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《光学精密工程》 2003年01期
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纳米级位移分辨率双光栅系统的多普勒分析

苏绍璟  刘辉  吕海宝  王跃科  
【摘要】:使用多普勒理论分析了一种典型的具有纳米级位移分辨率的双光栅测量系统。在以往的文献中 ,只是简单的列出光栅系统的位移测量公式 ,对系统的工作原理分析避而不谈。文中首先给出了系统的光路结构 ,分析了光栅的衍射序列 ,然后对光束入射和出射光栅的多普勒效应进行了数学建模 ,得到了最终的位移测量值与光学莫尔条纹之间的关系。最后分析了参考光栅的作用 ,并给出了这种系统的特点。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前9条
1 曲伟;双光栅干涉仪数字式位移传感器的研究[J];传感器技术;2004年10期
2 戴立安;;光栅位移测量技术在精密线束加工中的应用[J];电子器件;2007年05期
3 兰建功;刘利平;;基于TMS320X2812的高精度转角测量系统设计[J];国外电子元器件;2008年11期
4 节德刚;刘延杰;孙立宁;陈智超;蔡鹤皋;;基于双光栅尺的高速高精度位移测量方法[J];光学精密工程;2007年07期
5 汤天瑾,曹向群,林斌;光电轴角编码器发展现状分析及展望[J];光学仪器;2005年01期
6 王国超;颜树华;高雷;谢学东;田震;;光栅干涉位移测量技术发展综述[J];激光技术;2010年05期
7 兰建功;赵艳利;;基于DSP2812的运动控制器设计[J];机械工程与自动化;2011年06期
8 徐龙;何章宏;黑杨辉;刘晓军;;双光栅衍射位移测量实验仪的研制[J];实验技术与管理;2011年07期
9 马修水;费业泰;陈晓怀;李桂华;权继平;;纳米测量精度光栅传感器研究综述[J];制造技术与机床;2006年09期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 曲伟;基于调变光程方法的泰伯微位移检测系统研究[D];黑龙江大学;2011年
2 吕德刚;集成霍尔磁编码器的研究[D];哈尔滨工业大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前8条
1 王国超;双波长单光栅大量程纳米级位移测量方法的研究[D];国防科学技术大学;2010年
2 高华;地球物理勘探中新型地震检波器的研究[D];天津大学;2004年
3 汤天瑾;CMOS光栅测量系统研究[D];浙江大学;2005年
4 陈智超;基于双光栅尺的高速高精度跨尺度位移测量方法的研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
5 李素云;纳米精度计量光栅传感器的理论研究[D];安徽大学;2007年
6 兰子穆;光学编码器电气特性在线检测技术研究[D];天津大学;2007年
7 程吉水;工件台激光干涉仪测量误差模型研究[D];华中科技大学;2008年
8 张庆洋;基于外转子式SRD电动轮高精度位置传感器研究[D];北京交通大学;2012年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 樊叔维;任意槽形光栅衍射特性的矢量理论分析与计算[J];光学精密工程;2000年01期
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 徐从裕;余晓芬;;基于互补函数算式的光栅快速细分方法[J];电子测量与仪器学报;2006年03期
2 蒋培军 ,沈全洪 ,李晟 ,李庆祥;用于高密度母盘刻录系统的专用运动控制卡的研究[J];电子技术应用;2005年01期
3 朴伟英;袁怡宝;张志杰;李晶;;基于CPLD的只读存储器细分技术研究[J];电子器件;2008年02期
4 李春霞;鄢积分;;编码器定距采样电路设计[J];电子器件;2008年05期
5 何安国;喻洪麟;朱传新;王远干;;光栅莫尔条纹细分及辨向方法研究[J];光电工程;2007年10期
