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《光学精密工程》 2006年04期
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环形子孔径拼接干涉检测非球面的数学模型和仿真研究

王孝坤  张学军  王丽辉  郑立功  
【摘要】:利用环形子孔径拼接干涉技术可以不需要补偿器、CGH等辅助元件就能够高分辨、低成本、高效地实现对大口径、大相对孔径非球面的检测。介绍了该技术的基本原理,并基于最小二乘法和Zernike多项式拟合建立了合理的数学模型,同时对其进行了计算机模拟实验,拼接前后全孔径相位分布残差的PV值和RMS值分别为0.0079λ和0.0027λ,说明该拼接模型和算法是准确可行的,从而提供了除零位补偿外又一种定量测试非球面尤其是大口径非球面的途径。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 尤锐;王晶;王文革;刘季春;薛育;;大口径测量系统主反射镜装调及精度分析[J];长春理工大学学报(自然科学版);2008年03期
2 李开;吴瑕;王树成;张彩霞;;关于目前非球面测量方法的综述[J];国防技术基础;2010年11期
3 周林;戴一帆;解旭辉;焦长君;李圣怡;;光学镜面离子束加工的可达性[J];光学精密工程;2007年02期
4 王孝坤;王丽辉;张学军;;子孔径拼接干涉法检测非球面[J];光学精密工程;2007年02期
5 邓伟杰;郑立功;史亚莉;王孝坤;张学军;;基于线性代数和正则化方法的驻留时间算法[J];光学精密工程;2007年07期
6 王孝坤;王丽辉;张学军;;干涉法实时测量浅度非球面技术[J];光学精密工程;2008年02期
7 戴一帆;曾生跃;陈善勇;;环形子孔径测试的迭代拼接算法及其实验验证[J];光学精密工程;2009年02期
8 乔玉晶;吕宁;;像差修正拼接法测量非球面精度的评定[J];光学精密工程;2009年03期
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10 张伟;王曌;任智斌;王玲;;大口径凸非球面反射镜的拼接检测算法研究[J];光学技术;2010年02期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 李树军;白雨虹;吴秀丽;曹金;王卉;严寒;常唯;朱丹;;有效扩大审稿专家在文章评审中的作用[A];编辑学报(2009年增刊)[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 刘东;通用数字化高精度非球面干涉检测技术与系统研究[D];浙江大学;2010年
2 王小鹏;大口径非球面数字刀口仪测试技术研究[D];南京理工大学;2010年
3 满玉春;基于数字莫尔条纹的非球面检测技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
4 黄大刚;非球面测量技术与数据处理方法研究[D];天津大学;2007年
5 李威;空间相机主次镜间支撑结构技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
6 郭权锋;同轴三反空间相机结构稳定性研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前6条
1 郑婉喆;宽光束波前检测子孔径拼接技术[D];长春理工大学;2008年
2 翁俊淼;非球面检测的若干基础理论研究[D];浙江大学;2008年
3 季波;子孔径拼接干涉检测非球面光学元件[D];南京理工大学;2008年
4 刘崇;非球面环形子孔径拼接干涉测试方法研究[D];南京理工大学;2009年
5 曾生跃;子孔径拼接工作站设计及其关键技术研究[D];国防科学技术大学;2008年
6 崔继峰;光学零件表面轮廓干涉测量方法研究[D];哈尔滨工业大学;2008年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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2 董文勇,王平;用偏振移相共路剪切干涉仪测量光学非球面[J];北京工商大学学报(自然科学版);2003年03期
3 邸旭;于伟莉;刘智颖;王志坚;;激光光斑中心位置计算方法的研究[J];长春理工大学学报(自然科学版);2008年03期
4 万勇建,范斌,袁家虎,杨力,郑耀,曾志革;大型非球面主镜细磨中的一种在线检测技术[J];光电工程;2005年01期
5 廖靖宇;高晓东;蓝公仆;赵人杰;;航空相机物镜动态光机热分析与设计[J];光电工程;2010年07期
6 汉语;伍凡;万勇建;房凯;;Tikhonov正则化在Zernike多项式拟合中的应用[J];光电工程;2010年07期
