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《硅酸盐通报》 1998年02期
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BaTiO_3薄膜的MOCVD方法制备及进展

孙一军  张良莹  姚熹  
【摘要】:本文概述了用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)方法制备BaTiO3薄膜的原理和特点,着重介绍低压MOCVD、等离子体增强MOCVD和光辅助MOCVD三种技术在BaTiO3薄膜制备中的应用,并指出了最新研究进展、存在的困难和今后的发展趋势
【作者单位】西安交通大学精细功能电子材料与器件国家专业实验室
【分类号】:TQ132.33

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