收藏本站
《光学精密工程》 1998年01期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

微米纳米技术及微型机电系统

周兆英  叶雄英  崔天宏  张联  
【摘要】:微型机电系统和微型制造技术是一个新兴的技术领域。本文论述微米纳米制造技术的发展过程,微细加工的进展,微型机电系统的概念、主要研究课题,以及它的应用领域。
【作者单位】清华大学精密仪器与机械学系
【分类号】:TP271.4

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 胡杰;薛晨阳;张文栋;熊继军;张斌珍;;GaAs基共振隧穿微加速度计的研究[J];微纳电子技术;2007年Z1期
2 朱荻;纳米技术与特种加工[J];电加工与模具;2002年02期
3 张斌珍;宋志平;李建钊;;微型惯性测量组合的构成及标定技术[J];弹箭与制导学报;2005年S1期
4 张琛,曹长江,李振波,冯建智;毫米级全方位微型移动机器人的结构设计[J];高技术通讯;2001年06期
5 张培玉,武国英,郝一龙,李志军;微夹钳研究的进展与展望[J];光学精密工程;2000年03期
6 唐祯安,王立鼎;关于微尺度理论[J];光学精密工程;2001年06期
7 梅涛,陈永,张培强,伍小平;铁磁橡胶执行器与微型游泳机器人的尺度效应[J];光学精密工程;2001年06期
8 辛洪兵,郑伟智,赵罘;弹性铰链研究[J];光学精密工程;2003年01期
9 刘泽文,宣云,雷啸锋,李志坚,刘理天;高阻硅上RF-MEMS共面波导设计及测量研究[J];光学精密工程;2005年02期
10 刘本东;李德胜;杨晓波;;一种单稳态微电磁继电器的研究[J];光学精密工程;2007年04期
中国重要会议论文全文数据库 前5条
1 朱荻;;纳米制造技术与特种加工[A];2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
2 辛洪兵;;弹性铰链的可靠性设计[A];2006年全国机械可靠性学术交流会论文集[C];2006年
3 胡杰;薛晨阳;张文栋;熊继军;张斌珍;;GaAs基共振隧穿微加速度计的研究[A];第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集[C];2007年
4 朱荻;;纳米制造技术与特种加工[A];特种加工技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
5 齐永岳;赵美蓉;林玉池;;纳米测量系统的研究现状与展望[A];中国仪器仪表学会第五届青年学术会议论文集[C];2003年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘震宇;微型及小型柔性机械结构的拓扑优化设计方法[D];大连理工大学;2000年
2 杨兴;磁场与位移感知型超磁致伸缩微位移执行器及其相关技术研究[D];大连理工大学;2002年
3 苏绍璟;大量程纳米级光栅位移测量理论及关键技术研究[D];国防科学技术大学;2001年
4 楚兴春;纳米光栅干涉位移测量关键技术的研究[D];国防科学技术大学;2005年
5 王旭葆;金属粉末激光微成型系统研究[D];北京工业大学;2006年
6 杨洪涛;坐标测量机误差建模与修正技术研究[D];合肥工业大学;2007年
7 李鸣鸣;大行程纳米定位系统若干关键技术研究[D];上海大学;2007年
8 杨姝;复杂机械结构拓扑优化若干问题研究[D];大连理工大学;2007年
9 卢文娟;电子束重复增量扫描产生三维结构的关键技术研究[D];山东大学;2007年
10 李博;基于共振隧穿结构介观压阻效应的纳机电加速度计研究[D];中北大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 范勇;压电致动式微泵的驱动装置结构分析与设计[D];西安电子科技大学;2001年
2 唐华锋;MEMS工艺集成化设计及其可视化[D];西北工业大学;2003年
3 陈建军;GaAs基共振隧穿压阻式加速度计研究[D];中北大学;2006年
4 仇成群;基于LabVIEW的六维腕力传感器静态标定虚拟仪器的研究[D];合肥工业大学;2006年
5 聂品;椭圆弧柔性铰链研究及其在微机械中的应用[D];西安电子科技大学;2007年
6 贾晓丽;微梁机电耦合动力学[D];燕山大学;2007年
7 李旭;共振隧穿力电耦合微结构输出特性测试方法研究[D];中北大学;2007年
