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《功能材料与器件学报》 2001年01期
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TiO_2基氧化物半导体氧敏传感器的研究开发进展

潘海波  陈耐生  林德娟  沈水发  黄金陵  
【摘要】:综合介绍 TiO2基氧化物半导体氧敏传感器的研究发展历史和 TiO2材料的特性,比较了各 种氧敏机理、制备方法、传感器的氧敏特性,就制备方法-材料微观结构-氧敏性能关系中的几 个重要问题,进行了深入的探讨,并对今后的研究开发与产业化,结合本课题组的研究工作,提出 了几点建议。
【作者单位】福州大学功能材料研究所!福州
【分类号】:TB381;TP212

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 司士辉,周光红,陈昕;β-环糊精固载于TiO_2纳米粒多孔膜的压电石英晶体传感器[J];分析试验室;2003年04期
2 戴振清,孙以材,潘国峰,孟凡斌,李国玉;TiO_2薄膜制备及其氧敏特性[J];半导体学报;2005年02期
3 田立强,潘国峰,赵彦晓,王静,孙以材;TiO_2薄膜氧敏元件的研究与发展[J];传感器世界;2002年07期
中国硕士学位论文全文数据库 前7条
1 董玉栋;TiO_2纳米晶材料对三甲胺(TMA)气敏特性的研究[D];吉林大学;2004年
2 戴振清;TiO_2薄膜制备及其氧敏特性研究[D];河北工业大学;2004年
3 王欢;VOCs气敏传感器的制备及性能研究[D];四川大学;2006年
4 高燕;真空热蒸发法制备纳米二氧化钛薄膜及稀土Ce_2O_3掺杂[D];内蒙古大学;2006年
5 李岩;多孔氧化钛薄膜的制备与结构及氧敏性能的研究[D];天津大学;2005年
6 胡安正;纳米二氧化钛SOL-GEL法制备技术研究[D];华中师范大学;2007年
7 张毅;直流磁控反应溅射制备TiO_2薄膜及氧敏特性研究[D];河北工业大学;2005年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 郑嘹赢,徐明霞,徐廷献;掺铂TiO_(2-x)氧敏薄膜的制备和性能[J];半导体学报;1999年11期
2 孟宪权,王君,何磊,范湘军;TiO_2薄膜的制备及结构研究[J];半导体学报;1999年05期
3 姜涛,吴一平,乔学亮,陈建国;多弧离子淀积TiO_2气敏薄膜材料[J];传感器技术;1996年02期
4 汪春昌,汪国忠;锐钛矿相纳米 Ti O_2 的直流伏安特性研究[J];稀有金属材料与工程;1999年04期
5 符春林,魏锡文;二氧化钛晶型转变研究进展[J];材料导报;1999年03期
6 姜涛,吴一平,陈建国,胡一帆,孙培祯;TiO_2薄膜型气体传感器研究进展[J];材料工程;1996年05期
7 郑嘹赢,徐明霞,刘丽月,徐廷献,董向红;掺杂钼对TiO_(2-x)薄膜氧敏性能的影响[J];材料研究学报;2000年S1期
8 刘焕林,吴兴惠;偏锡酸锌气敏材料敏感机理的研究[J];功能材料;1999年05期
9 徐明霞,王卫艳,郑嘹赢,窦雁巍,徐廷献;TiO_x薄膜电阻稳定性及氧敏特性的研究[J];硅酸盐学报;1998年06期
10 丁爱军,徐毓龙,周晓华;溶胶—凝胶法制备TiO_2氧敏元件研究[J];西安电子科技大学学报;1994年01期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张梅,杨绪杰,陆路德,汪信;硬脂酸法制备TiO_2纳米粉体[J];兵器材料科学与工程;2002年01期
2 郑嘹赢,徐明霞,徐廷献;掺铂TiO_(2-x)氧敏薄膜的制备和性能[J];半导体学报;1999年11期
3 傅军,何平,董名友;CeO_2-TiO_2复合氧化物的气敏催化性能[J];半导体学报;2002年03期
4 戴振清,孙以材,潘国峰,孟凡斌,李国玉;TiO_2薄膜制备及其氧敏特性[J];半导体学报;2005年02期
5 步绍静,靳正国,刘晓新,杨立荣,程志捷;聚乙二醇含量对纳米TiO_2多孔薄膜性质的影响[J];半导体学报;2005年02期