6 赵博,齐向东;高效平面全息衍射光栅的获取方法[J];光学精密工程;2001年02期
7 时轮,郝德阜;变栅距衍射光栅的原理及应用[J];光学精密工程;2001年03期
8 郑子文,李圣怡;滚珠丝杠传动机构的微动特性及轨迹跟踪控制[J];光学精密工程;2001年04期
9 赵斌;环栅图像的数字莫尔条纹扫描定中方法[J];光学精密工程;2002年01期
10 曹召良,卢振武,李凤友,张慧娟,孙强;二维抗反射亚波长周期结构光栅的设计分析[J];光学精密工程;2002年06期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 徐从裕;余晓芬;;快速采样法的高细分倍数光栅纳米测量[A];2007'仪表,自动化及先进集成技术大会论文集(二)[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 苏绍璟;大量程纳米级光栅位移测量理论及关键技术研究[D];国防科学技术大学;2001年
2 巴音贺希格;衍射光栅色散理论与光栅设计、制作和检验方法研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2004年
3 周文祥;非正交系坐标测量机理论及轮轨外形测量技术研究[D];西南交通大学;2005年
4 夏豪杰;高精度二维平面光栅测量系统及关键技术研究[D];合肥工业大学;2006年
5 楚兴春;纳米光栅干涉位移测量关键技术的研究[D];国防科学技术大学;2005年
6 李向荣;基于莫尔条纹法的扭转测量技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
7 张南洋生;多谱段空间光调制三维形貌测量技术[D];华中科技大学;2006年
8 徐从裕;大行程纳米定位驱动控制方法与系统研究[D];合肥工业大学;2008年
9 朴伟英;球面光栅干涉式表面测量仪若干关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2009年
10 孔令胜;莫尔条纹及其最小化的理论和应用研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张志刚;光电编码器细分误差分析及补偿研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
2 张月雨;亚波长金属薄膜的滤光及偏振特性研究[D];苏州大学;2011年
3 赵岩;编码器测速方法的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
4 海涛;数字式干涉型光纤传感器条纹电子计数细分实现方案研究[D];哈尔滨工程大学;2005年
5 杨健;二元光学元件矢量衍射设计与并行直写制作[D];国防科学技术大学;2004年
6 杜列波;纳米级光栅位移测量中关键技术的研究[D];国防科学技术大学;2004年
7 张小凡;基于DSP的数字球径仪系统研制[D];南京理工大学;2006年
8 朱传新;基于DSP的光栅信号处理系统研究[D];重庆大学;2007年
9 张军;亚波长结构二元光学器件的设计[D];国防科学技术大学;2007年
10 李春霞;EGS-1123无砟轨道三维精测小车的研制[D];南昌大学;2008年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 闫如胜;马修水;李桂华;应仲阳;;光栅尺纳米测量技术研究及其发展[J];安徽电子信息职业技术学院学报;2008年01期
2 李素云,马修水;一种全息体视图重现方法的研究[J];安徽大学学报(自然科学版);2005年05期
3 石磊;吴武臣;;CMOS图像传感器在光栅传感器中的应用探讨[J];安阳工学院学报;2007年01期
4 程开富;CMOS图像传感器及应用[J];半导体光电;2000年S1期
5 白春礼;全面理解纳米科技内涵 促进纳米科技在我国的健康发展[J];微纳电子技术;2003年01期
6 张立;吴云;周鲁飞;张书练;;高分辨率双频激光回馈的位移测量方法[J];北京交通大学学报;2009年06期
7 孙贤颐,安维蓉,王志晓,任红忠;提高光栅测距精度的四倍频判向电路[J];北方交通大学学报;1996年06期
