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《光学精密工程》 2001年04期
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直线电机在微电子领域中的应用

刘伟  
【摘要】:直线电机是一种做直线运行的驱动电机。它的性能优劣直接影响到设备的精度、生产效率及产品的质量。文章介绍了如何用工业控制器和直线电机驱动器实现直线电机的超高速、高精度、无过冲、无振荡控制。直线电机的速度环由驱动器用PP算法闭合,位置环由工业控制器用带速度前馈的PID算法闭合。
【作者单位】中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【分类号】:TM359.4

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 任维政,盛立峰,陈月岩;带自调整函数的模糊控制器在直流电机调速系统中的应用[J];光学精密工程;2003年05期
2 节德刚,刘延杰,孙立宁,孙绍云,蔡鹤皋;一种宏微双重驱动精密定位机构的建模与控制[J];光学精密工程;2005年02期
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 徐月同;高速精密永磁直线同步电机进给系统及控制技术研究[D];浙江大学;2004年
2 潘开林;永磁直线电机的驱动特性理论及推力波动优化设计研究[D];浙江大学;2003年
3 节德刚;宏/微驱动高速高精度定位系统的研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前7条
1 王青伟;激光调阻机运动控制系统设计与研究[D];长春理工大学;2002年
2 王建峰;伺服用永磁直线同步电动机的研究[D];太原理工大学;2003年
3 巫春玲;新型航空直线直流电动机驱动控制系统研究[D];西北工业大学;2004年
4 郭泽阔;利用磁悬浮原理测试直线电机动推力和垂向力方法的研究[D];北京交通大学;2007年
5 彭蜀松;基于PMAC的PCB红外诊断工作平台的研究[D];电子科技大学;2006年
6 张旭东;基于PC机的开放式直线交流伺服系统的研究[D];沈阳工业大学;2006年
7 郑欣苗;航空直线直流步进电动机驱动控制技术的研究[D];西北工业大学;2005年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 王伟,张晶涛,柴天佑;PID参数先进整定方法综述[J];自动化学报;2000年03期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 温照方,陈培正,王先逵;高推力永磁直线同步电动机控制中的电流补偿[J];北京理工大学学报;2004年03期
2 原菊梅;基于模拟退火算法的数字PID控制器参数整定的研究[J];北京工商大学学报(自然科学版);2004年04期
3 张济龙,陈建,何培祥;基于MATLAB的线性时不变控制系统频域分析程序设计[J];重庆工学院学报;2005年08期
4 孙雨萍;李光友;;长定子直线同步电动机抑制推力脉动的新方法及机理分析[J];电工技术学报;2006年08期
5 戴东辉;直线伺服电机的控制[J];电工技术杂志;2001年09期
6 王伟;金新民;童亦斌;;TMS320F2812在感应电动机直接转矩控制中的应用[J];电气应用;2006年02期
7 张宏伟,康润生,王新环,王福忠;基于神经网络的永磁直线同步电动机推力波动补偿的仿真研究[J];电机与控制学报;2004年04期
8 席俊国,崔杜武,王若峻,张大卫;一种新型的PID参数自整定策略[J];电力电子技术;2001年05期
9 欧阳名三,余世杰,郑诗程,苏建徽;户用光伏电源模糊自适应PID控制的研究[J];电力电子技术;2003年02期
10 张春来;赵楠楠;杨明;;模糊自整定PID参数控制器在直流调速系统中的应用[J];大连海事大学学报;2006年03期
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 张栋;基于功率匹配的挖掘机节能控制技术的研究[D];吉林大学;2005年
2 王文利;大射电望远望悬索式馈源支撑系统的运动规划、动态检测与控制[D];西安电子科技大学;2001年
3 马龙华;不确定系统的鲁棒优化方法及应用研究[D];浙江大学;2001年
4 薛洁;模糊自调整二自由度PID控制器及在磨矿分级中的应用[D];昆明理工大学;2002年
5 冯少辉;模型预测控制工程软件关键技术及应用研究[D];浙江大学;2003年
6 李晓磊;一种新型的智能优化方法-人工鱼群算法[D];浙江大学;2003年
