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《光学精密工程》 2002年06期
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微机械系统建模与仿真技术研究

季国顺  张永康  
【摘要】:简要分析了微电子机械系统建模仿真的原因,指出了微电子机械建模仿真需要克服的四个方面技术难题,即尺度效应、开发快速的表面力计算方法、多物理场耦合分析、宏模型的建立,为微电子机械系统的建模仿真指明了研究方向。详细分析了微电子机械系统建模仿真的技术关键,多物理场耦合计算的理论方法和器件及系统宏观模型的建立,介绍了用于MEMS系统级模拟仿真的宏模型建立的几种方法,最后结合硬件描述语言VHDL_AMS提出了建立微电子机械系统模型实现系统级模拟的方法。
【作者单位】江苏大学机械工程学院 江苏大学机械工程学院
【分类号】:TH703

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 李应良,潘武;射频系统中MEMS谐振器和滤波器[J];光学精密工程;2004年01期
2 张昱;潘武;;折叠弹簧式MEMS水平扭转微镜的设计与分析[J];光学精密工程;2005年S1期
3 王永泉;陈花玲;彭倍;朱子才;;MEMS节点化建模及其在集成微系统设计中的应用[J];光学精密工程;2010年01期
4 张凯;彭云峰;;一种微构件的多物理场耦合求解方法[J];机械设计与制造;2006年02期
5 徐炎冰,范真 ,丁建宁 ,李长生 ,凌智勇;MEMS模拟仿真研究和发展现状[J];现代制造工程;2004年12期
中国博士学位论文全文数据库 前5条
1 林小夏;产品设计、仿真与数控加工异构信息集成技术及应用研究[D];浙江大学;2011年
2 李建华;基于实体模型的表面微加工MEMS器件设计与评价研究[D];浙江大学;2005年
3 王勇;场路结合并考虑耦合的磁力机械分析与设计方法研究[D];合肥工业大学;2006年
4 俞必强;多学科设计优化及在MEMS设计中应用的研究[D];北京科技大学;2006年
5 傅云;复杂产品数字样机多性能耦合分析与仿真的若干关键技术研究及其应用[D];浙江大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前6条
1 赵晓霞;面向精化的表面微加工MEMS几何和工艺建模研究[D];华东理工大学;2011年
2 谢兴军;静电驱动MEMS微波开关设计与仿真[D];重庆大学;2004年
3 赵波;面向OXC的MEMS光开关设计与分析技术[D];东南大学;2004年
4 王晨华;微机电系统级建模与仿真研究[D];南京航空航天大学;2005年
5 吴学石;微电子机械系统降阶建模方法研究[D];浙江大学;2006年
6 齐东周;基于降阶宏模型的MEMS系统级仿真平台研究[D];大连理工大学;2008年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 孟为民,李伟华,黄庆安;MEMS的设计方法与系统模拟[J];传感器技术;2001年10期
2 陈愚,钟先信,黎凯,肖沙里;微系统CAD的研究现状及展望[J];光学精密工程;1999年06期
3 李路明,王立鼎;MEMS研究的新进展——微型系统及其发展应用的研究[J];光学精密工程;1997年01期
4 高行山,林胜勇,朱西平;加速松弛法及其在静电—力耦合问题仿真分析中的应用[J];机械强度;2001年04期
5 孙道恒,黄元庆,郑炜,朱立秒,李文望;MEMS系统级仿真建模理论与方法的研究[J];厦门大学学报(自然科学版);2001年02期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 杨友文,王建华;MEMS技术现状及应用[J];微纳电子技术;2003年03期
2 国蓉;王小娟;王伟;;基于MEMS的微引信谐振器系统级设计[J];兵工自动化;2008年11期
3 陈愚,叶青,汪成亮;分布式微系统CAD中三级体系结构实现[J];重庆邮电学院学报(自然科学版);2000年03期
4 关乐;褚金奎;王晓东;张段芹;王立鼎;;系统级设计方法及其在力学特性集成测试中的应用[J];传感技术学报;2006年05期
5 虞益挺;苑伟政;乔大勇;李晓莹;;分立活塞式MEMS微变形镜的系统级设计[J];传感技术学报;2006年05期
6 滕云;苑伟政;常洪龙;;面向三维实体建模的MEMS设计方法[J];传感技术学报;2011年03期
7 程迎军,朱锐,许薇,罗乐;MEMS器件真空封装模型模拟[J];传感器技术;2004年12期
8 胡雪梅;吕俊霞;;微机电系统的封装技术[J];传感器与微系统;2006年12期
9 余国彬,姚汉民,胡松;接近式深度光刻机掩模-硅片间的衍射研究[J];电子工业专用设备;2001年01期
