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《光学精密工程》 2011年08期
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多台阶平板静电驱动的高占空比微镜阵列的研制

李四华  徐静  龙亮  钟少龙  吴亚明  
【摘要】:为了在限定驱动电压下获得大镜面尺寸、大扭转角度的微镜阵列,提出了一种多台阶平板静电驱动结构的微镜阵列。理论分析了多台阶平板结构与平行平板结构在静电驱动时的区别。研究了多台阶平板结构的制作工艺并采用体硅加工工艺制作了多台阶平板静电驱动的微镜阵列,获得了微镜面尺寸达到600μm×200μm,包含52个微镜面排布,占空比高达97%的微镜阵列。测试表明,制作的微镜面结构在驱动电压为164 V时可以实现最大1.1°的扭转角度,相对于传统的平行平板静电驱动结构大大降低了驱动电压。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 李四华;刘玉菲;高翔;吴亚明;;微机电系统扭转微镜面驱动器的研制[J];半导体学报;2006年04期
2 张昱;潘武;;折叠弹簧式MEMS水平扭转微镜的设计与分析[J];光学精密工程;2005年S1期
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 李四华;刘玉菲;高翔;吴亚明;;微机电系统扭转微镜面驱动器的研制[J];半导体学报;2006年04期
2 王大鹏;韦穗;;数字微镜器件的相位调制性质[J];光学学报;2007年07期
3 杨梅;韩翔;林川力;陈兢;;一种高制动效率大角度硅扭转微镜MEMS光开关的设计[J];纳米技术与精密工程;2006年04期
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 余洪斌,陈海清;具有多运动自由度的新型多功能微镜[J];半导体学报;2005年04期
2 兰卫华,明安杰,梁静秋;国内MOEMS光开关的研究现状[J];光通信技术;2004年04期
3 季国顺,张永康;微机械系统建模与仿真技术研究[J];光学精密工程;2002年06期
4 潘武,钟先信,刘积学;微机电系统(ME MS)的仿真和模型分析(英文)[J];光学精密工程;2003年01期
5 罗元,张正元,付红桥,黄尚廉;一种静电MEMS光开关的理论与实验研究[J];微电子学;2003年05期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李四华;徐静;龙亮;钟少龙;吴亚明;;多台阶平板静电驱动的高占空比微镜阵列的研制[J];光学精密工程;2011年08期
2 ;[J];;年期
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中国重要会议论文全文数据库 前3条
1 申中华;李勇;;MOEMS光开关中一种新的微镜驱动方式[A];2007通信理论与技术新发展——第十二届全国青年通信学术会议论文集(下册)[C];2007年
2 王海龙;秦文化;;有限元分析方法对微镜面自组装制作过程的模拟分析[A];第11届全国发光学学术会议论文摘要集[C];2007年
3 张照云;高杨;赵兴海;赵翔;;激光自混合干涉测速技术[A];2008年激光探测、制导与对抗技术研讨会论文集[C];2008年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 张巍;基于激光扫描系统的光栅光阀研究[D];浙江大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 王丹;MOEMS阵列光开关的制作与性能测试[D];吉林大学;2006年
2 杨特育;高精度微光学器件激光直写光刻系统研究[D];华中师范大学;2007年
3 王伟;面向微型光谱仪的MOEMS光栅光调制器研究[D];重庆大学;2011年
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