6 甘勇,刘彩霞,张爽,薛海林,董玮,张歆东,邹博,吴凤清,徐宝琨,陈维友;TiO_2薄膜紫外探测器的光电特性[J];半导体学报;2005年04期
7 孟宪权,王君,何磊,范湘军;TiO_2薄膜的制备及结构研究[J];半导体学报;1999年05期
8 施云波,陈耐生;纳米技术在半导体陶瓷气体传感器中的应用[J];传感器技术;2000年06期
9 田立强,潘国峰,赵彦晓,王静,孙以材;TiO_2薄膜氧敏元件的研究与发展[J];传感器世界;2002年07期
10 宁文生,杜丕一,翁文剑,韩高荣,沈鸽;气敏材料的研究进展[J];材料导报;2002年08期
中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 侯亚奇;二氧化钛及其复合薄膜光催化降解性能研究[D];清华大学;2004年
2 杨留方;铁酸盐复合氧化物(MFe_2O_4)系列气敏材料的制备及新型气体传感器的研究[D];昆明理工大学;2005年
3 潘海波;TiO_2基纳米氧敏材料及复合光催化材料的制备、结构与性能研究[D];福州大学;2006年
4 赵士超;H_2O_2溶液反应法制备纳米氧化锌颗粒及表征[D];浙江大学;2006年
5 刘向春;ZnO-TiO_2系介电陶瓷/NiZnCu铁氧体叠层低温共烧兼容特性研究[D];西北工业大学;2007年
6 张敏;脉冲偏压电弧离子镀沉积TiO_2与AlN介电薄膜[D];大连理工大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 颜黄苹;基于MEMS技术的氧气微传感器机理研究与设计[D];厦门大学;2002年
2 赵利;电子束蒸发制备TiO_2薄膜及光学性能的研究[D];武汉理工大学;2003年
3 叶海;TiO_2薄膜的制备及特性表征[D];暨南大学;2003年
4 訾学红;纳米光催化建筑材料降解室内外有害气体的应用研究[D];北京工业大学;2003年
5 戴振清;TiO_2薄膜制备及其氧敏特性研究[D];河北工业大学;2004年
6 姚望;纳米级金属氧(硫)化物的制备及结构特性研究[D];北京工业大学;2004年
7 董玉栋;TiO_2纳米晶材料对三甲胺(TMA)气敏特性的研究[D];吉林大学;2004年
8 郭伏安;洁净钢连铸用复合无碳浸入式水口的研究[D];武汉科技大学;2004年
9 曹佩玲;TiO_2薄膜的制备及光催化降解甲醛的研究[D];天津大学;2003年
10 于宏燕;介孔TiO_2及TiO_2/CeO_2复合氧化物的合成与表征[D];北京化工大学;2004年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 徐毓龙,曹全喜,周晓华;金属氧化物半导体电阻型气敏传感器作用机理[J];传感技术学报;1992年02期
2 惠春,徐爱兰,徐毓龙;MEMS气敏传感器[J];功能材料;2003年02期
3 颜黄苹,冯勇建,陈曦,卞剑涛;基于MEMS技术的氧气微传感器机理研究与设计[J];仪表技术与传感器;2003年08期
4 刘宏英,李春俊,李凤生;易燃易爆材料超细粉碎技术及设备研究新进展[J];爆破器材;1999年02期
5 曹志峰,张希艳,赵志强,张卫,詹祖盛,熊万荣;载体用多孔玻璃珠的研制[J];长春光学精密机械学院学报;1998年03期
6 杨克莲,叶征琦,杜宗杰,陈甫华,张保龙;TiO_2多孔纳米微粒的制备及其物性表征[J];城市环境与城市生态;2002年04期
7 姚超,张智宏,林西平,汪信;纳米技术与纳米材料(V)——防晒化妆品中的纳米二氧化钛[J];日用化学工业;2003年05期
8 李志林,李强,孙宝山;化妆品用肤色纳米二氧化钛的制备[J];广东化工;2005年07期
9 古政荣,陈爱平,戴智铭,古宏晨,陶国忠;活性炭-纳米二氧化钛复合光催化空气净化网的研制[J];华东理工大学学报;2000年04期
10 李伟,王晓冬,杨建军,张顺利,金振声,张治军;高比表面积TiO_2纳米管的制备与表征[J];化学研究;2002年03期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 李建平;微结构气敏传感器与电子鼻研究[D];中国科学院电子学研究所;2000年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 马新国;锐钛矿型TiO_2表面的理论研究[D];华中科技大学;2006年