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8 冯婕;白瑜;邢廷文;;Zernike多项式波面拟合精度研究[J];光电技术应用;2011年02期
9 于雪莲;田佳峻;姚勇;赵新辉;刘超;孙云旭;;基于单幅干涉图的波前重构技术研究[J];光学与光电技术;2010年01期
10 单宝忠,陈恩涛,卢锷,武克用;空间光仪光机热集成分析方法[J];光学精密工程;2001年04期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 吴朔;沙定国;林家明;周桃庚;陈凌峰;聂亮;;光纤点衍射干涉仪测量凹球面面形[A];中国仪器仪表学会第九届青年学术会议论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 王小鹏;大口径非球面数字刀口仪测试技术研究[D];南京理工大学;2010年
2 康岩辉;阿伏伽德罗常数测量中硅球直径测量的若干关键问题研究[D];天津大学;2009年
3 满玉春;基于数字莫尔条纹的非球面检测技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
4 陈旭;温度变化对绝对检验面形变形影响与补偿器方法研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
5 刘强;利用快速刀具伺服车削光学自由曲面的研究[D];吉林大学;2012年
6 孙希威;磁流变抛光机床数控系统关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
7 左芬;同步移相干涉测量的抗振技术研究[D];南京理工大学;2008年
8 杨磊;虚拟样机技术及其在航天遥感器研发中的应用[D];国防科学技术大学;2008年
9 贾立德;光学非球面坐标测量关键技术研究[D];国防科学技术大学;2008年
10 周林;光学镜面离子束修形理论与工艺研究[D];国防科学技术大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 孙威;Φ800mm通光口径纹影系统结构分析与设计[D];中国工程物理研究院;2010年
2 尚红波;超短脉冲激光时空特性的仿真研究[D];浙江大学;2011年
3 李雪丽;高精度形状测量仪测控系统硬件研究[D];中原工学院;2011年
4 李利;光学自由曲面加工误差对光学性能的影响[D];吉林大学;2011年
5 金亚方;径向剪切干涉波面重构算法研究[D];南京理工大学;2011年
6 庄严;ф600mm干涉仪系统传递函数的检测与分析方法研究[D];南京理工大学;2011年
7 李灿;全光二维负反馈系统关键技术研究[D];重庆大学;2011年
8 杨允利;大气等离子体加工数控方法研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
9 牟志超;球形磨头抛光技术研究[D];国防科学技术大学;2011年
10 王丹;小像差压电变形镜制造技术研究[D];苏州大学;2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 杜艳丽;刘晓旻;段智勇;弓巧侠;郭茂田;;太赫兹波探测器的研究进展[J];半导体光电;2009年04期
2 常军,姜会林,翁志成,丛小杰,金英姬;大视场、长焦距空间光学系统的设计[J];兵工学报;2003年01期
3 李旭东,宗光华,毕树生,赵玮;生物工程微操作机器人视觉系统的研究[J];北京航空航天大学学报;2002年03期
4 刘惠兰,郝群,朱秋东,沙定国;利用部分补偿透镜进行非球面面形测量[J];北京理工大学学报;2004年07期
5 黄劲松,彭超群,杨兵;审稿专家的选择与管理[J];编辑学报;2003年01期
6 李云霞;加强审稿专家队伍的动态管理——《中国农业科学》编辑部的实践[J];编辑学报;2005年01期
7 许花桃,刘淑华,傅晓琴,李嘉;学术期刊审稿专家系统的实现[J];编辑学报;2005年05期
8 董文勇,王平;用偏振移相共路剪切干涉仪测量光学非球面[J];北京工商大学学报(自然科学版);2003年03期
9 王文生;泰曼—电视—微机系统非球面面形测试[J];长春光学精密机械学院学报;1997年04期
10 陆永贵;杨建东;;光学非球面度的探讨[J];长春理工大学学报;2005年04期
中国博士学位论文全文数据库 前9条
1 王俊;航天光学成像遥感器动态成像质量评价与优化[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2000年
2 王贵林;SiC光学材料超精密研抛关键技术研究[D];中国人民解放军国防科学技术大学;2002年