8 胡杰;介观压阻型加速度计的设计与性能测试[D];中北大学;2008年
9 葛金生;MEMS微结构动力学特性研究[D];南京理工大学;2008年
10 李启标;纳米三坐标测量机的误差分离与精度评定[D];合肥工业大学;2009年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 周兆英,叶雄英,胡敏,尤政;微型机电系统的进展[J];仪器仪表学报;1996年S1期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张芳,林良明;微机械的基本特征、关键技术及应用前景[J];传动技术;2001年01期
2 龚秋莲,周兆英,王晓浩,张文栋,夏邑;微泵电磁致动器的研制与测试[J];测试技术学报;1998年03期
3 李路明,任延同,王立鼎,邵培革;微夹钳技术发展现状及应用研究[J];光学精密工程;1997年04期
4 徐小云 ,颜国正 ,丁国清;微电子机械系统(MEMS)及其应用的研究[J];测控技术;2002年08期
5 杨元华;陈时锦;孙西芝;程凯;;台式超精密车床关键部件结构设计[J];机床与液压;2007年05期
6 王亚珍,朱文坚;微机电系统(MEMS)技术及发展趋势[J];机械设计与研究;2004年01期
7 徐世钰;微型机械设计的一些问题[J];机械设计与研究;1997年01期
8 闫利文;微电子机械系统技术应用研究[J];机械工程师;2003年07期
9 苑伟政,李晓莹;微机械及微细加工技术[J];机械科学与技术;1997年03期
10 俞必强;翁海珊;李疆;邱丽芳;;基于MDO的MEMS多物理域耦合设计建模[J];机械设计;2006年11期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 杭观荣;王振龙;赵万生;;基于MEMS技术的微型动力系统[A];全国生产工程第九届年会暨第四届青年科技工作者学术会议论文集(二)[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 程良伦;微管道机器人及其智能控制系统的研究[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2000年
2 贾智;微电子机械系统中新型电磁微电机的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
3 谢海波;集成微泵式微流控芯片关键技术的研究[D];浙江大学;2004年
4 柯才军;微透镜阵列的设计、制作及与CCD的集成技术[D];华中科技大学;2005年
5 金翠云;MEMS平面微运动测量的若干关键技术研究[D];天津大学;2004年
6 李震;柔性机构拓扑优化方法及其在微机电系统中的应用[D];大连理工大学;2006年
7 尹执中;热驱动微型泵的性能分析和实验研究[D];清华大学;1999年
8 明平美;UV-LIGA-微细电火花加工组合制造技术基础研究[D];南京航空航天大学;2006年
9 徐洁;微尺度器件及旋转干气密封微间隙内流体流动问题的研究[D];上海交通大学;2007年
10 王爱国;微地震监测与模拟技术在裂缝研究中的应用[D];中国石油大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王钻开;微机械压阻式冲击加速度传感器研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2003年
2 闻飞纳;MEMS器件系统级仿真技术研究[D];东南大学;2004年
3 焦峰;透皮微针阵列的工艺研究[D];浙江大学;2005年
4 马宁;微细塑性成形中的尺度效应及计算机模拟技术研究[D];华中科技大学;2005年
5 陈建军;GaAs基共振隧穿压阻式加速度计研究[D];中北大学;2006年
6 王志陶;电热微致动器的多能量域建模与仿真技术研究[D];燕山大学;2006年
7 张建辉;硅基微压力传感器关键工艺研究[D];国防科学技术大学;2005年
8 段耀凯;超精密切削微小结构表面的建模及分析[D];哈尔滨工业大学;2006年
9 王国田;微尺度构件微铸造成形工艺及组织性能研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
10 姜理利;多晶硅微悬臂梁断裂失效的可靠性模型建立[D];东南大学;2006年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 谭千里;四象限探测器组件在激光制导技术中的应用[J];半导体光电;2005年02期
