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《光学精密工程》 1999年01期
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微机械元件和仪器新进展

邵培革  王立鼎  任延同  
【摘要】:微机械元件和微机械仪器,适于大批量生产,具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成度高的特点,近十年来,研制、开发及市场扩大方面取得了巨大的进展,展现了美好的前景。

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王蕴;;传感器在现代汽车上的应用[J];白城师范学院学报;2006年04期
2 唐祯安,王立鼎;关于微尺度理论[J];光学精密工程;2001年06期
3 巫正中,钟先信,李晓毅,陈文涛;微机械多层短接式蓝牙天线[J];光学精密工程;2001年06期
4 吴英,温志渝,张正元,蒋子平,黄尚廉;低电压集成电泳芯片的研制[J];光学精密工程;2003年02期
5 黄瑞雪;;传感器在汽车电控燃油喷射系统中的应用[J];轻工科技;2013年02期
6 马军山,陈高庭,王向朝,方祖捷;用于光通信的微电子机械系统技术进展[J];激光与光电子学进展;1999年10期
7 韩光平,刘凯,褚金奎;微电子机械系统尺寸效应的泛函分析[J];机械设计;2004年02期
8 黄萍,孙继萍;MEMS——电子领域的新宠[J];山东师大学报(自然科学版);2004年02期
9 王立鹏,战洪仁;一种新型微泵的结构设计及其流体的有限元分析[J];沈阳化工学院学报;2005年01期
10 韩光平,刘凯,王秀红;微电子机械系统的尺寸效应[J];西安理工大学学报;2004年02期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 胡莉;李茜;;微加速度计[A];中国自动化学会、中国仪器仪表学会2004年西南三省一市自动化与仪器仪表学术年会论文集[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前8条
1 石晶;基于硅微通道板的新型三维传感器[D];华东师范大学;2011年
2 慈朋亮;硅微通道板制备及其热电性能研究[D];华东师范大学;2011年
3 刘震宇;微型及小型柔性机械结构的拓扑优化设计方法[D];大连理工大学;2000年
4 罗振兵;合成射流/合成双射流机理及其在射流矢量控制和微泵中的应用研究[D];国防科学技术大学;2006年
5 杨姝;复杂机械结构拓扑优化若干问题研究[D];大连理工大学;2007年
6 吴丽萍;扁锥腔无阀压电泵理论与实验研究[D];吉林大学;2008年
7 杨闯;微熔模精铸过程微尺度成形及充型流动规律研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
8 刘涛;基于硅微通道板的三维储能器件的研究[D];华东师范大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 殷俊;微机械压电超声换能器的力电性能研究[D];南京理工大学;2012年
2 黎海文;微摩擦测试仪中微力传感器的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2002年
3 王立鹏;微泵的理论建模及静动态特性分析[D];沈阳工业大学;2003年
4 杨林杰;压电式无阀微泵振动分析及流场数值计算[D];燕山大学;2005年
5 毕非凡;电流变液辅助精细加工机理研究[D];广东工业大学;2005年
6 王志陶;电热微致动器的多能量域建模与仿真技术研究[D];燕山大学;2006年
7 王俊杰;MEMS电容式加速度传感器检测电路减噪与微机械谐振器静电自激驱动研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2006年
8 聂品;椭圆弧柔性铰链研究及其在微机械中的应用[D];西安电子科技大学;2007年
9 阴学朴;平行梁结构电热微夹持器研究[D];燕山大学;2007年
10 张德君;双腔体四振子压电薄膜泵的理论与实验研究[D];吉林大学;2007年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 朱昌青,周宏标,李永新,王伦;催化动力学光度法测定啤酒中的乙醇[J];安徽师范大学学报(自然科学版);2000年02期
2 单晓梅,张振宇,刘立明,管斌,梅利华,王晓纬;饮酒后血中乙醇的监测[J];安徽预防医学杂志;2004年03期
