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《光学精密工程》 2000年03期
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微夹钳研究的进展与展望

张培玉  武国英  郝一龙  李志军  
【摘要】:微夹钳技术是微机械技术的重要内容之一。本文首先论述了微夹钳的应用背景,回顾了微夹钳技术研究的历史及现状;对目前国内外所研究的微夹钳进行了分类,并对其结构工艺与工作原理进行了分析;最后,对微夹钳技术的发展进行了展望。
【作者单位】北京大学微电子所!北京

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 王晓东,刘冲,王立鼎;微型夹钳的最新研究[J];功能材料与器件学报;2004年01期
2 李震,孙宝元,杨贵玉;基于拓扑优化的微夹钳设计[J];大连理工大学学报;2005年02期
3 褚金奎;郝秀春;王立鼎;;电热驱动镍微夹钳的设计及制作[J];机械工程学报;2007年05期
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 刘莹;准分子激光加工表面微观形貌表征及其特征研究[D];武汉理工大学;2002年
2 张永宇;V型电热硅微致动器性能及其应用研究[D];上海大学;2006年
3 李震;柔性机构拓扑优化方法及其在微机电系统中的应用[D];大连理工大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 李勇;微夹持理论与系统的研究[D];清华大学;2002年
2 蔡建华;新型微夹钳技术研究[D];华中科技大学;2006年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李路明,王立鼎;环状SMA微夹钳工作原理的研究[J];功能材料与器件学报;1998年02期
2 徐锡林,张艺;形状记忆驱动型微机械手的设计研究[J];光学精密工程;1998年05期
3 郑巍,徐毓娴,李庆祥;微器件装配系统总体方案研究[J];光学精密工程;1998年04期
4 毕树生,宗光华,赵玮,张建勋;生物工程中的微操作机器人系统[J];光学精密工程;1998年03期
5 周兆英,叶雄英,崔天宏,张联;微米纳米技术及微型机电系统[J];光学精密工程;1998年01期
6 李路明,任延同,王立鼎,邵培革;微夹钳技术发展现状及应用研究[J];光学精密工程;1997年04期
7 孙麟治;微机械研究新进展[J];光学精密工程;1997年02期
8 李路明,王立鼎;SMA微夹钳的研究[J];光学精密工程;1997年02期
9 徐锡林,周新宇;微型可控镊子[J];光学精密工程;1995年02期
10 周新宇,徐锡林;微型机械鱼的研制与特性分析[J];光学精密工程;1995年02期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 徐世钰;微型机械设计的一些问题[J];机械设计与研究;1997年01期
2 潘洋宇,李迎,王拴虎;微型机械技术和应用前景[J];兵工自动化;2003年05期
3 魏兵;准LIGA技术在微传感器制造中的应用[J];传感器技术;2000年03期
4 余泉茂,陈焕铭,胡本芙;纳米技术研究新进展及发展展望[J];材料导报;2002年08期
5 单德彬,郭斌,王春举,周健,袁林;微塑性成形技术的研究进展[J];材料科学与工艺;2004年05期
6 余国彬,姚汉民,胡松,王兆志,林大健;UV-LIGA光刻设备研究[J];电子工业专用设备;2000年04期
7 袁松梅,赵万生,刘维东;微小型电火花加工装置的最新进展[J];电加工与模具;1998年06期
8 朱荻;纳米技术与特种加工[J];电加工与模具;2002年02期
9 梁大伟,李凌全,曾威,刘冲,滕弘飞;微夹钳传动分析[J];大连理工大学学报;2003年04期
10 段瑞玲,李玉和,李庆祥;国内微型器件装配技术的现状与应用[J];光机电信息;2005年07期
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘震宇;微型及小型柔性机械结构的拓扑优化设计方法[D];大连理工大学;2000年
2 于殿泓;紫外光快速成型技术及其应用研究[D];西安理工大学;2001年
3 谭湘强;液体中微机器人的运动机理与实验研究[D];广东工业大学;2002年
4 何斌;医用微型机器人动力学建模及其行为智能控制研究[D];浙江大学;2001年
5 杨兴;磁场与位移感知型超磁致伸缩微位移执行器及其相关技术研究[D];大连理工大学;2002年
6 曲炳郡;TiNi形状记忆合金薄膜制备工艺及其单元互联微执行器研究[D];大连理工大学;2002年
7 苏绍璟;大量程纳米级光栅位移测量理论及关键技术研究[D];国防科学技术大学;2001年
8 钟映春;基于泳动方式的微机器人研究[D];广东工业大学;2003年