2 王勇刚,马骁宇,吕卉,王丽明,刘媛媛;宽带半导体可饱和吸收镜研制方法及选择腐蚀研究[J];半导体技术;2004年07期
3 王振宇;成立;祝俊;李岚;;电子束曝光技术及其应用综述[J];半导体技术;2006年06期
4 吕惠民,田敬民;压力传感器的研究现状与发展趋势[J];半导体技术;1998年02期
5 高学邦,杜红彦,王小旭,赵静,王同祥,韩丽华,高翠琢;GaAs MESFET开关模型的研究[J];半导体情报;2000年01期
6 李秀清,周继红;MEMS封装技术现状与发展趋势[J];半导体情报;2001年05期
7 张威,张大成,王阳元;MEMS概况及发展趋势[J];微纳电子技术;2002年01期
8 郭维廉,梁惠来,张世林,牛萍娟,毛陆虹,赵振波,郝景臣,魏碧华,张豫黔,宋婉华,杨中月;共振隧穿二极管[J];微纳电子技术;2002年05期
9 嵇国金,马奎,王磊;微纳定位/进给技术研究现状[J];微纳电子技术;2003年05期
10 温廷敦,张文栋;介观压阻效应[J];微纳电子技术;2003年Z1期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 颜黄苹;黄元庆;;微/纳制造与微/纳测量技术综述[A];福建省科协第五届学术年会数字化制造及其它先进制造技术专题学术年会论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘震宇;微型及小型柔性机械结构的拓扑优化设计方法[D];大连理工大学;2000年
2 贾宏光;基于变比模型的压电驱动微位移工作台控制方法研究[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2000年
3 熊木地;大行程亚微米精度激光直写设备定位技术的研究[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2000年
4 惠梅;表面微观形貌测量中相移干涉术的算法与实验研究[D];中国科学院西安光学精密机械研究所;2001年
5 冯平;智能位移传感器系统的研究[D];浙江大学;2001年
6 金振林;新型六自由度正交并联机器人设计理论与应用技术研究[D];燕山大学;2002年
7 苏绍璟;大量程纳米级光栅位移测量理论及关键技术研究[D];国防科学技术大学;2001年
8 许桢英;动态测量系统误差溯源与精度损失诊断的理论与方法研究[D];合肥工业大学;2004年
9 梅玉林;拓扑优化的水平集方法及其在刚性结构、柔性机构和材料设计中的应用[D];大连理工大学;2003年
10 郭子政;Ⅱ-Ⅵ族半导体异质结构中的激子及其压力效应[D];内蒙古大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 赵洪策;桌面式微型工厂的建模和仿真与可视化关键技术研究[D];西北工业大学;2001年
2 李浩;小量程悬臂梁微机械压阻式加速度传感器研究[D];中国科学院上海冶金研究所;2001年
3 郝颖;微机械加速度计的测试与应用研究[D];哈尔滨工程大学;2002年
4 苑会领;基于Stewart平台的预紧式六维力传感器的研制与开发[D];燕山大学;2003年
5 郄彦辉;铝合金车轮的结构分析及优化[D];河北工业大学;2003年
6 陶惠峰;超精密微位移系统研究[D];浙江大学;2003年
7 阎志伟;Stewart平台式六维力传感器静态标定的理论与实验研究[D];燕山大学;2004年
8 杨朝辉;扁平驻极体微电机的研究与仿真[D];西北工业大学;2004年
9 陈坚美;微型机电系统端点特性建模技术研究[D];浙江大学;2004年
10 张燕霞;基于虚拟仪器的传感器虚拟实验与虚拟实验室[D];南京航空航天大学;2005年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 闫如胜;马修水;李桂华;应仲阳;;光栅尺纳米测量技术研究及其发展[J];安徽电子信息职业技术学院学报;2008年01期
2 孙效骥;钟伟红;方波静;支雄飞;余麟;;基于二次莫尔条纹纳米光栅传感器细分电路设计[J];安徽电子信息职业技术学院学报;2011年02期
3 葛建中;黄松清;葛丛;;关于三坐标测量策略的探讨[J];安徽工程科技学院学报(自然科学版);2010年04期
4 张文峰,朱荻;纳米晶复合材料电沉积工艺的研究进展[J];兵器材料科学与工程;2003年06期
