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《光学精密工程》 2005年06期
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基于激光多普勒技术的PZT薄膜压电性能测试研究

许晓慧  鲁健  朱龙洋  褚家如  
【摘要】:应用基于激光多普勒技术的微小形变分析方法,并引入数字锁相技术,成功实现了PZT(Pb(Zr,Ti)O3)铁电薄膜的压电性能测试。对商用压电陶瓷在小信号激励下的压电性能测试表明,数字锁相技术的引入能有效抑制系统噪声,并提高激光多普勒系统的位移检测分辨率,使其达到皮米量级。此外,研究了用溶胶-凝胶技术和溶胶-电雾化技术制备得到的PZT薄膜的电压-位移曲线和压电位移“蝴蝶线”,实验结果表明:在5 V直流偏置下测得两种方法制备得到的PZT薄膜的d33压电系数分别为218.7 pC/N和215.8 pC/N,相应的标准偏差分别为12.7和28.6。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
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2 熊龙宇;姜胜林;曾亦可;张海波;王青萍;;压电厚膜的研究现状及趋势[J];材料导报;2009年09期
3 董晓浩;凤良杰;康乐;徐朝银;;同步辐射X射线双晶单色器联动机构[J];光学精密工程;2007年02期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 赵钢;基于SPM的超高密度信息存储关键技术研究[D];中国科学技术大学;2007年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 阚君武,杨志刚,程光明;压电泵的现状与发展[J];光学精密工程;2002年06期
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3 鲁健,褚家如;高取向PZT铁电薄膜的溶胶-凝胶法制备[J];中国科学技术大学学报;2002年06期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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5 王皓;罗先刚;姚汉民;杜春雷;;微机械往复式无阀泵的振动特性分析[J];光学精密工程;2005年S1期
6 马冬梅;孙军月;张波;韩昌元;;高精度大口径平面镜面形角差法测试探究[J];光学精密工程;2005年S1期
7 蒋明;杨福俊;董萼良;郑翔;何小元;;基于高速摄像的双线性振动陀螺力学特性分析[J];光学精密工程;2006年01期
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9 夏齐霄;张建辉;李洪;;非对称坡面腔底无阀压电泵[J];光学精密工程;2006年04期
10 孙晓锋;杨志强;刘晓论;李欣欣;林敬国;;整体开启阀与悬臂梁阀压电泵性能研究[J];光学精密工程;2006年04期
中国重要会议论文全文数据库 前4条
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2 孙健;孙启健;刘彦菊;冷劲松;;一种基于柔性放大机构的压电叠堆泵设计[A];复合材料:创新与可持续发展(下册)[C];2010年
3 刘汉旭;张铁民;;双腔同步驱动无阀大流量压电泵有限元分析[A];农业工程科技创新与建设现代农业——2005年中国农业工程学会学术年会论文集第一分册[C];2005年
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中国博士学位论文全文数据库 前8条
1 张俊;迷宫流道灌水器水力与抗堵性能评价及结构优化研究[D];西安交通大学;2009年
2 刘国君;迭片式系列微型压电泵的设计理论及实验研究[D];吉林大学;2006年
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6 孙晓锋;双振子压电泵设计理论与结构优化技术研究[D];吉林大学;2009年
7 刘红梅;用于MEMS的PZT压电厚膜及硅基压电悬臂梁的制备研究[D];哈尔滨工程大学;2009年
8 董景石;微型精密压电泵设计理论及其应用技术研究[D];吉林大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 陶巍巍;非对称流道无阀压电泵的理论与试验研究[D];吉林大学;2011年