7 张光新;啤酒生产过程的全自动化控制及其应用研究[D];浙江大学;2002年
8 苏玉鑫;大射电望远镜精调Stewart平台的优化、分析与控制[D];西安电子科技大学;2002年
9 李祥飞;混沌优化理论在控制系统设计中的研究[D];中南大学;2003年
10 徐月同;高速精密永磁直线同步电机进给系统及控制技术研究[D];浙江大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 陈东劲;硬质合金炉模糊控制算法研究[D];中南大学;2005年
2 赵佑初;婴儿无创颅内压监护仪的微型智能恒压控制器的研究与应用[D];中南大学;2005年
3 杨圣;波峰焊控制系统设计及其控制算法研究[D];中南大学;2005年
4 孙伟杰;基于多变量H∞PI控制的在线式UPS DC稳压设计[D];福州大学;2006年
5 胡赣娟;磁悬浮列车的长定子同步直线电机电磁特性研究[D];浙江大学;2005年
6 赵艳;煮沸锅温度智能自适应控制系统的设计与应用[D];青岛科技大学;2005年
7 史爱峰;电厚度测量设备控制系统设计[D];大连理工大学;2005年
8 郭伟;基于RBF神经网络的滞后系统广义预测控制[D];大连理工大学;2005年
9 蒋忠明;弹炮一体化旋转导弹控制系统设计与仿真研究[D];西北工业大学;2005年
10 曾凡斐;循环流化床(CFBB)建模[D];华北电力大学(北京);2005年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李海波,何雪涛;步进电机升降速的离散控制[J];北京化工大学学报(自然科学版);2003年01期
2 孙建辉,薛安克;步进电机升速过程的微机控制[J];机电工程;1998年01期
3 胡建华,廖文和,周儒荣;CNC系统中几种升降速控制曲线的研究与比较[J];南京航空航天大学学报;1999年06期
4 郑灼,李兴根;单片机控制的步进电机升降频规律及实现[J];微电机;1999年04期
5 姜平;CNC系统中指数升降速控制曲线的算法[J];微特电机;2003年05期
6 叶树林;步进电机均匀细分控制的研究[J];微特电机;1998年01期
7 史长虹,汪劲松;用于微电子制造的高速高精度运动系统关键技术[J];半导体技术;2003年03期
8 李枚;微电子封装技术的发展与展望[J];半导体杂志;2000年02期
9 潘存强,王从鹤,程先华,罗立凤,刘玉文;数控技术的新发展——开放式数控系统[J];宝钢技术;2002年04期
10 胡晓军,崔红娟,周睿,季秀才;自适应最优预见控制及其在活塞数控加工中的应用[J];兵工自动化;2003年06期
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 金春水;极紫外投影光刻中若干关键技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
2 贾宏新;电梯用直线感应电机的优化设计及其控制系统研究[D];浙江大学;2002年
3 宋文荣;微电子制芯领域中磁悬浮精密定位平台的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2004年
4 王延风;磁悬浮精密定位工作台机电一体化CAD/CAE集成研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2004年
5 徐月同;高速精密永磁直线同步电机进给系统及控制技术研究[D];浙江大学;2004年
6 谭为民;差线栅位移传感器原理与参数设计准则及其实验研究[D];重庆大学;2004年
7 施俊;直线感应电机双边驱动电梯的控制系统研究[D];浙江大学;2005年
8 潘开林;永磁直线电机的驱动特性理论及推力波动优化设计研究[D];浙江大学;2003年
9 李运堂;面向芯片封装的高加速度高精度气浮定位平台的研究[D];上海交通大学;2007年
10 吴建华;高加速度直线伺服系统的快速高精度定位控制[D];上海交通大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 陈宇明;高速磁悬浮列车用常导直线同步电机的研究[D];中国科学院电工研究所;2001年
2 姜文刚;高速高精度数字伺服系统研制[D];南京理工大学;2002年
3 周旭升;非球面复合加工机床结构设计与分析[D];中国人民解放军国防科学技术大学;2002年
4 蓝益鹏;双位置环直线伺服同步系统鲁棒控制[D];沈阳工业大学;2003年
5 胡立波;五自由度磁力轴承控制系统设计与仿真研究[D];武汉理工大学;2005年
6 白华煜;永磁同步电机直接转矩控制系统研究[D];西安理工大学;2005年
7 崔东辉;新型磁悬浮平台的设计与研究[D];南京航空航天大学;2005年