3 袁明权;硅基微机械加工技术[J];半导体技术;2001年08期
4 朱健;MEMS技术的发展与应用[J];半导体技术;2003年01期
5 王冲;郝跃;冯倩;郭亮良;;氮化镓干法刻蚀研究进展[J];半导体技术;2006年06期
6 王泗禹,康剑;半导体微细加工中的刻蚀设备及工艺[J];微纳电子技术;2002年11期
7 郭彤,胡晓东,栗大超,胡春光,胡小唐;显微干涉技术在MEMS动态测试系统中的应用[J];微纳电子技术;2003年Z1期
8 冯焱颖,周兆英,叶雄英,王国辉;压电致动微喷的压力波特征分析[J];微纳电子技术;2003年Z1期
9 贾建援,黄新波,康春霞;微泵的结构与流体分析[J];微纳电子技术;2004年05期
10 温梁,汪家友,刘道广,杨银堂;MEMS器件制造工艺中的高深宽比硅干法刻蚀技术[J];微纳电子技术;2004年06期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 张永宇;沈雪瑾;赵江铭;陈晓阳;;热致动硅微夹钳实验研究[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘震宇;微型及小型柔性机械结构的拓扑优化设计方法[D];大连理工大学;2000年
2 高峰;流动矢量主动控制的微射流技术研究[D];西北工业大学;2003年
3 罗小兵;微惯性流体器件中的流动和传热及其工程应用[D];清华大学;2002年
4 梅玉林;拓扑优化的水平集方法及其在刚性结构、柔性机构和材料设计中的应用[D];大连理工大学;2003年
5 陈永;基于滑膜阻尼效应的音叉式微机械陀螺研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2004年
6 赵强;基于MEMS技术的微型泵的研究[D];中国科学院研究生院(电子学研究所);2004年
7 左孔天;连续体结构拓扑优化理论与应用研究[D];华中科技大学;2004年
8 田文超;MEMS及纳米接触研究[D];西安电子科技大学;2004年
9 区士颀;任意拓扑曲面的多分辨率建模算法研究[D];华中科技大学;2005年
10 邱信明;基于细观机制的应变梯度塑性理论新发展及应用[D];清华大学;2001年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 蔡克刚;用于推力方向控制的微射流技术[D];西北工业大学;2001年
2 黄小振;电容式振动微机械陀螺接口电路的设计、模拟与测试[D];中国科学院上海冶金研究所;2001年
3 郄彦辉;铝合金车轮的结构分析及优化[D];河北工业大学;2003年
4 罗振兵;合成射流流动机理及应用技术研究[D];中国人民解放军国防科学技术大学;2002年
5 陶惠峰;超精密微位移系统研究[D];浙江大学;2003年
6 李勇;微夹持理论与系统的研究[D];清华大学;2002年
7 徐敏;基于表面张力自装配机理及其在微电子封装中的应用[D];华中科技大学;2004年
8 刘九龙;压电泵为动力源的计算机芯片水冷系统研究[D];吉林大学;2005年
9 胡世猛;板壳结构强度与声学特性分析[D];武汉理工大学;2006年
10 王志陶;电热微致动器的多能量域建模与仿真技术研究[D];燕山大学;2006年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 赵波,李宏生;MEMS光开关的研究与进展[J];微纳电子技术;2004年02期
2 苏继龙;;多晶体材料微构件尺度效应的实验和模型研究[J];微纳电子技术;2009年10期
3 王竹萍;仲顺安;丁英涛;马永旺;;可压缩气体合成喷射流数值模拟[J];北京理工大学学报;2011年03期
4 商福民;董伟;;局域非平衡条件下微尺度超常传热特性及研究进展[J];长春工程学院学报(自然科学版);2007年03期
5 毛胜平;汪红;刘瑞;汤俊;李雪萍;丁桂甫;;UV-LIGA镍薄膜材料的力学性能测试与分析[J];功能材料;2010年02期
6 吕宏峰;闫卫平;李杰超;;低电压驱动微流控芯片二氧化硅绝缘薄膜的研究[J];功能材料;2012年09期
7 刘天军,章维一,侯丽雅;细胞注射玻璃微针拉针器的研制[J];光学精密工程;2003年05期
8 李应良,潘武;基于腔结构的射频微机械谐振元件的设计[J];光学精密工程;2004年03期
9 苏亚辉;陈宇航;董磊;郑志军;郭锐;肖诗洲;黄文浩;;原子力显微镜测量双光子成型点的弹性模量[J];光学精密工程;2006年04期
10 闫永达;费维栋;胡振江;程相杰;孙涛;董申;;基于单片机的AFM纳米机械性能测试系统[J];光学精密工程;2008年07期
中国重要会议论文全文数据库 前4条