3 张蓉竹;ICF系统光学元件高精度波前检测技术研究[D];四川大学;2003年
4 孙宝玉;轻型大视场光学遥感器结构动态特性研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2004年
5 杨晓飞;三反射镜光学系统的计算机辅助装调技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
6 高明辉;空间光学遥感器超薄反射镜及其支撑结构研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2004年
7 陈善勇;非球面子孔径拼接干涉测量的几何方法研究[D];国防科学技术大学;2006年
8 巩盾;温度对遥感器光学系统成像质量的影响[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
9 李威;空间相机主次镜间支撑结构技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前9条
1 刘琳;长焦距三反射式望远镜设计研究[D];苏州大学;2002年
2 李贤辉;光机集成有限元分析光学面形后处理研究与实现[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2004年
3 董旭刚;桁架结构的有限元分析与优化设计研究[D];西安理工大学;2005年
4 韩涵;运载火箭加筋壳结构稳定性分析[D];国防科学技术大学;2005年
5 李国;新型非球面超精密加工装置数控系统的研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
6 王朝暄;大口径光学平面干涉检测的子孔径拼接研究[D];南京理工大学;2007年
7 庞永杰;计算全息法检测凹非球面研究[D];昆明理工大学;2008年
8 刘崇;非球面环形子孔径拼接干涉测试方法研究[D];南京理工大学;2009年
9 廖洋;基于相位恢复的长焦距光学镜面面形在位检测技术研究[D];国防科学技术大学;2009年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王飞;孙燕梅;;组合式长导轨调整方法在数控机床中的应用[J];才智;2011年34期
2 姜伟;申德新;王立波;李刚;赵汝成;;大口径光学反射镜化学镀镍工艺及质量管理[J];电镀与涂饰;2008年10期
3 吴晶;王建立;林旭东;;基于Shack-Hartmann的子孔径拼接波前检验技术[J];光电工程;2011年01期
4 王伟波;谭久彬;;非球面非零位拼接测量的对准误差模型[J];光电子.激光;2010年02期
5 李开;吴瑕;王树成;张彩霞;;关于目前非球面测量方法的综述[J];国防技术基础;2010年11期
6 胡皓;彭小强;戴一帆;石峰;;磁流变抛光螺旋扫描方式的算法与实现[J];国防科技大学学报;2009年04期
7 张峰;;八角形离轴非球面反射镜加工[J];光机电信息;2010年12期
8 焦长君;李圣怡;王登峰;解旭辉;周林;;离子束加工光学镜面的材料去除特性[J];光学精密工程;2007年10期
9 王孝坤;王丽辉;张学军;;干涉法实时测量浅度非球面技术[J];光学精密工程;2008年02期
10 丁凌艳;戴一帆;陈善勇;;平面子孔径拼接测量研究[J];光学精密工程;2008年06期
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘东;通用数字化高精度非球面干涉检测技术与系统研究[D];浙江大学;2010年
2 王小鹏;大口径非球面数字刀口仪测试技术研究[D];南京理工大学;2010年
3 王毅;超精密车削工艺研究[D];苏州大学;2011年
4 满玉春;基于数字莫尔条纹的非球面检测技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
5 刘春雨;非球面补偿检测的准确度研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
6 罗霄;采用平转动应力盘技术加工超大口径非球面的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
7 刘兆栋;φ600mm近红外相移斐索干涉仪校准及测试技术研究[D];南京理工大学;2011年
8 张学成;磁射流抛光技术研究[D];国防科学技术大学;2007年
9 焦长君;光学镜面离子束加工材料去除机理与基本工艺研究[D];国防科学技术大学;2008年
10 周林;光学镜面离子束修形理论与工艺研究[D];国防科学技术大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 骆永洁;非球面部分补偿干涉检测方法的误差分析及系统优化研究[D];浙江大学;2011年
