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《功能材料》 1997年01期
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VO_2薄膜的主要制备工艺参数研究

尹大川  许念坎  刘正堂  张晶宇  郑修麟  
【摘要】:通过正交试验设计对制备VO2薄膜过程中的部分影响因素(膜厚,最终热处理温度和热处理保温时间)进行了分析研究。VO2薄膜由无机溶胶-凝胶法制备V2O5凝胶膜经真空热处理而成。试验结果表明,VO2薄膜的最终电学性能明显受到膜厚、热处理温度和保温时间的影响。其中以热处理温度的影响作用最为显著。当真空度为3Pa、升温速率为2℃/min时,在试验参数范围内(真空热处理温度340~500℃,保温时间40~240min,膜厚0.25~0.45μm),经分析得到使VO2薄膜具有最大电阻突变特性的优化工艺为:加热温度500℃,保温时间140min,膜厚0.25μm。文中对试验结果进行了讨论。
【作者单位】西北工业大学材料科学与工程学院
【基金】:航空部科学基金
【分类号】:O614

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张弛,刘梅冬,曾亦可,刘少波,黄焱球;VO_2薄膜的研究和应用进展[J];材料导报;2003年S1期
2 江少群,马欣新,孙明仁;溶胶-凝胶制备二氧化钒薄膜的价态研究[J];中国表面工程;2005年02期
3 葛欣,尚志航,秦岩,卢志玉;氢水平衡法制备二氧化钒薄膜及XPS能谱分析[J];光谱实验室;2002年06期
4 杨绍利,徐楚韶,陈厚生,廖代华;用工业V_2O_5直接制备溶胶-凝胶[J];钢铁钒钛;2002年01期
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10 许旻,邱家稳,何延春,李强勇,赵印中,王洁冰;二氧化钒薄膜的结构、制备与应用[J];真空与低温;2001年03期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 杨绍利;VO_2薄膜制备及其应用性能基础研究[D];重庆大学;2003年
2 张勇;V_2O_5正极材料及其复合物的制备与研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前8条
1 牟宏;氧化钒热敏感材料的制备及微桥结构设计研究[D];电子科技大学;2003年
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3 杨冬梅;二氧化钒粉末的制备[D];昆明理工大学;2005年
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8 原晨光;还原五氧化二钒制备钒的低价氧化物[D];浙江大学;2005年
【共引文献】
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1 徐灿阳;庞明杰;原晨光;陈志刚;潘颐;;还原五氧化二钒制备二氧化钒粉末[J];材料科学与工程学报;2006年02期
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 胡再勇;二氧化钒薄膜的相变性能研究[D];重庆大学;2002年
2 原晨光;还原五氧化二钒制备钒的低价氧化物[D];浙江大学;2005年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张红丹;邹小平;程进;任鹏飞;李飞;王茂发;朱光;;碳纳米管制备及其生长机制研究[J];微纳电子技术;2007年Z1期
2 孟凡利,黄行九,孙宇峰中国科学院合肥智能机械研究所,中国科学院研究生院,中国科学院合肥物质科学研究院,刘锦淮;基于SnO_2气体传感器对CO的动态检测及原理分析[J];传感技术学报;2005年01期
3 孟凡利,黄行九,孙宇峰,刘锦淮;基于SnO_2传感器对液化石油气的动态检测[J];传感器技术;2005年02期
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5 孙志君;红外焦平面阵列技术的发展现状[J];半导体光电;2000年S1期
6 李华高,杨子文,刘爽;非制冷红外探测器用VO_x薄膜的制备[J];半导体光电;2001年01期
7 陈建国,郭群英,邢昆山;测辐射热计的微桥研制和VO_x膜成膜研究[J];半导体技术;2002年01期
8 杨亚生;测辐射热计红外焦平面列阵[J];半导体技术;1999年02期
