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用扫描白光干涉术检测合金韧窝断口微观三维形貌

邹文栋  黄长辉  郑玱  徐周珏  董娜  
【摘要】:运用扫描白光干涉法对30CrMnSiA合金韧窝断口复杂的三维表面微观形貌进行了检测。系统采用Linnik干涉结构,并通过基于扫描空间余弦傅里叶频域分析的算法重建断口表面三维形貌。实验中扫描行程达120μm,纵向检测精度优于5 nm,余弦傅里叶分析表现出很强的位相提取和噪声抑制能力,韧窝断口微观形貌的三维重建效果理想。采用小岛法对获得的三维形貌数据进行分形维数测算,在40%~70%相对切割高度处,断口表面分形维数为1.630 4~1.643 2,平均值为1.641 7,标准差为0.012 0。结果显示,30CrMnSiA合金韧窝断口微观形貌具有典型的分形特征。实验表明,扫描白光干涉术是检测断口微观三维形貌的一种有效方法,具有纵向精度高,测程范围大,重构效率高等特点。

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1 邹文栋;黄长辉;郑玱;徐周珏;董娜;;用扫描白光干涉术检测合金韧窝断口微观三维形貌[J];光学精密工程;2011年07期
2 ;[J];;年期
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