9 罗跃生;硅微型陀螺仪的力学分析和数学模型[D];哈尔滨工程大学;2003年
10 罗元;光通信MEMS光开关关键技术的研究[D];重庆大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 范勇;压电致动式微泵的驱动装置结构分析与设计[D];西安电子科技大学;2001年
2 赵洪策;桌面式微型工厂的建模和仿真与可视化关键技术研究[D];西北工业大学;2001年
3 李彦平;大高宽比典型微型传动元件的研究[D];西安理工大学;2002年
4 王英翘;三维微操作运动及定位控制的研究[D];大连理工大学;2002年
5 梁大伟;演化设计方法及其应用研究[D];大连理工大学;2002年
6 高延军;硅微通道列阵电化学微加工技术研究[D];长春理工大学;2002年
7 庞敏;MEMS层叠式微带贴片天线的建模、分析[D];重庆大学;2002年
8 殷伯华;准分子激光微加工控制系统研究[D];北京工业大学;2003年
9 唐华锋;MEMS工艺集成化设计及其可视化[D];西北工业大学;2003年
10 吴琦;MEMS用硅基永磁薄膜阵列设计与制备研究[D];电子科技大学;2003年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 贾宇辉,谭久彬;基于超磁致伸缩材料的微位移驱动器特性研究[J];中国机械工程;1999年11期
2 雷志刚,黄心汉;机器人压电陶瓷微操作手的设计[J];兵工自动化;2004年02期
3 罗翔,沈洁,颜景平;微装配的若干关键技术[J];电子机械工程;2002年01期
4 姚学锋,林碧森,张志勇,金观昌;编织复合材料的裂纹损伤与增长行为研究[J];工程力学;2002年05期
5 芮嘉白,金观昌,徐秉业;一种新的数字散斑相关方法及其应用[J];力学学报;1994年05期
6 高建新, 周辛庚;数字散斑相关方法的原理与应用[J];力学学报;1995年06期
7 马少鹏,金观昌,潘一山;白光DSCM方法用于岩石变形观测的研究[J];实验力学;2002年01期
8 王冬梅,方如华,计宏伟,秦玉文;用数字图像相关法研究改性高分子材料的断裂行为[J];同济大学学报(自然科学版);1999年03期
9 王怀文,亢一澜,富东慧;应用数字散斑相关技术进行薄膜材料断裂问题研究[J];烟台大学学报(自然科学与工程版);2001年02期
10 姚雅红,吕苗,赵彦军,崔战东;微传感器制造中的硅-玻璃静电键合技术[J];半导体技术;1999年04期
中国博士学位论文全文数据库 前8条
1 高建新;数字散斑相关方法及其在力学测量中的应用[D];清华大学;1989年
2 陈俊达;数字散斑相关方法理论和应用研究[D];清华大学;2007年
3 刘震宇;微型及小型柔性机械结构的拓扑优化设计方法[D];大连理工大学;2000年
4 刘德忠;双指微动操作器开发与研究[D];北京工业大学;2002年
5 梅玉林;拓扑优化的水平集方法及其在刚性结构、柔性机构和材料设计中的应用[D];大连理工大学;2003年
6 左孔天;连续体结构拓扑优化理论与应用研究[D];华中科技大学;2004年
7 贾海朋;结构与柔性机构拓扑优化[D];大连理工大学;2005年
8 郝秀春;电热驱动微夹钳的拓扑设计及相关问题研究[D];大连理工大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前6条
1 樊雪松;数字散斑相关方法的研究[D];天津大学;2004年
2 李勇;微夹持理论与系统的研究[D];清华大学;2002年
3 褚德南;基于微电铸的微通道热压成形模具制造技术的研究[D];大连理工大学;2005年
4 陈伟;一种集成3-D MEMS力传感器的微夹持器的研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
5 聂品;椭圆弧柔性铰链研究及其在微机械中的应用[D];西安电子科技大学;2007年
6 蔡建华;新型微夹钳技术研究[D];华中科技大学;2006年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 刘莹,温诗铸;不同材料的准分子激光微细加工机制[J];机械科学与技术;2005年01期
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 李震;柔性机构拓扑优化方法及其在微机电系统中的应用[D];大连理工大学;2006年
2 郝秀春;电热驱动微夹钳的拓扑设计及相关问题研究[D];大连理工大学;2006年
3 沈雪瑾;硅微单侧直脚谐振器与复合V型梁热致动器的机械性能研究[D];上海大学;2007年
4 卢全国;基于GMM的微致动研究及应用[D];武汉理工大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前9条
1 高洁;多晶SiC梳齿驱动器的结构分析与优化设计[D];西安理工大学;2006年