2 邱美艳;薄膜型气体传感器的研究与制备[D];河北工业大学;2007年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 徐甲强;韩建军;孙雨安;谢冰;;半导体气体传感器敏感机理的研究进展[J];传感器与微系统;2006年11期
2 常剑,蒋登高,詹自力,宋文会;半导体金属氧化物气敏材料敏感机理概述[J];传感器世界;2003年08期
3 翟琳;仲飞;刘彭义;;TiO_2气敏传感器研究进展[J];传感器世界;2005年12期
4 梁威;路立平;潘国峰;姜素霞;;混合气体检测中纳米多孔膜晶振传感器的应用[J];仪表技术与传感器;2006年02期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 宋鹏;纳米晶钙钛矿型La(Pb)Fe(Co,Ni)O_3的制备及气敏特性研究[D];山东大学;2006年
2 辛长宇;高温偏载条件下的声表面波氧气传感器理论研究[D];上海交通大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前7条
1 叶海;TiO_2薄膜的制备及特性表征[D];暨南大学;2003年
2 孙海波;响应三甲胺[N(NH_3)_3]气体TiO_2敏感材料低阻化研究及其应用[D];山东师范大学;2004年
3 田俊峰;金属氧化物气敏材料制备与气敏性能研究[D];郑州大学;2005年
4 何丽萍;基于金属氧化物的甲醛气敏元件的研制[D];吉林大学;2007年
5 武秀芳;TiO_2薄膜的磁控溅射制备及其光催化性能研究[D];哈尔滨工程大学;2006年
6 马锦;TiO_2薄膜微结构及其光电特性研究[D];安徽大学;2007年
7 郝赟;基于TiO_2纳米管的NO_2气敏传感器研究[D];大连理工大学;2008年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 吴一平,乔学亮,陈建国,赵建生,孙培祯;多弧离子沉积(Ti,AI)N薄膜的制备工艺[J];兵器材料科学与工程;1995年05期
2 孙鸿涛,武明堂;陶瓷传感器的现状与发展趋势(Ⅱ)[J];传感技术学报;1990年02期
3 徐甲强,沈渝生;TiO_2掺杂α-Fe_2O_3薄膜的制备与气敏性能[J];传感器技术;1990年06期
4 易惠中;气体传感器中的厚薄膜技术[J];传感器技术;1992年01期
5 姜涛,吴一平,乔学亮,陈建国;多弧离子淀积TiO_2气敏薄膜材料[J];传感器技术;1996年02期
6 郑茂盛,赵更申,周根树;颗粒尺度对纳米材料相变的影响[J];稀有金属材料与工程;1996年01期
7 汪国忠,汪春昌,张立德,牟季美;纳米TiO_2的制备和性能[J];材料研究学报;1997年05期
8 蒋德光,刘承红,李蓉;超细高纯TiO_2粉的新制法和分析[J];电子元件与材料;1989年02期
9 王翔,袁贤鑫;甲苯气相选择氧化制苯甲醛 Ⅱ.V_2O_5/TiO_2催化剂焙烧温度和反应条件探讨[J];分子催化;1996年04期
10 董远达;丁星兆;;溶胶-凝胶工艺和氧化物气敏材料[J];功能材料;1992年01期
【相似文献】
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 赖正全;潘海波;李世云;;W~(6+)掺杂TiO_2纳米材料化学吸附与氧敏特性研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(7)[C];2007年
2 韩志钟;潘海波;陈建中;;非金属B掺杂TiO_2纳米材料结构与氧敏特性[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第4分册)[C];2010年
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