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《光学精密工程》 1997年03期
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含有中周期误差的圆光栅刻划误差的评定

杨进堂  
【摘要】:介绍了圆光栅的中周期误差产生的主要原因、检测方法以及评定带有中周期误差的圆光栅刻划误差的两种方法。
【作者单位】中国科学院长春光学精密机械研究所
【分类号】:TG83

【引证文献】
中国博士学位论文全文数据库 前5条
1 刘小康;基于电气制导与误差修正的几何量计量新方法及新型栅式智能位移传感器研究[D];重庆大学;2005年
2 杨伟;时栅的波动方程分析与行波形成新方法的研究与实验[D];重庆大学;2006年
3 陈锡侯;新型时栅位移传感器研究[D];重庆大学;2007年
4 梁立辉;高精度复合式光电编码器设计及分析[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
5 孙莹;小型航天级光电编码器细分误差补偿方法研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 丁良华;火炮身管药室几何量参数自动测量系统[D];内蒙古科技大学;2009年
【共引文献】
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1 付永启,刘怀道;动态目标发生器圆鼓图形光刻掩模板的研制[J];光学精密工程;1996年01期
2 杨进堂;动态光电显微镜[J];光学精密工程;1996年03期
3 曹向群,金彤;长刻线机误差控制[J];光学技术;1995年05期
4 曹向群,金彤;用多面体测试分度误差研究[J];光学技术;1997年01期
5 范华良;曹向群;金彤;;光刻技术综述[J];光学仪器;1992年03期
6 曾向群,刘春华;零位光栅的一些性能研究[J];光学仪器;1994年03期
7 赵浩,曹向群;光谱法测试长光栅性能[J];光学仪器;1994年Z1期
8 赵强,谢元营,曹向群;长刻机加工圆分度研究[J];光学仪器;1994年Z1期
9 曹向群,包正康;分度误差测量研究[J];光学仪器;1996年06期
10 楼永坚,曹向群,金彤;光固化法制造三维零件及其检测[J];激光技术;1996年03期
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1 孙琛;基于Ronchi光栅Talbot效应的大口径长焦距透镜焦距数字检测仪[D];浙江大学;2005年
【同被引文献】
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1 张连存,张国玉,徐熙平,杨继兴,袁峰,苏拾;一种火炮炮膛锥度的测量方法[J];长春理工大学学报;2004年03期
2 王作斌;23位绝对式光电轴角编码器[J];传感器技术;1992年05期
3 高晓辉,蔡鹤皋;光电码盘细分计数及接口设计[J];传感器技术;1997年06期
4 刘汉平;冯长有;丁林辉;;Lissajous曲线拟合法评估编码器细分误差[J];传感器与微系统;2006年02期
5 楚兴春,吕海宝,杜列波;正交莫尔(干涉)条纹区段跟踪计数细分法[J];测试技术学报;2004年03期
6 王坚;单长胜;;一种药室参数测量新方法[J];测试技术学报;2006年01期
7 刘晓初;有效过盈量对轴承径向工作游隙的影响[J];轴承;1996年11期
8 刘成尧,王小海,祁才君;基于CPLD集成芯片FLEX6016实现DDS技术的任意波形发生器的研制[J];电测与仪表;2003年04期
9 邵思杰,李建中;火炮药室参数测量技术的研究[J];弹道学报;1998年04期
10 周琴;;GPIB总线及应用技术[J];低压电器;2008年01期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 张兴红;时空坐标转换理论及场式时栅位移传感器实验研究[D];重庆大学;2003年
2 谭为民;差线栅位移传感器原理与参数设计准则及其实验研究[D];重庆大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 刘小康;智能电激型场式时栅位移传感器系统[D];重庆大学;2002年
2 李伟;场式时栅开发系统与实验技术研究[D];重庆大学;2002年
【二级引证文献】
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1 高忠华;张兴红;陈锡侯;;卡尔曼滤波在时栅传感器动态标定系统中的应用[J];重庆理工大学学报(自然科学版);2010年02期
2 朱革;罗静;郭增强;袁亚辉;王玲;;基于MEMS三相栅式位移传感器信号调理电路设计[J];传感器与微系统;2012年01期
3 朱革;郭增强;王先全;罗静;袁亚辉;;非等齿耦合位移传感器的研究[J];传感器与微系统;2012年02期
4 王彦刚;彭东林;易文翠;王先全;;基于CPLD设计的增量式时栅传感器增量信号处理电路[J];工具技术;2007年02期
5 郑方燕;王宝珠;;基于SOPC的时栅位移传感器信号处理系统设计[J];传感技术学报;2012年10期
6 王兴;戚景观;;一种新的拉线式位移传感器的设计及其应用[J];机械工程与自动化;2012年04期
7 彭东林;郑永;杨继森;万文略;陈锡侯;;基于时栅传感器的精密数控线切割机研发[J];仪器仪表学报;2010年08期
8 邓飙;邱义;张宝生;;液压缸行程检测技术研究现状[J];液压与气动;2008年11期
9 万文略;胡德全;崔冰波;谢伟辉;;时栅传感器在铣床数控改造中的应用[J];组合机床与自动化加工技术;2011年11期
10 涂文英;钱静;徐向东;;大型高精度光电轴角编码器主轴系装配分析[J];制造技术与机床;2011年12期
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 郑永;基于时栅传感器的精密蜗轮副动态检测技术研究[D];合肥工业大学;2011年
