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SnO_2纳米薄膜氢敏特性的研究

陶春旻  殷晨波  张子立  朱斌  涂善东  
【摘要】:采用溶胶-凝胶法制备了SnO2氢敏纳米薄膜。将0.1和0.05mol/L的SnO2溶胶溶液旋涂在Au叉指电极衬底而制得。通过测量在不同温度下SnO2纳米氢敏薄膜的电阻信号来表征其氢敏特性。当温度为250℃时,试样的灵敏度较低,并且响应时间也比较长。温度为300℃时试样的灵敏度较高,响应时间也明显缩短。0.05mol/L溶胶溶液旋涂10层制备的样品在300℃氢气浓度为2.0×10-3时,灵敏度达到了178,响应时间为3.5s。同时实验还发现试样对氢气的响应时间随着氢气浓度的增加先增大再减小。

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