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《国外电子元器件》 2003年12期
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EL6249C及其在MEMS动态测试中的运用

金翠云  李一博  王立坤  靳世久  
【摘要】:EL6249C是美国Elantec半导体公司推出的四通道激光二极管电流放大器。文中根据频闪成像原理 ,利用EL6249C设计了一套频闪驱动电路 ,该驱动电路可驱动高亮LED ,以产生MEMS动态测试中所需的频闪光 ,为后续MEMS器件的动态特性提取和分析做准备。

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【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 胡春光;利用相移显微干涉术和频闪成像技术研究MEMS离面运动[D];天津大学;2004年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 张威,张大成,王阳元;MEMS概况及发展趋势[J];微纳电子技术;2002年01期
2 丁衡高;微机电系统的科学研究与技术开发[J];清华大学学报(自然科学版);1997年09期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 段修生,程远增,孙书鹰;MEMS技术对火控系统的影响[J];微纳电子技术;2003年Z1期
2 白晓丹,刘静;微器件的热学加工技术研究与应用[J];微纳电子技术;2004年05期
3 曲国福;刘宏昭;;基于MEMS技术的复合型智能传感器设计[J];传感器与微系统;2006年03期
4 童志义,赵晓东;国内外MEMS器件现状及发展趋势[J];电子工业专用设备;2002年04期
5 王立鼎,刘冲;微机电系统科学与技术发展趋势[J];大连理工大学学报;2000年05期
6 杨秀芸;基于MEMS技术的通信器件及其应用[J];电子机械工程;2005年04期
7 丁衡高,袁祖武;微机电系统技术的实际应用——微型仪器[J];国防科技大学学报;2000年02期
8 杨会生;;嵌入式静电驱动控制电源设计[J];光机电信息;2011年04期
9 梅德庆,陈子辰;微制造平台的精密隔振系统研究[J];光学精密工程;2001年06期
10 杨永生;;MEMS器件及其在生物医学上的应用[J];装备制造技术;2011年08期
中国重要会议论文全文数据库 前6条
1 吴廷斌;江伯鸿;漆璿;刘毓舒;王莉;徐东;;带基板NiTi薄膜的应力状态及微观组织[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
2 王灵婕;林吉申;;功能材料在MEMS中的应用及进展[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
3 金柏冬;曹国辉;王振龙;赵万生;;空气中微细电火花沉积与去除的可逆加工技术[A];2005年中国机械工程学会年会论文集第11届全国特种加工学术会议专辑[C];2005年
4 毛刚;顾启泰;;微型惯性测量组合的发展[A];全国飞机与船舶通信导航学术研讨会论文集(上)[C];2000年
5 金柏冬;曹国辉;王振龙;赵万生;;空气中微细电火花沉积与去除的可逆加工技术[A];2005年中国机械工程学会年会第11届全国特种加工学术会议专辑[C];2005年
6 金翠云;李一博;靳世久;王立坤;;MEMS动态测试系统中频闪驱动电路的实现[A];中国仪器仪表学会第五届青年学术会议论文集[C];2003年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘超;激光光热驱动技术与微型光热驱动机构研究[D];浙江大学;2010年
2 林谢昭;静电微器件的模型自由度缩减方法研究[D];浙江大学;2010年
3 刘少军;人工肾小球滤过膜的初步研究[D];复旦大学;2010年
4 彭子龙;微细电火花沉积与去除可逆加工关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
5 孙全;基于PolyMUMPs技术的微机电变形镜的研究[D];国防科学技术大学;2011年
6 仲元昌;基于智能传感器阵列的大型风洞机组振动监测研究[D];重庆大学;2011年
7 操卫忠;微态电弹性理论及其在压电材料微尺度计算中的应用[D];华中科技大学;2011年
8 马利红;数字全息显微成像像质优化及系统实现[D];浙江大学;2011年
9 何斌;医用微型机器人动力学建模及其行为智能控制研究[D];浙江大学;2001年
10 贾智;微电子机械系统中新型电磁微电机的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 孟威;薄膜集成磁件结构拓扑优化与制备工艺研究[D];辽宁工程技术大学;2009年