8 郑建芬;基于高频注入和卡尔曼滤波的永磁同步电机无传感器控制[D];沈阳工业大学;2005年
9 马骏;圆筒型直线电机模型建立及其动态温度场研究[D];哈尔滨理工大学;2005年
10 王恒;镁、铝异种金属激光胶接焊工艺的研究[D];大连理工大学;2006年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 晏祖根;孙立宁;节德刚;;微驱动定位系统及其在误差补偿机器人中的应用[J];光学精密工程;2005年06期
2 孙麟治;李鸣鸣;程维明;;精密定位技术研究[J];光学精密工程;2005年S1期
3 宋文荣;何惠阳;郭凡林;;应用激光技术进行继电器簧片气隙的校正[J];光学精密工程;2006年03期
4 李群明;万梁;段吉安;欧阳华;;磁悬浮平台系统的机电耦合动力学模型及稳定性分析[J];光学精密工程;2007年04期
5 陈伟;钟健;;基于精度成本控制的精密传输机器人系统可靠度优化配置方法[J];光学精密工程;2007年08期
6 刘强;张从鹏;;直线电机驱动的H型气浮导轨运动平台[J];光学精密工程;2007年10期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 卢琴芬;直线同步电机的特性研究[D];浙江大学;2005年
2 李鸣鸣;大行程纳米定位系统若干关键技术研究[D];上海大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 尹红卫;ARM核微处理器在嵌入式智能运动控制器中的应用研究[D];南京理工大学;2005年
2 赵丽君;小波分析在直线电机控制中的应用研究[D];沈阳工业大学;2006年
3 肖献强;基于机器视觉的宏/微双驱动微操作系统的研究[D];吉林大学;2006年
4 彭蜀松;基于PMAC的PCB红外诊断工作平台的研究[D];电子科技大学;2006年
5 高云广;直线脉冲电机(SLPMU-025A)运行特性的分析及其驱动控制系统的研究[D];太原理工大学;2006年
6 董涛;卧式微小型电火花加工装置设计及实验研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
7 唐嵩;宏微结合回转工作台方案设计及微驱动电路研制[D];哈尔滨工业大学;2006年
8 张艳丽;无刷直流直线电机相似性的研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
9 张盛锋;永磁直线同步电动机关键技术的研究[D];沈阳工业大学;2007年
10 蒋莉莉;永磁直线同步电机动态性能研究[D];沈阳工业大学;2007年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 韩京清;非线性PID控制器[J];自动化学报;1994年04期
2 王顺晃,李晓天,郑秋宝,郑保元,邓芮岚,轷一顺;非线性PID算法及其在电加热炉集散控制系统中的应用[J];自动化学报;1995年06期
3 柴天佑,张贵军;基于给定的相角裕度和幅值裕度的PID参数自整定新方法[J];自动化学报;1997年02期
4 韩京清;利用非线性特性改进PID控制律[J];信息与控制;1995年06期
5 张晶涛,王伟,曹方;一种智能控制方法在300MW机组主汽温控制系统中的应用研究[J];中国电机工程学报;1999年03期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张兰锁;张利那;刘杰辉;;基于ANSYS的直线电机板状弹簧的刚度分析[J];煤矿机械;2011年08期
2 徐汉新;;数控磨床采用高性能直线电机进给的试验与研究[J];精密制造与自动化;2011年03期
3 张丽秀;周亚静;刘晓辉;;基于UMAC的直线电机定位误差补偿实验分析[J];沈阳建筑大学学报(自然科学版);2011年04期
4 孙立宁;李腾;刘延杰;;高加速精密直线电机运动平台键合图建模与分析[J];机器人;2011年04期
5 程志平;焦留成;;低速直线驱动系统研究现状分析[J];电机与控制应用;2011年07期
6 尹宜勇;贾志新;李威;;高档数控机床中永磁直线同步电机驱动系统关键技术分析[J];制造业自动化;2011年13期
7 王玮;;动磁式线性压缩机的有限元分析[J];微电机;2011年06期
8 杨亮亮;史伟民;彭来湖;;基于迭代学习的直线伺服系统推力纹波辨识及补偿研究[J];微电机;2011年06期
9 程鑫;周云飞;胡永兵;王耀;;基于DSP的精密平面电机伺服驱动设计[J];仪表技术与传感器;2011年08期