2 王龙;共振型压电泵的设计理论与试验研究[D];吉林大学;2011年
3 叶芳;“Y”形流管无阀压电泵的研究[D];南京航空航天大学;2010年
4 袁欣;压电叠堆泵的设计与实验研究[D];南京航空航天大学;2011年
5 董景石;悬臂梁阀压电泵理论及应用研究[D];吉林大学;2004年
6 刘凯;压电驱动式主动阀压电泵理论与试验研究[D];吉林大学;2004年
7 陈祝;Sol-Gel前驱单体法制备PZT铁电薄膜技术与性能研究[D];电子科技大学;2004年
8 杨季玲;无阀微泵压电—应力—流体耦合场数值计算研究[D];大连理工大学;2006年
9 崔继英;单腔体双振子压电泵的理论与实验研究[D];吉林大学;2006年
10 寇杰;连续可变锥角的锥形流管无阀压电泵的优化与实验研究[D];北京工业大学;2006年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 袁大军,周拥军,蒋中伟,黄文浩,夏安东,褚家如,刘允萍;双光子激光三维微细加工及信息存储技术[J];微纳电子技术;2003年Z1期
2 黄文浩,陈宇航,党学明;基于SPM技术的表面纳米计量[J];微纳电子技术;2004年01期
3 许小红,晋 芳,程晓敏,杨晓非,李佐宜,黄致新;硬盘用高密度垂直磁记录薄膜研究进展[J];信息记录材料;2002年02期
4 李祥友;李敬;曾晓雁;;微型笔直写制备厚膜阻性元件技术研究[J];电子元件与材料;2007年05期
5 廖专崇 ,黄俊义;存储技术的现状与未来[J];电子产品世界;2004年Z1期
6 王峰,徐朝银,潘国强,赵飞云,黄志刚,范荣,王丽秋;同步辐射X射线双晶单色仪能量扫描[J];光学精密工程;2001年04期
7 汤琦,马健康,周泗忠,傅■;弧矢(Sagittal)聚焦双晶单色器设计[J];光学精密工程;2002年04期
8 黄志刚,董晓浩,高飞,徐朝银;X射线衍射和散射光束线环面聚焦镜的面形精度与像差分析[J];光学精密工程;2004年01期
9 孙立宁,孙绍云,曲东升,蔡鹤皋;基于PZT的微驱动定位系统及控制方法的研究[J];光学精密工程;2004年01期
10 刘建芳,杨志刚,范尊强,程光明;压电直线精密驱动器研究[J];光学精密工程;2005年01期
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前7条
1 陈少军;李以贵;杉山进;;应用X射线光刻的微针阵列及掩模板补偿[J];光学精密工程;2010年02期
2 荣皓;赵钢;褚家如;;用于热机械微纳加工的掺Al多晶硅加热器[J];光学精密工程;2011年01期
3 吴绍勇;许晓慧;吴亚雷;赵钢;褚家如;;提高压电微探针表面信息读取电荷灵敏度的方法[J];纳米技术与精密工程;2008年04期
4 崔岩;张吕权;夏劲松;王立鼎;;压电微悬臂梁探针的制作工艺研究[J];西安交通大学学报;2011年01期
5 许兴中;赵钢;刘勇;荣皓;褚家如;;聚甲基丙烯酸甲酯薄膜的弹性模量测量研究[J];现代制造工程;2011年08期
6 林贺;叶芸;肖晓晶;杨帆;陆培民;郭太良;;基于印刷工艺的介质层绝缘特性研究[J];真空科学与技术学报;2012年02期
7 杨柳;汪炜;;纳米级PZT颗粒制备及压电性能检测[J];压电与声光;2012年05期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 董晓浩;X射线光束线仪器与条形射频源离子束刻蚀设备研制若干问题研究[D];中国科学技术大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 张吕权;压电微探针中PZT薄膜与硅尖制备工艺的研究[D];大连理工大学;2010年
2 孙秋香;锑锂掺杂PZT二元系压电陶瓷性能及优化工艺的研究[D];天津大学;2010年
3 王耐清;0.25PZN-0.75PZT压电陶瓷的掺杂改性和制备工艺研究[D];天津大学;2012年
4 夏劲松;压电微悬臂梁探针的制备工艺研究[D];大连理工大学;2009年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王西成,曹伟,田杰,莫小洪;高取向度PZT铁电薄膜的研制[J];材料工程;1999年02期
2 杨甬英,卓永模,杨明建;用于超光滑表面无损检测的光学轮廓仪[J];光电工程;1999年06期
3 周肇飞,张涛,周卫东,李文杰;在线检测超精细表面微观形貌的激光轮廓仪[J];光电工程;2001年02期
4 王富生,谭久彬;表面微观轮廓的高分辨率光学测量方法[J];光学精密工程;2000年04期
