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《光学精密工程》 2000年03期
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微机械材料杨氏模量的测量

顾利忠  苏菲  赵颉  张以恒  
【摘要】:利用蚀刻硅技术制造的微机械构件,由于特殊的制作工艺而需要对其材料的杨氏模量进行测量。这是随微机械技术的产生而提出的一个新课题。文章综述了已有的测量微机械材料杨氏模量的方法。在此基础上,提出了用声激励谐振法和瞬态激励法来测量微机械材料的杨氏模量,这两种方法具有测试装置简单、测量容易、精度高等特点。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 赵维谦 ,谭久彬,房成林 ,何葳;弹挠性零件刚度系数测量方法[J];航天工艺;2001年01期
2 张小军,凌宁;高速压电倾斜镜动态特性分析[J];强激光与粒子束;2003年10期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王吉荣,龚农斌,陈士杰;冷凝塔落水噪声的降噪措施及其效果[J];噪声与振动控制;2002年02期
2 林书玉,张福成,郭孝武;超声频矩形六面体的三维耦合振动[J];声学学报(中文版);1991年02期
3 暴雪梅,何祚镛;目标散射场全息重建方法研究[J];声学学报(中文版);2000年03期
4 王月兵,黄勇军;使用激光测振技术校准水听器灵敏度[J];声学学报(中文版);2001年01期
5 商德江,何祚镛;加肋双层圆柱壳振动声辐射数值计算分析[J];声学学报(中文版);2001年03期
6 惠俊英,王逸林,梁国龙,李春旭;低噪声通过特性的测量仿真研究[J];应用声学;2000年05期
7 莫喜平,姜广军;弯张换能器的等效电路支路阻抗分析方法[J];应用声学;2001年02期
8 陈航,张允孟,李志舜;具有阻抗匹配层的宽带纵向振动压电换能器设计[J];应用声学;2001年02期
9 范军,李建鲁,刘涛,汤渭霖;水下复杂形状目标回声的过渡特性[J];上海交通大学学报;2002年02期
10 陈月辉;声学功能橡胶[J];特种橡胶制品;2004年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 陈文剑;席嫒嫒;朱广平;孙辉;;声波穿透沙层后能量损失规律的实验研究[A];2007年全国水声学学术会议论文集[C];2007年
2 张揽月;;导流罩对矢量水听器性能影响研究[A];2007年全国水声学学术会议论文集[C];2007年
3 尚建华;张明敏;;柱面波分解测量反射系数的一些分析[A];中国声学学会2007年青年学术会议论文集(上)[C];2007年
4 史东伟;邱小军;;刚性球散射声场有源控制数值模拟[A];中国声学学会2007年青年学术会议论文集(下)[C];2007年
5 王绪文;张用兵;孙英富;林新志;郭万涛;;水下隔声去耦覆盖层的研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(10)[C];2007年
6 石秀东;;固液的超声分离[A];'97北京国际食品加工及包装技术讨论会论文集[C];1997年
7 杨雪;王源升;余红伟;;高分子材料声隐身性能研究[A];2006年全国功能材料学术年会专辑(Ⅲ)[C];2006年
8 李敬芳;何祚镛;;有限复合阻尼结构板的被激振动与声辐射的研究[A];水下噪声学术论文选集(1985-2005)[C];2005年
9 暴雪梅;何祚镛;;宽带、非共形全息声场变换方法[A];水下噪声学术论文选集(1985-2005)[C];2005年
10 彭临慧;;低噪声水筒消声结构研究[A];水下噪声学术论文选集(1985-2005)[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 殷敬伟;多途信道中Pattern时延差编码水声通信研究[D];哈尔滨工程大学;2007年
2 宋扬;中高频下粘弹性材料声学参数测量[D];哈尔滨工程大学;2007年
3 冯玉田;水中目标声散射特性研究[D];上海大学;2006年
4 姚骏;纸浆悬浮液超声衰减理论及其在浓度流量检测中的应用研究[D];上海大学;2006年
5 张颖;阀门气体内漏的声学特性及量化检测技术研究[D];大庆石油学院;2007年
6 俸颢;WS_2亚微米粒子摩擦学机理研究及高性能高温润滑脂研制[D];中南大学;2007年
7 王秀峰;机器辐射声场分析的新型计算方法研究[D];合肥工业大学;2001年
8 段远源;三氟碘甲烷和二氟甲烷的热物理性质研究[D];清华大学;1998年
9 张小凤;双/多基地声呐定位及目标特性研究[D];西北工业大学;2003年
10 陈晓东;近场平面声全息的测量和重构误差研究[D];合肥工业大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 吴刚;海洋工程结构振动与声学特性计算[D];上海交通大学;2008年
2 朱韬;水下目标低频声散射特性研究[D];上海交通大学;2008年
3 郝兴会;非旋转对称吸声结构性能的有限元计算与分析[D];上海交通大学;2008年
4 金程;基于DSP的实时互谱声强测量系统的研究[D];浙江大学;2007年
5 尤鸿燕;Rijke型预混燃烧器热声不稳定特性的试验研究[D];浙江大学;2007年
6 陈乐;圆柱壳体的振动与声辐射[D];武汉理工大学;2007年
7 付喜华;舰船加筋结构声辐射阻尼研究[D];大连理工大学;2008年
8 相玉琳;声空化强化渗透脱水过程质量迁移研究[D];哈尔滨工程大学;2007年
9 庄海军;多相流分相流量井下超声检测方法研究[D];大庆石油学院;2007年
10 黄臻;高精度自校正超声波液位测量系统研究与实现[D];华中科技大学;2006年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 马建旭,王立鼎,吴一辉;微电子机械系统在生物医学领域中的应用[J];光学精密工程;1996年01期
2 崔天宏,王立鼎,吕琼莹;微型运载系统构成原理的研究[J];光学精密工程;1996年03期
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 万德安,章阳宁;一种新型扭矩传感器的研制[J];传感器技术;2003年11期
2 万德安 ,章阳宁;一种高精度扭矩测量系统的设计与实现[J];测控技术;2003年12期
3 万德安,章阳宁,刘春节;一种高精度扭矩传感器结构的设计与分析[J];机械工程师;2003年11期
4 万德安,徐晓辉,谢长生,陆建军,徐建新;航天微型扭杆刚度自动测量装置的研制[J];宇航计测技术;2002年04期
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 刘春节;动力调谐陀螺仪一体式挠性支承[D];同济大学;2006年
2 李云峰;电液伺服阀中弹簧管刚度精密测量技术的研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
3 陈贵敏;振动环境下光束指向稳定及其光机电一体化关键技术[D];西安电子科技大学;2005年
4 邵兵;激光星间通信终端精瞄微定位系统关键技术的研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 宋鸿飞;在空间光通信APT系统中PZT振镜的应用研究[D];长春理工大学;2007年
2 包幸生;航天微型扭簧刚度性能测试仪的研制[D];同济大学;2006年
3 杨静;基于压电作动器的振动控制执行装置研究[D];西安电子科技大学;2004年
4 崔冬敏;PZT振镜在自由空间光通信精跟踪系统中应用技术研究[D];长春理工大学;2007年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 大舟;微细切削加工[J];光机电信息;1997年03期
2 顾利忠,苏菲,赵颉,张以恒;微机械材料杨氏模量的测量[J];光学精密工程;2000年03期
3 顾利忠,苏菲,赵颉,张以恒;静电激振法测量微机械材料的杨氏模量[J];材料科学与工程;2001年02期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 宗登刚;微机械材料力学性能测量[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2003年
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