸轮运动特性及其参数化仿真研究[D];西北工业大学;2004年
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