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《光散射学报》 2005年02期
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Raman散射和AFM对多晶硅薄结晶状况的研究

李瑞  卢景霄  陈永生  杨仕娥  靳锐敏  王海燕  张宇翔  郜小勇  
【摘要】:采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法在普通玻璃衬底上制备了多晶硅(p-si)薄膜。利用拉曼(Raman)散射谱、原子力显微镜(AFM)研究了衬底温度、射频功率和SiH4浓度对薄膜晶化的影响,并对其结果进行分析讨论。研究结果表明,当衬底温度从200℃逐渐提高到400℃、SiH4浓度从5%降到1%,硅膜的晶化率逐渐提高,结构逐渐由非晶向多晶转变,射频功率对薄膜的晶化状况也有很大影响。

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【引证文献】
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1 秦福文;吴爱民;王艳艳;冯庆浩;李伯海;;采用ECR-PECVD技术低温生长多晶硅薄膜[A];2006年材料科学与工程新进展——“2006北京国际材料周”论文集[C];2006年
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1 李伯海;ECR-PECVD法低温沉积Poly-Si薄膜的研究[D];大连理工大学;2007年
2 王建军;铝诱导法制备多晶硅薄膜研究[D];陕西师范大学;2007年
3 达文欣;氧化锌薄膜和罗丹明6G分子的拉曼散射研究[D];大连理工大学;2006年
【参考文献】
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1 余楚迎,林璇英,姚若河,吴萍,林揆训;a-Si∶H薄膜结构对多晶硅薄膜性能的影响[J];功能材料;2000年02期
【共引文献】
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1 黄创君,林璇英,林揆训,余楚迎,姚若河;低温制备高质量多晶硅薄膜技术及其应用[J];功能材料;2001年06期
2 伍林,欧阳兆辉,曹淑超,易德莲,孙少学,刘峡;拉曼光谱技术的应用及研究进展[J];光散射学报;2005年02期
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1 靳瑞敏;中温制备多晶硅薄膜及相关理论问题的探讨[D];郑州大学;2006年
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1 王立征;碳—硅复合纳米管的制备工艺[D];哈尔滨工业大学;2006年
2 闫新强;碳化硅外延材料生长温度场模拟和表征技术研究[D];西安电子科技大学;2007年
3 王保存;基于人工神经网络的水质监测拉曼光谱系统的研究[D];华中师范大学;2007年
【同被引文献】
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1 秦明,Yuen C Y,Poon Vincent M C,黄庆安;金属诱导非晶硅横向晶化形成的多晶硅的生长研究[J];固体电子学研究与进展;2001年03期
2 丁晖,徐重阳,邹雪城,张少强,戴永兵,袁奇燕,万新恒;TFT有源矩阵α-Si∶H薄膜PECVD淀积工艺研究[J];微电子学;1996年06期
3 张继成,唐永建,吴卫东;电子回旋共振微波等离子体技术及应用[J];强激光与粒子束;2002年04期
4 彭英才,何宇亮,刘明;PECVD生长nc-Si∶H膜的沉积机理分析[J];真空科学与技术学报;1998年04期
5 许怀哲,朱美芳,韩一琴,侯伯元;晶粒尺寸分布对纳米晶硅薄膜喇曼散射谱的影响[J];半导体学报;1997年09期
6 毛旭,周湘萍,王勇,杨宇;Ge/Si薄膜材料生长的偏压效应研究[J];功能材料;2001年06期
7 王印月,郑树凯,杨映虎,郭永平,奇莉,甘润今;用拉曼散射光谱估算纳米Ge晶粒平均尺寸[J];光学学报;1998年09期
8 吴晓昆,杨宇,吴兴惠;Raman测量Ge/Si多层膜中Ge晶粒尺寸的理论研究[J];红外技术;2001年01期
9 周国良,沈孝良,盛篪,蒋维栋,俞鸣人;Ge_xSi_(1-x)/Si超晶格的X射线小角衍射分析[J];物理学报;1991年01期
10 张晓丹,赵颖,朱锋,魏长春,吴春亚,高艳涛,侯国付,孙建,耿新华,熊绍珍;VHF-PECVD低温制备微晶硅薄膜的拉曼散射光谱和光发射谱研究[J];物理学报;2005年01期
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2 郑其经;陈德英;庄庆德;吴振婵;;多晶硅薄膜淀积的核化和早期生长[J];东南大学学报(自然科学版);1982年02期
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5 王善慈,卢慧斌,徐秀华,蔡浩一,邓春阳,陶文忠;多晶硅薄膜压阻器件[J];传感器技术;1987年Z1期
6 周明;;弱吸收薄膜的光学分析——对多晶硅薄膜的应用[J];激光技术;1987年03期
7 冯耀兰;骆志强;陆淑伟;;多晶硅桥在集成传感器中的多功能性研究[J];传感器与微系统;1989年01期
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2 于振瑞;YasuhiroMatsumoto;;掺杂浓度对a-Si:H薄膜低温铝诱导晶化的影响[A];中国第六届光伏会议论文集[C];2000年
3 张培玉;郝一龙;李婷;王颖;刘诗美;陈文茹;武国英;;微机械光开关中的微扭转镜阵列[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
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8 励旭东;李维刚;许颖;姬成周;马本堃;;多晶硅薄膜太阳电池氢退火效应的研究[A];中国太阳能学会2001年学术会议论文摘要集[C];2001年
9 许颖;于元;莫春东;李海峰;黄勇;;陶瓷衬底上制备多晶硅薄膜的初步研究[A];中国太阳能学会2001年学术会议论文摘要集[C];2001年
10 李海峰;黄勇;许颖;于元;;RTCVD多晶硅薄膜太阳能电池的陶瓷衬底材料[A];中国太阳能学会2001年学术会议论文摘要集[C];2001年
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3 ;日开发高性能多晶硅薄膜制造技术[N];中国有色金属报;2003年
4 记者 王冠/北京;全球七代线扩厂拉开序幕[N];电子资讯时报;2004年
5 刘林森;迅速崛起的薄膜太阳能电池[N];中国电力报;2008年
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1 励旭东;低成本衬底上晶体硅薄膜太阳电池的研究[D];北京师范大学;2003年
2 张宇翔;太阳能电池用多晶硅薄膜的制备研究[D];郑州大学;2005年
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7 刘萍;多晶硅薄膜及其电池制备的研究[D];郑州大学;2006年
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