2 彭祖杰;数字全息三维面形检测研究[D];昆明理工大学;2008年
3 赵新泊;基于SU-8厚胶工艺的SAR型微混合器设计及实验研究[D];浙江大学;2011年
4 李斌斌;MEMS带通滤波器的设计研究[D];西安电子科技大学;2011年
5 郝亚锋;基于MEMS的静电控制加速度微开关分析及测试[D];西安电子科技大学;2011年
6 韦成;显微电子散斑干涉测量技术的研究[D];北京交通大学;2011年
7 续婷;基于神经网络的微悬臂梁可靠性分析[D];中北大学;2011年
8 刘应辉;镁合金和单晶硅表面纳米有机薄膜的制备及功能特性研究[D];华南理工大学;2011年
9 陈浩;基于SOI的电容式微加速度计的建模及系统级仿真分析[D];电子科技大学;2011年
10 石文尚;考虑漏电容的平板式微执行器Pull-in机理分析[D];南京邮电大学;2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前7条
1 郭彤,胡晓东,栗大超,胡春光,胡小唐;显微干涉技术在MEMS动态测试系统中的应用[J];微纳电子技术;2003年Z1期
2 冯亚林,栗大超,金翠云,郝一龙,张大成,靳世久;基于计算机视觉的MEMS测试系统[J];微纳电子技术;2003年Z1期
3 王富生,谭久彬;表面微观轮廓的高分辨率光学测量方法[J];光学精密工程;2000年04期
4 李智,王向军;微机电系统测试技术及方法[J];光学精密工程;2003年01期
5 高志山,陈进榜;表面微观形貌的显微干涉检测原理及干涉显微镜发展现状[J];光学仪器;1999年06期
6 胡春光,胡晓东,金翠云,栗大超,郭彤,傅星,胡小唐;MEMS动态测试中频闪同步控制系统[J];天津大学学报;2005年01期
7 刘冲,梁锡昌,彭东林;相移干涉测量理论的研究[J];机械工艺师;1998年09期
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 黄玉波;栗大超;胡小唐;胡春光;张文栋;徐临燕;;MEMS/NEMS表面3-D轮廓测量中基于模板的相位解包裹方法[J];传感技术学报;2006年05期
2 刘一;胡晓东;邓淑娟;;基于图像拼接的微表面三维测试系统开发[J];电子测量技术;2008年09期
3 陈澄;李艳宁;陈治;Dante Dorantes;胡小唐;;基于面内补偿的微机电系统离面运动测试[J];光电子.激光;2012年02期
4 黄玉波;栗大超;胡小唐;傅星;张文栋;胡春光;;测量微悬臂梁曲率的相移显微干涉法[J];光学精密工程;2007年09期
5 黄玉波;栗大超;胡小唐;刘钢;胡春光;张文栋;;微/纳结构表面3-D轮廓测量中倾斜误差的补偿方法[J];天津大学学报;2006年10期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 金翠云;MEMS平面微运动测量的若干关键技术研究[D];天津大学;2004年
2 陈治;MEMS微结构平面运动测量方法的研究[D];天津大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前7条
1 王文静;电热微夹钳的性能测试[D];大连理工大学;2010年
2 张金良;大范围微结构表面形貌测试中若干关键技术的研究[D];天津大学;2010年
3 陈澄;基于相移显微干涉和面内补偿的MEMS离面运动测试[D];天津大学;2012年
4 徐临燕;NEMS测试中若干关键技术的研究[D];天津大学;2006年
5 向东;基于频闪成像的MEMS-DMs动静态特性测试[D];华中科技大学;2006年
6 齐浩;电子散斑干涉测量技术在微结构测试中的应用研究[D];天津大学;2007年
7 李晓静;相移干涉微表面形貌检测仪的数据处理与实验研究[D];天津大学;2007年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 ;产品世界[J];传感器世界;2002年03期
2 石云波,刘俊,张文栋;MEMS中的封装技术研究[J];微纳电子技术;2003年Z1期
3 黄子伦;控制MEMS封装成本的圆片规模封装[J];电子与封装;2003年06期
4 焦正,吴明红;日本基于MEMS传感器的研究进展[J];传感器世界;2004年01期
5 金铃;MEMS技术研究及应用[J];现代雷达;2004年12期
6 孟宝文;王全收;;System Four数字传感器工作与测试原理分析[J];物探装备;2007年S1期
7 李志坚;微电子机械系统(MEMS)发展展望[J];电子商务;1997年01期
8 邵雯雯,惠春,徐爱兰;BST-MEMS移相器开关[J];电子元件与材料;2004年10期
9 赵继德,李应良,马传龙;共面波导结构MEMS滤波器的设计[J];电子元件与材料;2005年02期
10 吴群,傅佳辉;MEMS射频与微波应用技术新进展[J];电子器件;2001年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 陈新隽;刘晓平;戴若犁;刘昊扬;;多MEMS传感器的嵌入式姿态测量系统设计[A];2011年机械电子学学术会议论文集[C];2011年