5 张建辉,夏齐霄,王大康,王守印,小贯晃义;抽样定理在周期性非连续信号的压电泵气穴现象中的应用方法(英文)[J];光学精密工程;2002年05期
6 陈津平,张宝峰,胡晓东,胡小唐;微型激光干涉仪应用于纳米测量机[J];计量技术;2002年04期
7 李文杰,张涛,黄伟;表面粗糙度、表面微观轮廓及微位移激光测量集成化方法的研究[J];四川大学学报(工程科学版);2000年06期
8 郑立荣,陈逸清,林成鲁,邹世昌;新型铁电存贮器和铁电薄膜的脉冲激光沉积[J];物理;1995年01期
9 程光明,杨志刚,曾平,李军,铃木胜羲,广濑精二;压电薄膜流体泵的初步研究[J];压电与声光;1998年04期
10 程光明,吴博达,曾平,杨志刚,铃木胜羲,广濑精二;锥形阀压电薄膜泵的初步研究[J];压电与声光;1998年05期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王允祺;范桂芬;吕文中;;ZnO掺杂对PSN-PZT陶瓷烧结温度及压电性能的影响(英文)[J];压电与声光;2011年04期
2 廖运文;肖定全;;无铅Bi_(0.5)(Na_(1-x-y)K_xLi_y)_(0.5)TiO_3陶瓷的制备工艺研究[J];压电与声光;2009年02期
3 侯伟;李建华;;低温烧结CuO改性PZT压电陶瓷性能研究[J];电子元件与材料;2011年08期
4 毛丽君;廖运文;蒲红玉;陈小明;王怀平;李伟;刘育芳;;[Bi_(0.5)(Na_(1-x-y)K_xAg_y)_(0.5)]_(0.96)Ba_(0.04)TiO_3无铅压电陶瓷的制备及性能研究[J];西华师范大学学报(自然科学版);2010年04期
5 张赏;邱红梅;张海龙;;金属颗粒分散压电陶瓷复合材料的压电性能[J];北京科技大学学报;2011年06期
6 答元;白岗;;Li元素对Bi_(0.5)Na_(0.5)TiO_3基无铅压电陶瓷压电性能的影响[J];西安工业大学学报;2009年05期
7 杜景红,孙加林,史庆南,严继康;锰掺杂对四元系压电陶瓷压电性能的影响[J];昆明理工大学学报(理工版);2002年06期
8 吕文中;王莹;范桂芬;;B-Si-Pb玻璃掺杂PBSNF-PZT压电陶瓷的性能研究[J];电子元件与材料;2011年07期
9 李慧,杨祖培,宗喜梅,常云飞;PZN含量变化对PZT-PZN-PMS压电陶瓷相结构及性能的影响[J];陕西师范大学学报(自然科学版);2005年02期
10 马元;沈建兴;闫春蕾;;WO_3掺杂PMS-PNN-PZT压电陶瓷的压电性能的研究[J];山东陶瓷;2009年03期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 周昌荣;刘心宇;;铈和镧掺杂对(Bi_(1/2)Na_(1/2))_(0.94)Ba_(0.06)TiO_3压电陶瓷性能的影响[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(2)[C];2007年
2 徐志军;初瑞清;;压电陶瓷Ca_xSr_((1-x))Bi_4Ti_4O_(15)的制备及其性能研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(2)[C];2007年
3 程亮;李月明;张玉平;顾幸勇;廖润华;;CeO_2掺杂Pb_(0.99)Ca_(0.006)Nb_(1.98)Ti_(0.01)O_(5.986)高居里温度压电陶瓷的研究[A];第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会摘要集[C];2006年
4 董丽杰;权红英;刘晓芳;杨小旭;熊传溪;;PZT/纳米晶PVC复合材料电性能研究[A];2005年全国高分子学术论文报告会论文摘要集[C];2005年
5 刘海峰;田莳;李小兵;;PZN-PZT压电陶瓷常温和低温电疲劳比较[A];2000年材料科学与工程新进展(上)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
6 李月明;张玉平;程亮;廖润华;顾幸勇;;(1-2x)PbNb_2O_(6-x)SrTiO_(3-x)TiO_2系高Curie温度压电陶瓷的研究[A];《硅酸盐学报》创刊50周年暨中国硅酸盐学会2007年学术年会论文摘要集[C];2007年
7 陈彩凤;韩霄丽;刘军;骆英;;新型微/纳米压电纤维复合材料的制备与性能研究[A];Proceedings of the 2010 Symposium on Piezoelectricity,Acoustic Waves and Device Applications[C];2010年
