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《硅酸盐通报》 2008年01期
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类金刚石膜的性能、制备及其应用

杨玉卫  杨坚  古宏伟  刘慧舟  张华  金薇  
【摘要】:类金刚石膜是无定形碳中含sp3键的亚稳态结构。由于它的组成、光学透过率、硬度、折射率和在化学腐蚀剂中的惰性以及抗摩擦性能十分相似于金刚石,其应用领域不断被拓宽,因此对类金刚石的研究也日益成为热点。本文介绍了类金刚石的性能、制备类金刚石膜的物理气相沉积和化学气相沉积方法,概括了类金刚石膜在机械、电磁学、光学、医学以及其它领域的应用,最后指出了类金刚石膜的研究现状及其发展趋势。

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【参考文献】
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【二级参考文献】
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中国硕士学位论文全文数据库 前2条
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【相似文献】
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1 单兆会;高劲松;王彤彤;申振峰;陈红;;用低压反应离子镀技术制备的类金刚石薄膜及其表征[J];红外;2011年08期
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