2 梁杰;李中华;;MEMS的微管道流动特征数值模拟研究[A];2003空气动力学前沿研究论文集[C];2003年
3 于华男;张勇;马小艳;;制导弹药用MEMS惯性导航系统发展与关键技术综述[A];微机电惯性技术的发展现状与趋势——惯性技术发展动态发展方向研讨会文集[C];2011年
4 张玉祥;李华成;马柳艺;;基于MEMS器件的交互笔运动跟踪研究[A];第九届全国信息获取与处理学术会议论文集Ⅰ[C];2011年
5 胡星星;滕云田;;基于MEMS传感器的小型智能化强震仪[A];中国地震学会第14次学术大会专题[C];2012年
6 李建飞;薛兵;张俊峰;朱小毅;王晓蕾;;应用于MEMS加速度计的小型恒温系统的实现[A];中国地震学会第14次学术大会专题[C];2012年
7 张文明;孟光;;MEMS旋转机械微转子结构的材料选用研究[A];第9届全国转子动力学学术讨论会ROTDYN'2010论文集[C];2010年
8 陈述官;黄军辉;;MEMS传感器在汽车电子上的应用研究与展望[A];教育部中南地区高等学校电子电气基础课教学研究会第二十届学术年会会议论文集(下册)[C];2010年
9 赵兴海;杜亦佳;郑英彬;陈颖慧;高杨;鲍景富;苏伟;;D波段MEMS波导滤波器研究[A];2011年全国微波毫米波会议论文集(下册)[C];2011年
10 林日乐;满欣;周倩;李文蕴;谢佳维;张巧云;;石英MEMS陀螺[A];微机电惯性技术的发展现状与趋势——惯性技术发展动态发展方向研讨会文集[C];2011年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 ;测试会议聚焦MEMS[N];计算机世界;2003年
2 ;欧洲的MEMS工业[N];中国电子报;2002年
3 记者 卜令伟;自由发言亮点频闪[N];友报;2011年
4 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 焦继伟;MEMS满足未来移动通信需要[N];中国电子报;2004年
5 易人;MEMS:小角色的大未来[N];计算机世界;2003年
6 刘恕;微机电系统:从能看到能用[N];科技日报;2005年
7 ;Intel悄然推出手机MEMS模块[N];计算机世界;2004年
8 本报记者 佘骏 唐远华 张秀科;各项工作亮点频闪[N];亚洲中心时报(汉);2010年
9 本报记者 徐勐 通讯员 苏媛;国家高新区MEMS研究院落户淄博[N];淄博日报;2010年
10 ;传感器热衷于MEMS市场将加速整合[N];电子报;2008年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 董良;MEMS集成室温红外探测器研究[D];清华大学;2004年
2 杨海波;多孔硅基MEMS非制冷红外探测器微结构与工艺研究[D];天津大学;2010年
3 张正元;射频微机械开关与放大器关键技术研究[D];重庆大学;2004年
4 王佩红;基于MEMS技术的微型电磁式振动能量采集器的研究[D];上海交通大学;2010年
5 肖功利;MEMS金属/电介质光子晶体的强透射特性研究[D];复旦大学;2009年
6 李庄;用于高场不对称波形离子迁移谱仪的MEMS振簧式静电计研究[D];中国科学技术大学;2010年
7 王春田;MEMS数字检波器采集系统技术研究[D];中国地质大学(北京);2011年
8 关乐;基于宏模型技术的MEMS系统级仿真研究[D];大连理工大学;2011年
9 杜广涛;新型MEMS磁敏传感器的研究[D];西南交通大学;2011年
10 王艳;基于MEMS加工工艺的复杂结构微通道散热器研究[D];上海交通大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 宿智娟;MEMS宽带毫米波天线阵列研究[D];上海交通大学;2010年
2 付宇辉;基于MEMS航位推算系统的设计与实现[D];哈尔滨工程大学;2010年
3 曾昊骋;MEMS开关与频率可重构天线的研究与设计[D];电子科技大学;2010年
4 华晨辉;MEMS超声分离器的二维简正模式的研究及实验分析[D];电子科技大学;2010年
5 赵明锐;基于MEMS硅基底L波段微带天线的研究与设计[D];电子科技大学;2010年
6 孟丽娜;基于MEMS的微驱动器研制及其特性研究[D];黑龙江大学;2005年
7 苑海静;船用MEMS航姿测量系统算法研究与实现[D];哈尔滨工程大学;2010年
8 牛凯;4×4MEMS光开关阵列的设计与实验研究[D];清华大学;2004年
9 赵磊;梳齿式MEMS光开关的分析与改进[D];西安电子科技大学;2010年
10 孙发威;扭臂式MEMS光开关的建模与优化[D];西安电子科技大学;2010年
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