2 娄敏;基于空分复用的自感知压电夹钳的研究[D];大连理工大学;2006年
3 黄杰;基于变密度法的连续体拓扑优化技术及其应用研究[D];西北工业大学;2007年
4 阴学朴;平行梁结构电热微夹持器研究[D];燕山大学;2007年
5 郭晓艳;短波长激光抛光蓝宝石工艺过程研究[D];广东工业大学;2007年
6 曹俊义;基于仿生原理的水上行走机器人基础技术研究[D];河北工业大学;2006年
7 曹建玉;柔性电热微夹钳的设计和制作[D];大连理工大学;2008年
8 马德森;基于节点密度的拓扑优化设计方法及应用研究[D];大连理工大学;2007年
9 郭进彪;机翼弹性比例模型结构拓扑优化设计[D];大连理工大学;2007年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 孙萍,孙麟治;电磁驱动式微小夹持器的研制[J];光学精密工程;1996年04期
2 陈竺;世纪之交的生命科学与中国生命科学界[J];生命科学;1996年02期
3 蔡鹤皋,孙立宁,安辉,张涛;微型机械和微机器人的发展状况[J];仪器仪表学报;1995年S1期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 陶恭益;高效液相色谱仪的现状与进展[J];分析测试仪器通讯;1995年01期
2 李艳军,左洪福,吴振锋,于辉;显微观测技术的新进展及其应用[J];光学仪器;2002年02期
3 李衍;工业射线照相的发展史[J];无损检测;2003年05期
4 莫洪斌;周在杞;;微波检测技术的发展[J];无损检测;2009年04期
5 陈健生;磁粉探伤磁化技术与磁化设备[J];无损检测;2002年07期
6 梁家惠;声发射检测中的压电换能器[J];无损检测;2002年12期
7 刘淑娟;周跃明;张燮;陈焕文;;第57届匹兹堡会议及分析仪器发展趋势评述[J];分析仪器;2006年04期
8 方玲;仪垂杰;丛红;周扬民;林海波;;呼吸机通气模式综述[J];医疗装备;2006年06期
9 陆德基,范天泉;中国角度计量50年的进展[J];计量与测试技术;1999年06期
10 石松龄,刘亚南,胡献森;科研仪器的特点与技术改造[J];工业计量;2000年S1期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 辉永庆;龙素群;林涛;;电感耦合等离子体质谱测量同位素的技术进展[A];第二届全国核技术及应用研究学术研讨会大会论文摘要集[C];2009年
2 成洪达;李彤;张维冰;;温度对高效液相色谱分离性能的影响[A];第三届科学仪器前沿技术及应用学术研讨会论文集(二)[C];2006年
3 孙丽梅;刘守宁;张亚先;李长奇;;超声波液位计综述[A];天津市电视技术研究会2009年年会论文集(1)[C];2009年
4 张永宇;沈雪瑾;赵江铭;陈晓阳;;热致动硅微夹钳实验研究[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
5 成宏达;李彤;张维冰;;温度对高效液相色谱分离性能的影响[A];第三届科学仪器前沿技术及应用学术研讨会论文摘要集[C];2006年
6 姚力;范吕慧;胡学知;饶庆华;;特种设备无损检测-磁粉检测技术[A];2006年西南地区第九届NDT学术年会暨2006年全国射线检测新技术研讨会论文集[C];2006年
7 沈功田;张万岭;;特种设备无损检测技术综述[A];北京机械工程学会2006年优秀论文集[C];2006年
8 沈功田;张万岭;;特种设备无损检测技术综述[A];2006年第二届七省区市机械工程学会科技论坛暨学会改革与发展研讨会论文集[C];2006年
9 姚力;;旋转磁场交叉磁轭的磁化规范[A];西南地区第十届NDT学术交流会论文集[C];2009年
10 王帅;苏刚;李洪谊;;基于柔性位移缩小机构的微夹持器研究[A];第13届中国系统仿真技术及其应用学术年会论文集[C];2011年
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 李震;柔性机构拓扑优化方法及其在微机电系统中的应用[D];大连理工大学;2006年
2 郝秀春;电热驱动微夹钳的拓扑设计及相关问题研究[D];大连理工大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前6条
1 王文静;电热微夹钳的性能测试[D];大连理工大学;2010年
2 董浩民;单片柔顺机构微夹钳的性能分析及控制技术的研究[D];重庆大学;2011年
3 习俊梅;稀土超磁致伸缩驱动微动夹钳研究[D];南昌大学;2010年
4 张成;SU-8柔性微夹钳的拓扑优化设计与制作工艺[D];大连理工大学;2010年
5 曹建玉;柔性电热微夹钳的设计和制作[D];大连理工大学;2008年
6 刘帅;柔性电热微夹钳的关键技术研究[D];大连理工大学;2009年
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