8 孙华君;陈文;徐庆;周静;何政;刘晓芳;;以溶胶-自燃烧法合成PZT为基制备PMZN压电陶瓷[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
9 李照;杨祖培;;BiFeO_3对[(K_(0.458)Na_(0.542))_(0.96)Li_(0.04)](Nb_(0.85)Ta_(0.15))O_3压电陶瓷结构和性能的影响[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第6分册)[C];2010年
10 王燕;陈文;周静;徐庆;李月明;孙华君;廖梅松;;钛酸铋钠的水热合成与表征[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
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1 晓鑫;压电陶瓷——信息时代的新型材料[N];中国建材报;2004年
2 中国电子元件行业协会电子陶瓷及器件分会;电子陶瓷:产品门类齐全应用领域拓宽[N];中国电子报;2008年
3 李文 清晨;信息时代的多面手压电陶瓷[N];北京科技报;2002年
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5 江苏 旋建明;用于压电陶瓷超声波传感器测试的信号源[N];电子报;2002年
6 河北 张爱民;无源压电陶瓷、发光二极管试电笔[N];电子报;2009年
7 小龙;压电陶瓷材料[N];广东建设报;2003年
8 科技;刹车噪声能消除[N];中国环境报;2003年
9 记者 鸣琦;西安交大无铅压电材料研究取得重大突破[N];陕西日报;2009年
10 陶陶;“修炼”5分钟粉末变成瓷 [N];中国建材报;2002年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 晁小练;低温烧结PZT基压电陶瓷材料的研究及器件开发[D];陕西师范大学;2010年
2 王鹏;铌酸锂钠钾新型生物压电陶瓷的研究[D];四川大学;2007年
3 侯育冬;高性能压电变压器用多元系陶瓷的制备和性能研究[D];西北工业大学;2002年
4 王希花;基于压电陶瓷迟滞非线性建模及控制系统的研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
5 朱炜;压电陶瓷叠堆执行器及其系统的迟滞现象模拟、线性化及控制方法的研究[D];重庆大学;2012年
6 张晓泳;片状SrTiO_3模板的熔盐合成与改性及其在制备Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3-PbTiO_3织构压电陶瓷中的生长动力学[D];中南大学;2008年
7 李月明;Na_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3基无铅压电陶瓷的制备、结构与电性能研究[D];武汉理工大学;2004年
8 陈建国;铁酸铋—钛酸铅多铁性固溶体的掺杂改性及性能表征[D];上海大学;2010年
9 冯铁程;B位先驱体法制备PZT/ZrO_2复合压电陶瓷及其性能研究[D];天津大学;2010年
10 郑立梅;铌酸钾钠基无铅压电陶瓷改性研究[D];山东大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 刘培祥;PMN-PNN-PZT体系压电陶瓷的性能和掺杂改性研究[D];天津大学;2007年
2 郑惠清;压电陶瓷在超声波电机中的应用研究[D];武汉理工大学;2010年
3 张治刚;钛酸钡模板织构化压电陶瓷的组织与性能[D];西安工业大学;2010年
4 杨亦权;压电陶瓷/聚合物复合材料压电阻尼性能研究[D];浙江大学;2002年
5 张东;压电变压器用陶瓷材料低温烧结的研究[D];天津大学;2010年
6 唐韵;基于压电陶瓷逆压电效应原理的3MN叠加式力标准机的研究[D];电子科技大学;2010年
7 朱枝勇;以PZT为基的介电常数6500压电陶瓷瓷料研发[D];电子科技大学;2010年
8 常鹏;低温烧结铌镁锑锰锆钛酸铅(PMMNS)压电陶瓷及性能研究[D];暨南大学;2011年
9 张瑜;偏铌酸铅基高居里温度压电陶瓷的制备工艺及改性研究[D];陕西师范大学;2011年
10 陈培洪;新型非共振式压电直线电机的研究[D];南京航空航天大学;2011年
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