1 黄则兵;葛文杰;马利娥;;柔性机构的研究现状及其在仿生领域的应用前景[A];第十四届全国机构学学术研讨会暨第二届海峡两岸机构学学术交流会论文集[C];2004年
2 李瑰贤;;微机械动力学的研究与发展[A];首届七省区市机械工程学会科技论坛论文集[C];2005年
3 吕宏峰;闫卫平;马灵芝;李鹤楠;;阵列电极毛细管电泳芯片的控制电路设计[A];第六届全国信息获取与处理学术会议论文集(2)[C];2008年
4 余隽;唐祯安;张凤田;陈正豪;王立鼎;;用于薄膜热容测量的微型量热计[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 高立新;轿车集成开发中若干关键技术研究[D];合肥工业大学;2010年
2 张田田;微通道内气体流动换热的理论与实验研究[D];北京交通大学;2011年
3 孙卫明;科学与工程计算中的Fourier级数多尺度方法[D];北京交通大学;2011年
4 孙丽波;微板多物理场耦合非线性动力学研究[D];燕山大学;2011年
5 王明旭;复杂结构的阻尼减振理论及设计方法研究[D];南京航空航天大学;2010年
6 路家斌;电磁流变协同效应微磨头加工机理研究[D];广东工业大学;2011年
7 巫正中;RF-MEMS天线理论、建模仿真及特性研究[D];重庆大学;2002年
8 余文革;变形时域建模仿真理论及其在微机械天线中的应用[D];重庆大学;2004年
9 柯才军;微透镜阵列的设计、制作及与CCD的集成技术[D];华中科技大学;2005年
10 李震;柔性机构拓扑优化方法及其在微机电系统中的应用[D];大连理工大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 金翼飞;聚合物微挤出流变学理论与试验研究[D];大连理工大学;2010年
2 包丽雅;MEMS引信的微装配技术研究[D];沈阳理工大学;2010年
3 郝亚锋;基于MEMS的静电控制加速度微开关分析及测试[D];西安电子科技大学;2011年
4 赵雪梅;铝合金半挂车关键拓扑优化轻量化设计[D];吉林大学;2011年
5 赖云山;平面连续体结构拓扑与形状优化设计研究[D];华南理工大学;2011年
6 沈安林;中低速磁悬浮车体结构设计及优化[D];西南交通大学;2011年
7 成伟;非对称坡面腔底无阀压电泵试验与研究[D];南京航空航天大学;2010年
8 刘吉晓;无阀微流控闭环调焦系统特性研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
9 庞永俊;大型弧齿锥齿轮铣齿机结构优化设计[D];天津大学;2010年
10 朱明;适用于微位移机构的弹性铰链特性分析及试验研究[D];南京航空航天大学;2011年
【相似文献】
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1 鲍敏杭;微机械加工技术发展概况(二)[J];仪表技术与传感器;1998年06期
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3 马炳和,苑伟政,李晓莹,张春江;微机械与微/纳米科技的研究及其发展趋势[J];航空精密制造技术;1997年06期
4 李立杰,梁春广;微机械热对流加速度计[J];半导体学报;2001年04期
5 ;二十一世纪最具代表性技术──微机械[J];机械工程师;2001年01期
6 于云霞,贾宝贤,陆富荣;微机械制造技术及应用[J];机械制造;2002年09期
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8 徐毅,高思田,王春艳,叶孝佑;微机械及纳米计量科学[J];中国机械工程;2000年03期
9 陈晓阳,沈雪瑾,陆景唐;薄膜型硅微机械的摩擦学问题[J];中国机械工程;2002年01期
10 ;21世纪最具有代表性技术——微机械[J];机械管理开发;2002年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 郭美凤;高钟毓;张嵘;陈志勇;;微机械姿态测量单元及在船用卫星电视接收天线姿态稳定中的应用[A];2003年惯性仪表与元件学术交流会论文集[C];2003年
2 李兰;刘铮;邹德恕;沈光地;;新型室温工作微机械红外探测器[A];首届信息获取与处理学术会议论文集[C];2003年
3 王海翔;孙萍;;微机械和微机器人研究的最新进展[A];中国仪器仪表学会第三届青年学术会议论文集(上)[C];2001年
4 薛长国;黄渊;张青川;刘红;伍小平;;微机械阵列传感器设计与实现[A];中国力学学会学术大会'2009论文摘要集[C];2009年
