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丝织构对薄膜X射线残余应力分析的影响

张铭  何家文  
【摘要】:具有择尤取向的薄膜材料因弹性呈现各向异性 ,在利用X射线衍射法测定薄膜残余应力时 ,常发生d sin2 ψ测试曲线的非线性振荡 ,无法得到准确的应力值。本文利用Voigt、Reuss和Kroner模型计算了TiN薄膜的弹性常数随 ψ角的分布在低 ψ角区发生的弯曲。与实测PVDTiN薄膜的应力测试曲线的弯曲情况相似 ,说明丝织构的确可能造成薄膜应力测试d sin2 ψ曲线的低 ψ角弯曲

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