10 汪小娜;王树宗;;微机电系统(MEMS)及其在弹药中的应用[J];弹箭与制导学报;2004年S2期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 刘妤;温志渝;张流强;梁玉前;;MEMS微加速度传感器的系统级仿真[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 关乐;基于宏模型技术的MEMS系统级仿真研究[D];大连理工大学;2011年
2 刘震宇;微型及小型柔性机械结构的拓扑优化设计方法[D];大连理工大学;2000年
3 谭湘强;液体中微机器人的运动机理与实验研究[D];广东工业大学;2002年
4 钟映春;基于泳动方式的微机器人研究[D];广东工业大学;2003年
5 丁英涛;表面效应对微管道中气体流动特性的影响[D];清华大学;2003年
6 罗元;光通信MEMS光开关关键技术的研究[D];重庆大学;2003年
7 李建华;基于实体模型的表面微加工MEMS器件设计与评价研究[D];浙江大学;2005年
8 李伟剑;微机电系统的多域耦合分析与多学科设计优化[D];西北工业大学;2004年
9 王勇;场路结合并考虑耦合的磁力机械分析与设计方法研究[D];合肥工业大学;2006年
10 王锐;电源网格快速建模与EDA工具的硬件加速技术研究[D];合肥工业大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 曾一平;总磷与化学需氧量测定新方法研究[D];重庆大学;2011年
2 杨国振;连续弧等离子发生器数值模拟及结构设计[D];哈尔滨工程大学;2011年
3 范勇;压电致动式微泵的驱动装置结构分析与设计[D];西安电子科技大学;2001年
4 段玉聪;基于CORBA的工程数据库协同工作环境研究[D];华北工学院;2002年
5 杨友文;多层弯曲磁芯结构磁驱动微执行器的研究[D];合肥工业大学;2003年
6 寇剑菊;叉指式微加速度计的系统仿真分析[D];中国工程物理研究院北京研究生部;2003年
7 李仁锋;MEMS高g值加速度计设计技术研究[D];中国工程物理研究院北京研究生部;2003年
8 霍鹏飞;MEMS的集成设计平台建模及其系统级设计技术[D];西北工业大学;2002年
9 王立鹏;微泵的理论建模及静动态特性分析[D];沈阳工业大学;2003年
10 罗骏;MicroPIV流场测试技术的研究[D];武汉理工大学;2004年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 傅德生,苏伟,彭勃;电容式微机械加速度计部分力学特性的分析[J];安徽工程科技学院学报(自然科学版);2003年04期
2 忻佩胜,丁玲,石艳玲,朱自强,赖宗声;铝硅合金膜在MEMS电容式开关中的应用[J];半导体技术;2001年12期
3 朱健;MEMS技术的发展与应用[J];半导体技术;2003年01期
4 刘小冬,刘睿;一种新颖的MEMS光开关测量平台的设计与实现[J];半导体技术;2003年11期
5 袁明文;射频微电子机械系统的发展与展望[J];半导体情报;2001年04期
6 云振新;RF/微波无线系统中的MEMS技术[J];微纳电子技术;2002年02期
7 乔大勇,苑伟政;RF MEMS开关[J];微纳电子技术;2002年05期
8 胡小东;MEMS开关的失效模式及机理的分析[J];微纳电子技术;2002年10期
9 张永华,丁桂甫,蔡炳初,蒋振新;发展中的RF MEMS开关技术[J];微纳电子技术;2003年05期
10 孙振新,黄庆安,李伟华;MEMS器件VHDL-AMS宏模型[J];微纳电子技术;2003年05期
中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 张惠娟;运动电磁系统涡流场有限元研究[D];河北工业大学;2000年
2 刘振宇;面向过程与历史的虚拟环境中产品装配建模理论、方法及应用研究[D];浙江大学;2002年
3 杨志轶;飞轮电池储能关键技术研究[D];合肥工业大学;2002年
4 姜昌伟;预焙阳极铝电解槽电场、磁场、流场的耦合方法及应用研究[D];中南大学;2003年
5 闫雪冬;轮轨/磁浮动车组虚拟样机若干关键技术研究与应用[D];大连交通大学;2005年
6 徐敬华;面向变异设计的移植单元检索与融合过程进化技术[D];浙江大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 宋寒冰;两级重复使用运载器的多学科优化设计[D];西北工业大学;2002年
2 霍鹏飞;MEMS的集成设计平台建模及其系统级设计技术[D];西北工业大学;2002年
3 卢凉;MEMS器件的计算机辅助设计与模拟方法研究[D];电子科技大学;2004年
4 闻飞纳;MEMS器件系统级仿真技术研究[D];东南大学;2004年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李进梅;王勇;;磁力机械转子系统稳态温度场的有限元分析[J];安庆师范学院学报(自然科学版);2007年03期
2 赵继德,李应良,马传龙;基于MEMS共面波导腔的带阻滤波器的设计[J];半导体技术;2005年08期
3 唐孝明,唐高弟,张海;薄膜体声波谐振器技术[J];微纳电子技术;2005年08期