5 严雪萍;张慧;韩庆福;李俊;成立;徐志春;刘德林;;激光微加工电热微夹钳设计与FEA仿真[J];半导体技术;2007年08期
6 商福民;董伟;;局域非平衡条件下微尺度超常传热特性及研究进展[J];长春工程学院学报(自然科学版);2007年03期
7 胡长德;赵美蓉;李咏强;高娟;朱砂;;大行程纳米级压电微动工作台的设计与试验研究[J];传感技术学报;2009年06期
8 付真斌;韩丰田;段光武;;基于频分复用的多路微电容检测技术[J];传感技术学报;2010年03期
9 权哲浩;林玉池;赵美蓉;李光鲜;齐永岳;;大行程纳米级步进压电微动台的特性研究[J];传感器与微系统;2008年02期
10 张立;林玉池;赵美蓉;齐永岳;秦峰;;光栅回转式压电微角度执行器的研究[J];传感器与微系统;2010年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 许黎明;胡德金;邓琦林;赵晓明;;压电陶瓷微位移驱动加工精密异形回转曲面技术的研究[A];第五届海内外青年设计与制造科学会议论文集(第二卷)[C];2002年
2 曾威;霍军周;滕弘飞;;演化设计及其在方案设计和人工生命设计中应用[A];第五届海内外青年设计与制造科学会议论文集(第二卷)[C];2002年
3 颜黄苹;黄元庆;;微/纳制造与微/纳测量技术综述[A];福建省科协第五届学术年会数字化制造及其它先进制造技术专题学术年会论文集[C];2005年
4 肖成榕;张建寰;;微位移机构及其控制技术研究现状和发展[A];福建省科协第五届学术年会数字化制造及其它先进制造技术专题学术年会论文集[C];2005年
5 黄则兵;葛文杰;马利娥;;柔性机构的研究现状及其在仿生领域的应用前景[A];第十四届全国机构学学术研讨会暨第二届海峡两岸机构学学术交流会论文集[C];2004年
6 卢全国;陈定方;魏国前;丁建军;;GMM的发展现状及其在精密致动器件中的应用[A];12省区市机械工程学会2006年学术年会湖北省论文集[C];2006年
7 陈远龙;任中根;徐家文;陈济轮;;电解加工技术的现状与展望[A];2005年中国机械工程学会年会论文集第11届全国特种加工学术会议专辑[C];2005年
8 朱永伟;云乃彰;吴冰杰;;制作微器件的超声电解复合微细加工试验研究[A];2005年中国机械工程学会年会论文集第11届全国特种加工学术会议专辑[C];2005年
9 辛洪兵;;弹性铰链的可靠性设计[A];2006年全国机械可靠性学术交流会论文集[C];2006年
10 李晓华;王卫华;赵建才;王峰;;现代精密工程测量技术及新进展[A];2007'全国测绘科技信息交流会暨信息网成立30周年庆典论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 杜娟;高精度电子组装设备中智能材料驱动器的建模与控制研究[D];华南理工大学;2010年
2 张田田;微通道内气体流动换热的理论与实验研究[D];北京交通大学;2011年
3 宋新玉;镍基合金Inconel 718高速切削刀具磨损机理研究[D];山东大学;2010年
4 程良伦;微管道机器人及其智能控制系统的研究[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2000年
5 谭湘强;液体中微机器人的运动机理与实验研究[D];广东工业大学;2002年
6 何斌;医用微型机器人动力学建模及其行为智能控制研究[D];浙江大学;2001年
7 钟映春;基于泳动方式的微机器人研究[D];广东工业大学;2003年
8 刘莹;准分子激光加工表面微观形貌表征及其特征研究[D];武汉理工大学;2002年
9 齐永岳;大范围二维纳米检测系统的设计研究[D];天津大学;2004年
10 李杏华;激光跟踪系统的设计[D];天津大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 金翼飞;聚合物微挤出流变学理论与试验研究[D];大连理工大学;2010年
2 祝超;KrF激光微细加工Al_2O_3陶瓷机理及试验研究[D];大连理工大学;2010年
3 习俊梅;稀土超磁致伸缩驱动微动夹钳研究[D];南昌大学;2010年
4 黄明;基于线性霍尔传感器的智能阀位变送器的设计[D];杭州电子科技大学;2009年
5 刘耀东;一种新型仿生游动机器人研究[D];南京航空航天大学;2010年
6 杨朋飞;微型介入机器人控制系统设计及其综合性能实验分析[D];南京航空航天大学;2010年
