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《功能材料》 2008年03期
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GaAs-AlGaAs外延结构中微区应力的电子背散射衍射分析

田彦宝  吉元  王俊忠  张隐奇  关宝璐  郭霞  沈光地  
【摘要】:采用电子背散射衍射(EBSD)技术,以30~40nm的空间分辨率,显示GaAs-AlGaAs外延结构中的应力分布。将菊池花样质量IQ和Hough峰,以及晶格错配和局部转动等测量参数作为应力敏感参数,分析GaAs-AlGaAs周期外延层中的应变状态。通过对菊池花样进行快速傅立叶变换和强度计算识别微区应变区域。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 彭英才,傅广生;半导体超晶格研究与相关学科领域发展的关系[J];固体电子学研究与进展;2000年03期
【共引文献】
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 何智兵;有机/无机多层复合膜的制备及光电性能研究[D];浙江大学;2004年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 彭英才;半导体科学技术发展的历史回顾[J];物理;1994年02期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 吴廷坤,刘伟;铜单晶体冷轧形变微观组织结构[J];清华大学学报(自然科学版);2005年06期
中国重要会议论文全文数据库 前3条
1 范丽霞;潘春旭;蒋昌忠;付强;吴佑明;;奥氏体不锈钢超高温服役过程中组织转变和晶界特征的EBSD研究[A];2005年全国计算材料、模拟与图像分析学术会议论文集[C];2005年
2 王卫国;周邦新;;“晶界工程”若干关键问题[A];第十一届中国体视学与图像分析学术会议论文集[C];2006年
3 范丽霞;卢卓宇;任峰;蒋昌忠;付强;;EBSD在InGaAsP/InP异质结构弹性应力区域的研究[A];中国硅酸盐学会特种玻璃分会第三届全国特种玻璃会议论文集[C];2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 王疆;电子背散射衍射(EBSD)技术在材料领域的应用[D];浙江大学;2006年
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