4 王敏;王小静;刘永武;陈晓阳;;横向振动微谐振器的仿真分析[J];微纳电子技术;2006年02期
5 贾英茜;赵正平;杨拥军;王立发;;电容式RF MEMS谐振器[J];微纳电子技术;2010年02期
6 贾英茜;徐淑壹;赵正平;;微机械圆盘谐振器的仿真分析及等效电路[J];微纳电子技术;2011年04期
7 贾英茜;赵正平;杨拥军;王立发;;基于微机械圆盘谐振器的振荡器[J];微纳电子技术;2011年06期
8 冯闯;赵亚溥;刘冬青;;微梁谐振器中的空气阻尼[J];北京科技大学学报;2007年08期
9 赵继德,李应良,马传龙;基于复合基底微机械微带特性研究[J];电子元件与材料;2005年01期
10 王晓浩;李强;唐飞;魏强;;微型电磁导引头应用RF-MEMS的初步分析[J];飞航导弹;2006年03期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 唐孝明;;薄膜体声波谐振器技术[A];中国工程物理研究院第七届电子技术青年学术交流会论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 孟兆新;木材干燥的多场耦合建模仿真与优化研究[D];东北林业大学;2011年
2 许焰;大间隙磁力传动系统驱动性能研究[D];中南大学;2010年
3 吕良;MEMS汽车传感器设计关键技术的研究[D];北京邮电大学;2011年
4 周吴;微加速度计的机电耦合特性及关键技术研究[D];西南交通大学;2010年
5 邢德强;复杂机械产品性能驱动设计方法及其典型应用研究[D];天津大学;2010年
6 邢敬娓;混合磁路永磁变速器的解析模型与参数特性研究[D];哈尔滨工业大学;2012年
7 关乐;基于宏模型技术的MEMS系统级仿真研究[D];大连理工大学;2011年
8 赵振;面向电磁—机械耦合的异构仿真系统瞬态场分析技术及应用[D];浙江大学;2012年
9 傅云;复杂产品数字样机多性能耦合分析与仿真的若干关键技术研究及其应用[D];浙江大学;2008年
10 宋少云;多场耦合问题的协同求解方法研究与应用[D];华中科技大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 宋亮;电容式RF MEMS开关设计与性能研究[D];哈尔滨理工大学;2010年
2 宋轩;复杂产品运动方案求解与性能参数优化技术及应用研究[D];浙江大学;2011年
3 许炎;双层防泄漏磁力联轴器的开发研究[D];华东理工大学;2011年
4 赵赫男;基于可动反射面的双波段微测辐射热计研究[D];电子科技大学;2011年
5 熊飞;MEMS加速度计前端放大器设计及系统建模与仿真[D];电子科技大学;2010年
6 徐晓磊;多学科协同设计过程管理技术研究[D];沈阳理工大学;2011年
7 陈思;基于微流控技术的阵列光开关波导结构理论分析及优化[D];南京邮电大学;2011年
8 仲斌;单刀双掷的RF MEMS开关的设计与研究[D];南京邮电大学;2011年
9 林江;新型硅麦克风的设计与分析[D];杭州电子科技大学;2009年
10 陈改革;阵列型小孔节流静压空气平面轴承的建模仿真研究[D];西南科技大学;2011年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 黄庆安,秦明,李伟华,匡一宁,朱珂,章彬,孟为民,鞠瑜华,严先蔚,张昭勇;微电子机械系统计算机辅助设计[J];电子科技导报;1999年10期
2 赵亚溥;智能微系统力学中的几个问题[J];石家庄铁道学院学报;1999年02期
3 高钟毓;微机械陀螺原理与关键技术[J];仪器仪表学报;1996年S1期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 林胜勇;MEMS中多能量场耦合问题数值方法研究[D];西北工业大学;2001年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王永泉;陈花玲;贺学明;;基于等效电路法的微加速度计系统建模研究[J];机械强度;2006年06期
2 马克雄!电气工程系;电路元器件的物理模型法和宏模型法[J];武汉水利电力大学(宜昌)学报;2000年02期
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4 刘希林,高燕梅,刘岩;电路系统常用数学方程的SPICE宏模型[J];长春邮电学院学报;1995年04期
5 赵刚,孙青林;采用SPICE程序分析数字逻辑电路的一种方法[J];天津理工学院学报;1995年03期
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7 张宇,孔力;IGBT的Hammerstein结构宏模型研究[J];电工电能新技术;2001年03期
8 罗嵘,杨华中,汪蕙;一种通用的电池宏模型[J];微电子学;2003年01期
