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《固体电子学研究与进展》 2002年01期
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微区薄层电阻四探针测试仪及其应用

孙以材  刘新福  高振斌  孟庆浩  孙冰  
【摘要】:用斜置的四探针方法 ,依靠显微镜观察 ,将针尖置于微区图形的四个角区 ,用改进的范德堡公式可以得到微区的薄层电阻。文中对测准条件作了分析。并用该仪器测定了硼扩散片的薄层电阻分布。在测试过程中应用微处理器 ,加快了计算速度

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