5 李海军;杨拥军;徐永青;郑七龙;;一种新型光通信用微机械可变光衰减器[A];提高全民科学素质、建设创新型国家——2006中国科协年会论文集(下册)[C];2006年
6 张巧云;林日乐;谢佳维;张挺;翁邦英;王瑞;赵建华;郑永祥;吕志清;;石英微机械惯性传感器的研究[A];中国惯性技术学会第五届学术年会论文集[C];2003年
7 张为斌;方竞;;微机械陀螺仪的理论和设计基础[A];计算力学研究与进展——中国力学学会青年工作委员会第三届学术年会论文集[C];1999年
8 张福学;王宏伟;张伟;毛旭;张楠;;利用旋转载体自身角速度驱动的硅微机械陀螺[A];惯性技术发展动能发展方向研讨会论文集[C];2004年
9 韩磊;廖小平;朱健;;一种在线微机械微波功率传感器的研究[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
10 沈雪瑾;侯利程;刘谨;;硅微机械动平板表面粘附阻力[A];2006全国摩擦学学术会议论文集(二)[C];2006年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 广州 Pcking;动起来——Flash动画的制作[N];电脑报;2003年
2 吉林 孙德印;几种品牌国产彩电易发故障速修方法(上)[N];电子报;2009年
3 鲜飞;了解ICT应用ICT[N];中国电子报;2002年
4 李映;低功耗、可复位:汽车元件新要求[N];中国电子报;2004年
5 广东 吴永光;两只元件的摩托车自动防盗器[N];电子报;2004年
6 湖北 余致民;用普通元件制作廉价胆机[N];电子报;2005年
7 易凡;盛群推出HT46R321内置OPA元件A/D型微控制器[N];电子资讯时报;2007年
8 罗咏琳童建根 邓远峰;元件产业成了余江大税源[N];中国税务报;2008年
9 润瑞;依利安达培育元件百强的摇篮[N];中国电子报;2001年
10 ;第十七届电子元件百强经济分析[N];中国电子报;2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 余文革;变形时域建模仿真理论及其在微机械天线中的应用[D];重庆大学;2004年
2 宗登刚;微机械材料力学性能测量[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2003年
3 吕琼莹;微机械压电微电机原型机的研究[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2001年
4 王浙辉;硅基微机械光开关研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2003年
5 张流强;基于微机械的光调制热成像器件研究[D];中国科学院上海冶金研究所;2000年
6 纪新明;MEMS红外光声气体传感系统的研究[D];复旦大学;2005年
7 董林玺;微机械电容式传感器及其相关特性研究[D];浙江大学;2004年
8 贾智;微电子机械系统中新型电磁微电机的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
9 董玮;体硅微机械光开关的设计与制作工艺的研究[D];吉林大学;2004年
10 熊斌;栅结构微机械振动式陀螺[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2001年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 董宏奎;石英微机械振动陀螺薄膜相关技术研究[D];电子科技大学;2009年
2 程保罗;新型体微机械工艺制造高性能加速度传感器的研究[D];浙江大学;2004年
3 黎海文;微摩擦测试仪中微力传感器的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2002年
4 王卫东;微机械加工压力传感器的研究[D];哈尔滨工程大学;2003年
5 李伟;高g值硅微加速度计的结构设计与分析[D];南京理工大学;2005年
6 陈宇晓;电容式微机械静电伺服加速度计系统分析[D];电子科技大学;2003年
7 刘东栋;一种基于体硅微机械工艺的微机械光开关的研究[D];浙江大学;2002年
8 徐永青;2×2微机械(MEMS)光开关[D];西安电子科技大学;2006年
9 金虎;悬臂梁结构微机械压阻式加速度传感器研究[D];中国科学院上海冶金研究所;2000年
10 田锋;微机械微腔阵列结构生物传感器的制备和表征[D];中国科学院上海冶金研究所;2001年
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