7 桂延杰;球面衍射光栅传感器信号处理系统的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
8 于士诚;调频式电容位移传感器中若干关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
9 刘丽丽;音圈电机位置伺服控制系统的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
10 董跃华;激光干涉检测装置的实验研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 ;《传感技术学报》期刊征订[J];电子器件;2011年04期
2 ;[J];;年期
3 ;[J];;年期
4 ;[J];;年期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前9条
1 张为斌;方竞;;静电场中柔性结构的变形研究[A];计算力学研究与进展——中国力学学会青年工作委员会第三届学术年会论文集[C];1999年
2 辛洪兵;;弹性铰链的可靠性设计[A];2006年全国机械可靠性学术交流会论文集[C];2006年
3 董景新;张嵘;;微米纳米技术在惯性技术领域的应用研究[A];加入WTO和中国科技与可持续发展——挑战与机遇、责任和对策(下册)[C];2002年
4 尤政;李滨;;微米纳米技术在空间技术中的应用研究[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
5 杨亲民;;武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室纳米复合领域学术带头人博士生导师官建国教授[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(8)[C];2007年
6 ;热烈祝贺上海市真空学会成立20周年 暨第九届学术年会胜利召开[A];上海市真空学会成立20周年暨第九届学术年会论文集[C];2005年
7 周兆英;袁松梅;;微/纳机电系统的技术特点及其产业化分析(摘要)[A];中国科协2001年学术年会分会场特邀报告汇编[C];2001年
8 袁哲俊;;纳米技术的最新进展[A];面向21世纪的生产工程——2001年“面向21世纪的生产工程”学术会议暨企业生产工程与产品创新专题研讨会论文集[C];2001年
9 ;2008第七届中国国际纳米科技(武汉)研讨会征文通知[A];第八届功能性纺织品及纳米技术研讨会论文集[C];2008年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 杨虎军;DEM三维微加工能手[N];中国矿业报;2000年
2 记者 李红;法国组建微米纳米技术园[N];科技日报;2000年
3 伍维;中国微米纳米技术学会成立[N];中国有色金属报;2005年
4 易人;MEMS:小角色的大未来[N];计算机世界;2003年
5 王玉宾林红;中北大学微米纳米技术研究中心为神七火箭系统“把脉”[N];山西日报;2008年
6 本报记者 王馨 本报通讯员 王振满;力争在高新区建成全国技术核心基地[N];南京日报;2007年
7 本报记者 姚诗煌 王勇 江世亮;2010年达到14400亿美元[N];文汇报;2000年
8 ;用事业测量人生[N];山西日报;2004年
9 王育昕吴红梅;光伏产业奇迹对创新江苏的样本意义[N];新华日报;2008年
10 裴广江;两会环保议案提案数量质量攀历史新高[N];大众科技报;2005年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 沈雪瑾;硅微单侧直脚谐振器与复合V型梁热致动器的机械性能研究[D];上海大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前5条
1 方志华;MEMS工艺版图三维重构技术研究[D];西北工业大学;2004年
2 唐华锋;MEMS工艺集成化设计及其可视化[D];西北工业大学;2003年
3 霍鹏飞;MEMS的集成设计平台建模及其系统级设计技术[D];西北工业大学;2002年
4 胡强;空间曲线啮合轮机构的弹性变形失效准则及强度设计公式[D];华南理工大学;2010年
5 孙磊厚;空间曲线啮合轮传动机构的制造工艺研究[D];华南理工大学;2011年
中国知网广告投放
相关期刊
>射频世界
>电子器件
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026