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《功能材料与器件学报》 2001年03期
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金刚石膜在多孔硅发光中的应用(英文)

王林军  夏义本  范轶敏  居建华  方志军  张伟丽  史伟民  
【摘要】:采用微波等离子体化学气相沉积( MPCVD)法成功地在多孔硅上沉积出均匀、致密的金刚 石膜。光致发光测量表明,金刚石膜可以有效稳定多孔硅的发光波长和发光强度,具有明显的钝 化效应。金刚石膜的这个特点再加上高硬度特性使金刚石膜成为多孔硅的一种潜在的钝化膜。
【作者单位】上海大学材料科学与工程学院!上海
【分类号】:TN304.055

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