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10 王群,吴宁,姚为正;PSPICE中的宏模型概念及其在控制系统[J];电气传动自动化;1999年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 孙克豪;胡宇群;王立森;赵亚溥;;微电子机械系统的计算机辅助设计[A];“力学2000”学术大会论文集[C];2000年
2 陈宝;施进浩;;微电子机械系统中的超微电机[A];第七届中国小电机技术研讨会论文集[C];2002年
3 孙旭;李哲英;;一种建立运算放大器宏模型的新方法[A];2007系统仿真技术及其应用学术会议论文集[C];2007年
4 孙旭;李哲英;钮文良;;一种改进的运算放大器小信号建模方法及验证[A];第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集[C];2007年
5 刘妤;温志渝;张流强;梁玉前;;MEMS微加速度传感器的系统级仿真[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
6 沈磊;张均军;张军;罗萍;;一种适于SPICE数模混合IC仿真的数字宏模型[A];四川省电子学会半导体与集成技术专委会2006年度学术年会论文集[C];2006年
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9 白鹏;耿英三;宋政湘;王建华;牛博;;智能电器监控单元干扰传播通道的仿真分析[A];第一届电器装备及其智能化学术会议论文集[C];2007年
10 田文超;贾建援;;MEMS粘着研究[A];中国仪器仪表学会第五届青年学术会议论文集[C];2003年
中国重要报纸全文数据库 前10条
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2 本报记者 李佳霖;做出尖端的技术 赶超世界一流水平[N];经济日报;2009年
3 本报记者 苏雁;用智慧改变生活[N];光明日报;2009年
4 山西焦煤集团公司西山古交生活服务公司 张艳萍;浅谈机电一体化的发展及趋势[N];山西科技报;2009年
5 ;非凡的纳米技术[N];中国质量报;2000年
6 记者 过国忠;美新半导体(无锡)公司微纳传感器技术获多项突破[N];科技日报;2010年
7 本报记者 赵永新;中国工程院院士刘韵洁——物联网:少烧虚火,多炼真功[N];人民日报;2010年
8 本报记者 马文方;MEMS:物联网核心技术所在(上)[N];中国计算机报;2010年
9 ;航空工业CAE应用简述[N];中国航空报;2004年
10 ;ANSYS在航空工业的应用[N];中国航空报;2002年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 高崧;宽带宏模型技术与无源性补偿[D];西安电子科技大学;2011年
2 孙丽波;微板多物理场耦合非线性动力学研究[D];燕山大学;2011年
3 孟宏睿;生态轻质水泥基墙体材料性能及密肋复合墙体弹塑性分析模型研究[D];西安建筑科技大学;2007年
4 邹志革;瞬态增强的无电容型LDO设计[D];华中科技大学;2008年
5 林谢昭;静电微器件的模型自由度缩减方法研究[D];浙江大学;2010年
6 贾智;微电子机械系统中新型电磁微电机的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
7 余隽;微量热计的研制及微纳米薄膜比热测试与分析[D];大连理工大学;2006年
8 赵本刚;基于MEMS的光学电流传感器与微纳安检流计的研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2007年
9 马铁英;非晶硅微测辐射热计的材料、设计、制备和测试研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2007年
10 韩建强;基于掩膜—无掩膜腐蚀技术的AFM探针制作方法研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 林林;基于卡西米尔势能温度场的微电子机械系统性能研究[D];东北师范大学;2011年
2 孙晨宇;飞机机翼的流—固—热多物理场耦合计算[D];兰州理工大学;2012年
3 霍鹏飞;MEMS的集成设计平台建模及其系统级设计技术[D];西北工业大学;2002年
4 尹裕;带有双电子开关的LDO电源管理芯片的设计[D];吉林大学;2006年
5 刘琳;集成电路宏模型的研究与构建[D];天津大学;2007年
6 苏健;SPIC中器件的设计、模型及参数提取研究[D];电子科技大学;2004年
7 戴大康;单电子器件的电路模型[D];湖南大学;2008年
8 闫子健;MEMS CAD器件级宏模型获取技术[D];西北工业大学;2007年
9 吴峥;MEMS微结构动力学性能研究[D];南京理工大学;2010年
10 薛振磊;基于先验知识的数字I/O缓冲器模糊逻辑宏模型[D];杭州电子科技大学;2011年
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