10 赵镜红;张俊洪;方芳;高嵬;;径向充磁圆筒永磁直线同步电机磁场和推力解析计算[J];电工技术学报;2011年07期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 叶云岳;;国内外直线电机技术的发展与应用综述[A];直线电机与自动化——2002年全国直线电机学术年会论文集[C];2002年
2 周勇;黄明星;叶云岳;;直线电机在新型铺粉装置中的应用[A];2004年全国直线电机学术年会论文集[C];2004年
3 沙次文;彭燕;戴银明;凌金福;周适;杨爱华;郑毅;;大推力超导直线电机[A];直线电机与自动化——2002年全国直线电机学术年会论文集[C];2002年
4 孙一丹;杨霞;;直线电机驱动高速精密数控机床进给系统的研究[A];第十六届中国小电机技术研讨会论文摘要集[C];2011年
5 陈永校;;微特直线电机[A];第七届中国小电机技术研讨会论文集[C];2002年
6 贾宏新;叶云岳;;直线感应电动机驱动的电梯控制系统[A];直线电机与自动化——2002年全国直线电机学术年会论文集[C];2002年
7 方攸同;范承志;卢琴芬;叶云岳;;可靠性对直线电机运行经济性的影响[A];直线电机与自动化——2002年全国直线电机学术年会论文集[C];2002年
8 邓启文;尹力明;吴峻;;直线电机静态特性研究[A];第11届全国电气自动化电控系统学术年会论文集[C];2002年
9 孙建宏;鱼振民;;基于Matlab的扁平型直线电机温度场分析[A];2004年全国直线电机学术年会论文集[C];2004年
10 师今卓;白志红;熊光煜;;永磁直线力电机的特性计算[A];2004年全国直线电机学术年会论文集[C];2004年
中国重要报纸全文数据库 前7条
1 王迅;中科院与日企共建直线电机联合实验室[N];中国有色金属报;2006年
2 首席记者 周秀芳 通讯员 张沛;新型直线电机管道运输系统关键技术与装备研制项目启动[N];内蒙古日报(汉);2009年
3 记者 孙伟华;我市自主研发新产品带来过亿年收入[N];大庆日报;2009年
4 日经;日开发出新型含钕磁体直线电机[N];中国有色金属报;2005年
5 李禾;国产风电设备:耐用又省钱[N];科技日报;2005年
6 韩文昭 何洪臣;高效能的变频采油设备[N];中国矿业报;2002年
7 韩文昭 何洪臣;变频技术:让采油设备变“绿”[N];中国机电日报;2002年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 夏景辉;直线电机轮轨交通气隙及轨道平顺性对系统动力响应影响研究[D];北京交通大学;2011年
2 张丽萍;基于正交多项式的迭代学习控制算法及其在直线电机中的应用[D];福州大学;2005年
3 杜志强;高响应短行程直线直流电机的建模、控制与实验研究[D];华中科技大学;2006年
4 张代林;永磁同步直线电机伺服系统的控制策略和实验研究[D];华中科技大学;2007年
5 张翊诚;高性能交流驱动控制关键技术的研究[D];国防科学技术大学;2008年
6 曾理湛;永磁同步直线电机复杂机电耦合系统分析与控制方法[D];华中科技大学;2011年
7 崔皆凡;永磁直线同步电机推力及其直接推力控制系统研究[D];沈阳工业大学;2006年
8 田艳丰;永磁直线同步电动机鲁棒控制策略研究[D];沈阳工业大学;2010年
9 程远雄;永磁同步直线电机推力波动的优化设计研究[D];华中科技大学;2011年
10 李婧;扁平型三相绕组上方高温超导磁体力学性能研究[D];西南交通大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张志华;弧形直线电机伸缩门及其控制研究[D];河南理工大学;2010年
2 张翊诚;新型直线电机及其高频响驱动数字伺服控制系统[D];国防科学技术大学;2002年
3 邹敏;基于DSP的直线电机模糊PID控制系统研究与实现[D];武汉理工大学;2010年
4 方明;圆筒型永磁动圈式直线电机控制系统仿真及软件设计[D];太原理工大学;2011年
5 熊飞;尺蠖直线电机驱动控制器的设计与研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
6 周晓峰;IC缺陷检测的直线电机高精度定位控制[D];哈尔滨工业大学;2010年
7 徐阳;探针定位用两自由度电机系统的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
8 李超;基于PC机的开放式直线交流伺服系统的研究[D];沈阳工业大学;2004年
9 杨凯;动铁式直线振动电机的静态特性分析及动态仿真[D];太原理工大学;2004年
10 邓启文;交流电机的直接转矩控制及直线电机静态特性的实验研究[D];国防科学技术大学;2002年
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