8 冯毅,梅海青,王霞;Windows 2000下ISA卡驱动程序的开发[J];兵工自动化;2003年03期
9 芦汉生,古寺博,角正雄;基于频率分析的激光多普勒微小振动测量[J];北京理工大学学报;2002年02期
10 金锋;卢杨;王文松;张玉平;;光栅四倍频细分电路模块的分析与设计[J];北京理工大学学报;2006年12期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 谢祖荣;周晓正;曾建唐;张永丽;;强电流脉冲充磁技术研究与设计问题[A];中国电工技术学会电力电子学会第八届学术年会论文集[C];2002年
中国博士学位论文全文数据库 前5条
1 苏绍璟;大量程纳米级光栅位移测量理论及关键技术研究[D];国防科学技术大学;2001年
2 张兴红;时空坐标转换理论及场式时栅位移传感器实验研究[D];重庆大学;2003年
3 楚兴春;纳米光栅干涉位移测量关键技术的研究[D];国防科学技术大学;2005年
4 李向荣;基于莫尔条纹法的扭转测量技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
5 修杰;开关磁阻电机的无位置传感器检测及神经网络控制[D];天津大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前6条
1 王秀霞;高精度相位计的研究与设计[D];燕山大学;2004年
2 王莲莲;高精度数字式相位差测量系统的研究[D];苏州大学;2006年
3 宋景哲;开关磁阻电机间接检测技术的研究[D];西安科技大学;2008年
4 吴智睿;数字相位计的研究与设计[D];哈尔滨工程大学;2009年
5 赵鹏;激光信息场矩阵编码及其探测技术研究[D];长春理工大学;2010年
6 马涛;ITS智能车辆控制系统研究与实现[D];南京航空航天大学;2009年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 赵长海;万秋华;佘容红;卢新然;何金其;梁立辉;杜颖财;;24位绝对式光电编码器数据采集系统[J];半导体光电;2010年03期
2 张帆;朱衡君;;基于单码道绝对位置编码理论的11位字长旋转编码器设计[J];北京交通大学学报;2010年03期
3 韩保君;卢泉;刘上乾;王会峰;;基于正交双光栅的容积测量方法及误差分析[J];兵工学报;2010年04期
4 陈赟;赵运隆;;基于VB语言的零位光栅设计[J];长春理工大学学报(自然科学版);2007年02期
5 赵志巍;;一种绝对式三轴联动多圈编码器的研制[J];长春理工大学学报(自然科学版);2009年01期
6 赵志巍;陈赟;;一种基于金属码盘的新型绝对式光电轴角编码器[J];传感技术学报;2010年05期
7 赵长海;万秋华;龙科慧;吴永芝;薛陈;;光电轴角编码器的细分误差快速测量系统[J];传感器与微系统;2008年01期
8 杨春振;白立新;;基于新型光栅传感器的微位移测量[J];传感器与微系统;2012年07期
9 郝双晖;刘勇;郝明晖;;一种新颖的绝对式磁栅位移传感器[J];电机与控制学报;2008年04期
10 邱成;薛寒光;朱衡君;;基于FPGA的新型绝对式编码器[J];电子技术应用;2006年11期
中国重要会议论文全文数据库 前3条
1 孙红云;李舜酩;;基于万能工具显微镜的圆锥管螺纹基面中径测量及提高精度方法[A];第三届全国虚拟仪器大会论文集[C];2008年
2 焦晓龙;彭祎帆;袁波;曹向群;;基于周易及CMOS技术的新型编码方法的研究[A];第九届全国光电技术学术交流会论文集(下册)[C];2010年
3 孙斌;郑睦凯;苗发喜;;基于数字加速度检波器实时数据采集系统的二维地震勘探方法研究[A];第三届全国煤矿机械安全装备技术发展高层论坛暨新产品技术交流会论文集[C];2012年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 卢泉;基于机器视觉的特殊管道静态参数高精度测量技术研究[D];西安电子科技大学;2010年
2 曲伟;基于调变光程方法的泰伯微位移检测系统研究[D];黑龙江大学;2011年