2 连清旺;矿井顶板(围岩)状态监测及灾害预警系统研究及应用[D];太原理工大学;2012年
3 苏东风;高精度标定转台光栅测角系统关键技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 靳志辉;新型透射光栅谱仪支撑调节机构总体方案研究[D];重庆大学;2011年
2 娄莉娜;基于MEMS技术的三相栅式位移传感器关键技术的研究[D];重庆理工大学;2011年
3 胡超;典型位移传感器的通用接口系统研究与设计[D];重庆理工大学;2011年
4 陈涛;双轴联动蜗杆检测仪控制系统研究开发[D];重庆理工大学;2011年
5 武亮;变耦合系数时栅位移传感器研究[D];重庆理工大学;2011年
6 闫晓军;光电编码器的信号误差补偿和故障诊断研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
7 柳增运;基于水听器超声声场特性参数测量研究[D];北京化工大学;2011年
8 王书峰;基于可编程逻辑器件的光电编码器测速方法研究[D];北京邮电大学;2012年
9 王彦刚;增量式时栅位移传感器原理及系统研究[D];重庆大学;2006年
10 郑方燕;时栅传感器环节误差分析及检验标准的建立[D];重庆工学院;2008年
【相似文献】
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1 吴遵高;;关于计量光栅中的一个基本问题——如何消除周期误差的探讨[J];航空精密制造技术;1980年01期
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3 杨进堂;含有中周期误差的圆分度件刻划误差的评定方法[J];计量技术;1997年07期
4 王兴元;刘西钊;杨云岐;;圆光栅的刻制及应用[J];精密制造与自动化;1980年03期
5 赵吉先;;短程红外测距仪周期误差检测精度探讨[J];矿山测量;1990年01期
6 徐毓娴,白立芬,于水,李庆祥;圆光栅测量齿轮传动系统回转精度[J];机械传动;2000年01期
7 陈君翊,刘长星;时间误差影响的理论分析[J];西安科技学院学报;1996年01期
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9 乐美豪;齿轮传动精度标准的发展趋势[J];工具技术;1982年01期
10 王玉楷;圆光栅数显装置在大型车床上的应用[J];制造技术与机床;1976年02期
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1 苏瑞祥;孙坤瑗;;度盘刻划位置误差及减小影响的措施(兼述我国2″级全站仪是否要设换盘机构)[A];2000年全国测绘仪器综合学术年会论文集[C];2000年
2 陈士连;朱红燕;陈益茂;徐秉华;;光电测距仪计量校准中周期误差校准结果的不确定度评定[A];2000年全国测绘仪器综合学术年会论文集[C];2000年
3 汤清伟;;光电测距仪周期误差分析[A];全国测绘科技信息网中南分网第二十一次学术信息交流会论文集[C];2007年
4 汤清伟;;长度计量仪器测距指标处理系统的开发运用[A];全国测绘科技信息网中南分网第二十一次学术信息交流会论文集[C];2007年
5 冯刚;谢华锟;叶勇;傅英;涂小龙;丁华;陈政伟;黄文亮;;批量微小齿轮高效测量新技术[A];自主创新与持续增长第十一届中国科协年会论文集(2)[C];2009年
6 刘亮;;角度的光学测量[A];贵州省科学技术优秀学术论文集(2004年度)[C];2004年
7 张伟德;;水准测量的误差分析及控制方法[A];中国航海学会航标专业委员会测绘学组学术研讨会学术交流论文集[C];2006年
8 马如坤;;坝区开挖高边坡边长交会方法的应用[A];中国测绘学会九届三次理事会暨2007年“信息化测绘论坛”学术年会论文集[C];2007年
9 贾民育;刘冬至;李树德;;LCR重力仪观测自动化研究[A];1995年中国地球物理学会第十一届学术年会论文集[C];1995年
10 何术龙;陈玮琪;郭圣汉;李定尊;;拖曳水池敞水试验的测量不确定度分析[A];2004年船舶水动力学学术会议论文集[C];2004年
中国重要报纸全文数据库 前1条
1 河南省测绘产品质量监督站;把好质量大关 尽为测绘保驾护航[N];中国测绘报;2009年
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1 喻洪麟;计量圆光栅的原理、制造及检测技术研究[D];重庆大学;2003年
2 王标;多滚轮高精度在线测量系统的信息融合技术研究[D];合肥工业大学;2009年
3 杨伟;时栅的波动方程分析与行波形成新方法的研究与实验[D];重庆大学;2006年
4 隋展;高功率激光系统中的光束全息控制[D];复旦大学;2006年
5 陈赟;单圈绝对式光电轴角编码器原理的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
6 胡毅;关节式坐标测量机热变形误差建模及修正研究[D];合肥工业大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 郑宇;大直径滚轮测量系统滚轮测头标定方法研究[D];合肥工业大学;2009年
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3 林铿;关节臂式坐标测量机的误差分析与补偿研究[D];浙江大学;2010年
4 吴敏;惯性测试转台的圆光栅测角模块和摩擦补偿研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
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8 厉超;三米滚珠丝杠螺距精度动态测量系统研究[D];山东大学;2007年
9 李龙林;莫尔条纹特性检测及其图像处理[D];重庆大学;2009年
10 王志;三轴电控转台测角系统[D];长春理工大学;2009年
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