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《硅酸盐通报》 2002年06期
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应用电泳沉积技术制备钛酸钡铁电陶瓷薄膜

马亚鲁  孙小兵  王彦起  李建林  
【摘要】:采用电泳沉积技术在Pt电极基片上制备BaTiO3铁电陶瓷薄膜。探讨了电泳沉积过程中的控制因素 (悬浮液体系、电场强度、料浆浓度、沉积时间等 )对成膜性能的影响 ,并对薄膜材料的结构、性能进行了表征。实验结果表明 :在 1 0 5 0℃ (2h)的烧成温度下 ,经重复沉积—烧结 2~ 3次可得到基本无缺陷的BaTiO3陶瓷薄膜。测量频率在 1kHz时 ,室温 (2 3℃ )下的介电常数ε =2 3 0 0 ,介电损耗tanδ =0 2。

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