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溶胶-凝胶法制备PZT薄膜晶化过程升温实验研究

何锦林  谭红  汪大成  
【摘要】:用不同升温速率控制PZT薄膜晶化过程,实验结果表明,当晶化温度在400~600℃时,薄膜显焦绿石相,当采用较高升温速率50℃/min时,在硅片上可缩小焦绿石相生成,提高钙钛矿相形成,从而获得取向性高的钙钛矿相PZT薄膜

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