3 陈赟;单圈绝对式光电轴角编码器原理的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
4 节德刚;宏/微驱动高速高精度定位系统的研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
5 周成刚;二维零位光栅原理及其实验系统研究[D];中国科学技术大学;2007年
6 徐涛;水平定向钻进随钻测量方法及定位技术研究[D];国防科学技术大学;2006年
7 吕德刚;集成霍尔磁编码器的研究[D];哈尔滨工业大学;2009年
8 梁立辉;高精度复合式光电编码器设计及分析[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
9 徐蒙;新型智能灌浆、压水检测系统的开发与研究[D];中南大学;2010年
10 尚平;高精度衍射光栅干涉位移传感器及关键技术研究[D];合肥工业大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 卢米奇;掘进机器人姿态测量系统研究[D];辽宁工程技术大学;2009年
2 廉孟冬;基于激光角度传感器和平面光栅的二维微位移直接解耦测量技术[D];浙江大学;2011年
3 梁智勇;激光跟踪测量系统误差分析与补偿技术研究[D];河南理工大学;2006年
4 徐庆松;具有在线检测功能数控磨床系统的研究[D];济南大学;2011年
5 孔振;丝杠磨床在线检测与砂轮修整技术研究[D];南京理工大学;2011年
6 张南松;电梯光幕性能测试系统研究与设计[D];华南理工大学;2011年
7 吴东亮;变锥形管道参数测量中的信息获取与控制技术[D];西安电子科技大学;2011年
8 杜森垚;高速矩阵光电编码器的研究[D];长春理工大学;2011年
9 朱磊;基于PGC解调激光多普勒干涉仪的噪声分析和算法改进研究[D];安徽大学;2011年
10 宋传曦;微小内尺度测量系统精度分析及若干关键问题研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 森山茂夫;郑建栋;;用衍射光栅进行精密位移检测[J];国外计量;1984年06期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 苏绍璟,刘辉,吕海宝,王跃科;纳米级位移分辨率双光栅系统的多普勒分析[J];光学精密工程;2003年01期
2 袁蓓蓓;KSZ-1光栅长度变送器[J];自动化仪表;1995年01期
3 吕海宝,杜列波,楚兴春;基于虚拟仪器技术的光栅位移测量系统[J];仪表技术与传感器;2004年12期
4 石永福;彭东林;王彦刚;李岩;;时栅位移传感器的增量式实现方法研究[J];工具技术;2006年02期
5 昌学年;姚毅;闫玲;;位移传感器的发展及研究[J];计量与测试技术;2009年09期
6 邾继贵,吕海宝,漆新民;位移精密测量技术的研究[J];国防科技大学学报;1994年02期
7 王树柯;;直流电机速度控制用光栅测速元件[J];微特电机;1982年03期
8 杭兰心;模拟用光栅/笔划全色电视投影仪的研制[J];电光与控制;1989年03期
9 费斌,徐文雄,蒋庄德,范裕健;计量圆光栅动态精度的检测技术[J];仪器仪表学报;1996年05期
10 周其麟;用泰伯效应测量平板玻璃表面微小倾角变化[J];国外建材科技;1996年03期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 刘昊;卫栋;高宏;李福利;;光栅反射时偏振分离现象的实验研究[A];第十五届全国量子光学学术报告会报告摘要集[C];2012年
2 宁提纲;裴丽;谢增华;简水生;;氢载光纤光栅和B/Ge光纤光栅的退火实验[A];全国第十次光纤通信暨第十一届集成光学学术会议(OFCIO’2001)论文集[C];2001年
3 郑鑫;;关于毛刺机冬季无法使用问题的分析与解决[A];工业自动化应用实践——全国(第五届)炼钢、连铸和轧钢自动化学术会议论文集[C];2002年
4 陶卫;浦昭邦;庄志涛;张琢;;光栅楔形平板干涉法动态角度测量系统零点的确定[A];2002年中国光学学会年会论文集[C];2002年