9 江少群,马欣新,孙明仁;溶胶-凝胶制备二氧化钒薄膜的价态研究[J];中国表面工程;2005年02期
10 黄维刚,林华,涂铭旌;纳米VO_2粉体的制备及性能和应用[J];表面技术;2004年01期
中国博士学位论文全文数据库 前6条
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4 李文翠;新型纳米材料炭气凝胶的制备、表征及应用研究[D];大连理工大学;2002年
5 王久林;二次锂电池用含硫正极材料的制备及电化学性能研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2002年
6 杨绍利;VO_2薄膜制备及其应用性能基础研究[D];重庆大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前6条
1 郭永兴;LiCoO_2材料的结构、性能及锂离子电池制造技术的研究[D];中南大学;2002年
2 王强;聚苯胺/五氧化二钒复合电极材料的研究[D];重庆大学;2003年
3 林华;纳米二氧化钒粉体制备及掺杂对其相变性能影响的研究[D];重庆大学;2004年
4 熊韬;VO_2薄膜材料制备及其性能测试[D];华中科技大学;2004年
5 原晨光;还原五氧化二钒制备钒的低价氧化物[D];浙江大学;2005年
6 许静;WO_3薄膜材料的制备及性能研究[D];重庆大学;2005年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 马建蓉,黄张根,刘振宇,郭士杰;再生方法对V_2O_5/AC催化剂同时脱硫脱硝活性的影响[J];催化学报;2005年06期
2 张弛,刘梅冬,曾亦可,刘少波,黄焱球;VO_2薄膜的研究和应用进展[J];材料导报;2003年S1期
3 徐灿阳;庞明杰;原晨光;陈志刚;潘颐;;还原五氧化二钒制备二氧化钒粉末[J];材料科学与工程学报;2006年02期
4 赵丽丽,畅柱国,吴淑荣,熊为淼;掺杂Ag元素对溶胶–凝胶一步法制备BaTiO_3基PTCR陶瓷性能的影响[J];电子元件与材料;2003年09期
5 畅柱国,张建军,赵丽丽,贾金亮,崔斌,吴淑荣,熊为淼;限流用BaTiO_3系PTC陶瓷的制备及影响因素[J];电子元件与材料;2004年04期
6 赵丽丽,王雪文,张志勇,闫军锋;溶胶-凝胶法制备(Sr,Pb)TiO_3纳米晶粉及表征[J];功能材料;2002年04期
7 王金超,陈厚生,吴健春,杨绍利;纳米V_2O_5催化剂的开发[J];钢铁钒钛;2002年04期
8 郭宁,何延春,邱家稳;二氧化钒粉末制备工艺研究的现状和发展趋势[J];钢铁钒钛;2003年02期
9 陈庆连,陈长琦,王君,方应翠,王旭迪;DC反应磁控溅射制备VO_2薄膜及XPS分析[J];合肥工业大学学报(自然科学版);2005年10期
10 杨绍利,王军,高仕忠,陈厚生;V_2O_5溶胶-凝胶涂膜法及涂膜性能分析[J];化工新型材料;2005年06期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 吴淼;非制冷红外探测器用高TCR氧化钒薄膜的制备研究[D];天津大学;2005年
2 齐济;钒氧化物及其复合玻璃的制备与性质研究[D];大连理工大学;2008年
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1 张蜀平;氧化钒薄膜的制备及特性研究[D];电子科技大学;2002年
2 钟海波;钛酸钡系高温PTC材料的研究[D];华中科技大学;2005年
3 徐灿阳;低价钒的氧化物制备及其与LAS微晶玻璃复合[D];浙江大学;2006年
4 施云斌;溶胶—凝胶法制备钛酸锶铅纳米晶及PTC器件[D];西北大学;2006年
5 杨冬梅;二氧化钒粉末的制备[D];昆明理工大学;2005年
6 范樵乔;掺钨二氧化钒纳米粉体的制备及其相变性能的研究[D];四川大学;2006年
7 陈庆连;反应磁控溅射制备VO_2薄膜及表面特征研究[D];合肥工业大学;2006年
8 乔威;钒氧化物薄膜材料的制备[D];昆明理工大学;2006年
9 刘变美;无机溶胶—凝胶法制备掺钨二氧化钒薄膜研究[D];四川大学;2007年
10 郭培涛;Ta_2O_5光学薄膜的制备及退火对其光学性能的影响[D];武汉理工大学;2007年
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1 林茂;荧光材料Zn_2SiO_4:Mn的制备和表征[D];北京化工大学;2004年
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