2 倪江楠;光学自由曲面检测光路方案及关键部件设计研究[D];南京理工大学;2011年
3 谢丹;非球面光学元件超精密磨削加工精度分析与误差补偿技术研究[D];长春理工大学;2011年
4 许静;剪切干涉测量光学元件的波前重建方法及其仿真研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
5 廖文林;高精度球体类零件离子束确定性修形技术研究[D];国防科学技术大学;2010年
6 任定世;确定性光学加工的中高频误差分布特性与修形方法研究[D];国防科学技术大学;2011年
7 郭疆;离轴三反航天测绘相机研究[D];吉林大学;2011年
8 叶璐;离轴非球面反射镜检测方法的研究[D];南京理工大学;2012年
9 杨洋;光学反射镜组件结构尺寸稳定性分析[D];长春工业大学;2011年
10 王登峰;光学镜面离子束抛光系统工艺参数研究[D];国防科学技术大学;2007年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 刘月爱;;干涉图象的数字处理[J];光学工程;1985年04期
2 刘月爱;条纹分析中一种简单的Zernike多项式拟合方法[J];光学学报;1985年04期
【相似文献】
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1 李锐钢;郑立功;薛栋林;张学军;;大口径高次、离轴非球面干涉测量中投影畸变的标定方法[J];光学精密工程;2006年04期
2 韦春龙,陈明仪,丁峥;相移干涉术修正五步算法研究[J];光学仪器;1997年06期
3 王建岗,苗兴华,薛鸣球;应用差分干涉技术研究气体与水两相传热[J];光子学报;1996年05期
4 从征;原子力显微镜用干涉术定标[J];激光与光电子学进展;2000年02期
5 刘中本,杨辉,汪平涛,李奕峰;相移干涉术中压电陶瓷的驱动电路[J];西安工业学院学报;1995年03期
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中国重要会议论文全文数据库 前7条
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4 王家骐;韩昌元;;自力更生创建我国航天光学遥感器研制基地[A];面向21世纪的科技进步与社会经济发展(下册)[C];1999年
5 郑立功;薛栋林;张学军;;离轴非球面干涉补偿检验的一种计算机辅助调整技术[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
6 高万荣;胡茂海;杨晓春;李鹏;刘东;;光学相干层析术综述(英文)[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
7 伍文;伍凡;;用计算机辅助干涉仪测试非球面[A];'99十一省(市)光学学术会议论文集[C];1999年
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 惠梅;表面微观形貌测量中相移干涉术的算法与实验研究[D];中国科学院西安光学精密机械研究所;2001年
2 陈旭;温度变化对绝对检验面形变形影响与补偿器方法研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
3 刘忠;天文图象高分辨重建及空域性质研究[D];中国科学院研究生院(云南天文台);2003年
4 陈信伟;用于保偏光纤特性表征的白光干涉理论及技术研究[D];天津大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 白雪莲;液晶电视用于计算全息非球面测试技术的研究[D];南京理工大学;2004年
2 季波;子孔径拼接干涉检测非球面光学元件[D];南京理工大学;2008年
3 张佳欣;离轴三反系统非球面检验与系统装调[D];长春理工大学;2008年
4 董琳琳;利用Twin-CGH进行球面和非球面的绝对检验[D];南京理工大学;2009年
5 刘崇;非球面环形子孔径拼接干涉测试方法研究[D];南京理工大学;2009年
6 范俊玲;大口径非球面检测方法研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
7 庄春泉;诱发应变场的实验研究[D];南京航空航天大学;2003年
8 安波;二次曝光数字全息干涉术的理论与应用研究[D];四川大学;2001年
9 王惠临;基于傅里叶变换的点衍射干涉术的研究[D];四川大学;2007年
10 赵晓凤;利用循环式径向剪切干涉术研究液晶空间光调制器的位相调制特性[D];四川大学;2002年
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