5 戴一堂;毛晋;陈向飞;谢世钟;;利用FBG叠印技术和采样实现多信道滤波器[A];全国第十一次光纤通信暨第十二届集成光学学术会议(OFCIO’2003)论文集[C];2003年
6 朱佩平;;光栅微分相位衬度成像研究进展[A];第十二届中国体视学与图像分析学术会议论文集[C];2008年
7 杜金喜;肖克实;赵毅琦;;棒材生产线测径仪的原理和应用[A];2009年河北省轧钢技术与学术年会论文集(下)[C];2009年
8 李淑清;吴彬;陈宁;;光栅振动传感器的信号处理[A];2004全国测控、计量与仪器仪表学术年会论文集(下册)[C];2004年
9 徐翔;周斌;倪星元;吴广明;沈军;;ZrO_2凝胶薄膜光栅的制备[A];第八届全国核靶技术学术交流会论文摘要集[C];2004年
10 何鹏;齐勇;;撞击条件下金属板位移—时间历程的一种瞬态测试技术研究[A];第六届全国爆炸力学实验技术学术会议论文集[C];2010年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 新疆 陈汝泳;乐华彩电白色光栅故障检修一例[N];电子报;2010年
2 江西 艾杉水;北京牌8348-2型彩电奇特光栅检修[N];电子报;2004年
3 赵琼;潘健和他的“光栅”理论[N];科技日报;2000年
4 杞人 文哲;诺信光栅:中国第一,世界第二[N];科技日报;2009年
5 陕西 周彦芳;彩电奇特光栅故障检修两例[N];电子报;2006年
6 江苏 紫琴箫;显示器出现光栅之谜[N];中国电脑教育报;2001年
7 本报记者 李春玲;桥梁支座位移测量向智能化迈进[N];人民铁道;2006年
8 四川 肖庆涛;排除显示器光栅暗淡故障[N];电脑报;2003年
9 记者 戴元元;立体光栅小型张纪念中伊建交50周年[N];中国集邮报;2008年
10 黑龙江 任志坚;长虹A2116彩电特殊故障检修实例[N];电子报;2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 苏绍璟;大量程纳米级光栅位移测量理论及关键技术研究[D];国防科学技术大学;2001年
2 陈锡侯;新型时栅位移传感器研究[D];重庆大学;2007年
3 赵志勇;Chirped光纤光栅和tilted光纤光栅的制作及应用研究[D];吉林大学;2004年
4 牛小兵;光栅投射三维轮廓测量技术的研究[D];天津大学;2003年
5 冯平;智能位移传感器系统的研究[D];浙江大学;2001年
6 李玉华;飞秒激光微细加工电介质材料与微光器件制备研究[D];华中科技大学;2007年
7 高福华;衍射光学在ICF激光驱动系统中的应用研究[D];四川大学;2003年
8 曹晔;光纤光栅传感器解调技术及封装工艺的研究[D];南开大学;2005年
9 申溯;基于液晶及表面等离子效应的若干光器件的研究[D];浙江大学;2006年
10 刘建国;微结构光纤非线性特性及功能器件的研究[D];南开大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李培江;DSP细分技术在光栅检波器中的应用[D];天津科技大学;2004年
2 耿康;多层介质膜光栅掩膜形貌特性的研究[D];苏州大学;2004年
3 李继锋;基于光折变体光栅的FBG波长解调技术研究[D];西北工业大学;2005年
4 郭军团;透射式光栅测试仪的设计和硬件实现[D];西安电子科技大学;2005年
5 胡明;平面板弯曲法制作Chirped光纤光栅的研究[D];吉林大学;2005年
6 向红丽;分层布拉格光栅的制作及其波分复用特性研究[D];西北工业大学;2005年
7 周自波;外圆磨在线检测应用系统的硬件研究与开发[D];四川大学;2005年
8 熊友兵;Moire等高技术在物体三维测量中的应用研究[D];华中科技大学;2005年
9 顾莉婷;复合式空间码的设计原理和方法[D];苏州大学;2001年
10 牛忠国;基于温度不敏感的chirped光纤光栅应力传感器[D];吉林大学;2004年
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