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《功能材料》 2006年04期
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ZnO掺杂Li~+陶瓷靶及溅射膜制备工艺研究

陈祝  张树人  杜善义  杨成韬  孙明霞  郑泽渔  李波  董加和  
【摘要】:利用固相反应成功地制备了直径为70mm,厚度为10~15mm的掺杂Li离子ZnO陶瓷靶材。研究了不同摩尔浓度的Li离子掺杂靶材,并对其绝缘电阻与损耗进行了分析比较,最终确定Li离子的最佳掺杂量为2.2l%(摩尔分数)。同时通过在不同温度烧结试验、不同成型压力试验确定了ZnO靶材制备的最佳工艺,并通过所制备的ZnO-Li0.022陶瓷靶,采用RF射频磁控溅射技术在Si(100)、玻璃(载玻片)、及Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基片上制备出高度c轴(002)择优取向、均匀、致密的ZnO薄膜。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 李大伟;蒋向东;谢康;曹东;;异质外延ZnO掺Ag薄膜及其异质结紫外光特性的研究[J];材料导报;2011年02期
2 陈祝;聂海;杨成韬;杨邦朝;;PZT/ZnO薄膜制备及其结构特性研究[J];功能材料;2009年12期
3 李海凤;;ZnO的用途及其薄膜的制备方法[J];高等职业教育(天津职业大学学报);2006年03期
4 王星明;白雪;段华英;石志霞;孙静;卢世刚;黄松涛;;AZO溅射靶材的热压制备(英文)[J];Transactions of Nonferrous Metals Society of China;2011年07期
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 李大伟;掺杂ZnO薄膜的制备及其异质结紫外光特性研究[D];电子科技大学;2011年
2 沈洪雪;掺氮氧化锌薄膜的制备和p型转变研究[D];合肥工业大学;2009年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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2 朱丽红;许海军;姚志涛;李新建;;ZnO/Si纳米孔柱阵列的真空蒸镀及其光致发光特性[J];半导体光电;2008年01期
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4 唐平;廖雷;蒋坤朋;余卫平;覃爱苗;;基于可见光响应的纳米硒半导体器件[J];微纳电子技术;2012年01期
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8 冯士维;李瑛;孙静莹;谢雪松;杨集;张跃宗;卢毅成;;ZnO紫外光电导型探测器的制备与研究[J];北京工业大学学报;2007年07期
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中国重要会议论文全文数据库 前4条
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2 方庆清;汪金芝;焦永芳;李锐;;Co含量对Zn_(0.6)Co_xFe_(2.4-x)O_4结构与磁性的影响[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ[C];2004年
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4 江保锋;陈晓航;詹华瀚;周颖慧;王惠琼;李书平;康俊勇;;不同单体在ZnO(0001)-Zn极性面上生长的机制[A];第十二届全国MOCVD学术会议论文集[C];2012年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 钟泽;ZnO和AlN薄膜的MOCVD生长及其性质研究[D];中国科学技术大学;2010年
2 周小芳;一些简单氧化物半导体薄膜的LIV效应及其输运性质研究[D];昆明理工大学;2010年
3 任树洋;强磁场对真空蒸发薄膜生长的影响研究[D];上海大学;2011年
4 向嵘;氧化锌基紫外光电薄膜及器件的技术研究[D];长春理工大学;2011年
5 李莹滢;一维半导体纳米材料制备、性能及辐射探测器件研究[D];南京航空航天大学;2009年
6 刘洁;氧化锌单晶及激光辐照氧化锌单晶的光谱学研究[D];北京工业大学;2011年
7 刘成有;A_xZn_(1-x)O(A:Mg,Cd)薄膜材料与非线性光学性质[D];东北师范大学;2011年
8 孙锋;锂氮共掺杂p型ZnO的制备及其光电器件研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
9 王丽丹;纳米ZnO基有机/无机复合光伏器件研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
10 韩舜;MgZnO薄膜及其紫外光电探测器制备和特性研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王铁柱;基于硅基波导声光移频器理论与技术的研究[D];长春理工大学;2010年
2 单海燕;ZnO薄膜的水溶液法制备及Li~+、柠檬酸钠对ZnO生长的影响[D];大连理工大学;2010年
3 孟威;薄膜集成磁件结构拓扑优化与制备工艺研究[D];辽宁工程技术大学;2009年
4 翟纪伟;氧化亚铜粉末、薄膜的制备及其光催化性能研究[D];中国海洋大学;2010年
5 云广平;不锈钢基Cu_2O/TiO_2膜的制备及光催化性能研究[D];西安电子科技大学;2011年
6 马向丽;ZnO薄膜及其光电器件的室温制备及性能研究[D];浙江大学;2011年
7 于平坤;ZnO:Al透明导电薄膜的制备及性能研究[D];山东建筑大学;2011年
8 刘金营;ZnO准一维阵列的制备和表征[D];吉林大学;2011年
9 王佳佳;电沉积锌/氧化锌薄膜及生长机理[D];吉林大学;2011年
10 王玮丽;基于ZnO薄膜的低阈值电压压敏电阻[D];杭州电子科技大学;2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 许积文;王华;任明放;杨玲;;氧化锌薄膜的p型掺杂及其制备方法[J];兵器材料科学与工程;2009年03期
2 陈汉鸿,叶志镇;ZnO薄膜的掺杂和转型的研究进展[J];半导体情报;2001年02期
3 陈长春;刘萍;王禄荣;;p型ZnO薄膜制备的研究进展[J];微纳电子技术;2008年06期
4 叶志镇,陈汉鸿,刘榕,张昊翔,赵炳辉;直流磁控溅射ZnO薄膜的结构和室温PL谱[J];半导体学报;2001年08期
5 王坤;姚淑德;丁志博;朱俊杰;傅竹西;;Si衬底上ZnO外延膜结构性质的比较[J];半导体学报;2006年08期
6 刘江;庄大明;张弓;李春雷;段宇波;;中频交流磁控溅射制备氧化锌铝(ZAO)薄膜的研究[J];中国表面工程;2010年01期
7 李庚伟;吴正龙;邵素珍;张建辉;刘志凯;;氧离子束辅助激光淀积生长ZnO/Si的研究[J];材料导报;2005年02期
8 戴护民;桂阳海;;气、光敏材料ZnO的掺杂改性研究[J];材料导报;2006年06期
9 刘心宇;江民红;周秀娟;成钧;王仲民;;Al掺杂ZnO薄膜的射频磁控溅射工艺与光电性能研究[J];材料工程;2008年10期
10 葛启函;邓宏;陈航;徐自强;;不同掺Al~(3+)浓度的ZnO:Al薄膜性能研究[J];电子科技大学学报;2006年02期
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 曾昱嘉;ZnO薄膜p型掺杂的研究及ZnO纳米点的可控生长[D];浙江大学;2008年
2 熊志华;ZnO掺杂改性的第一性原理研究[D];南昌大学;2008年
3 卢洋藩;ZnO薄膜的N相关掺杂及p-ZnO欧姆接触的研究[D];浙江大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前8条
1 周英;溶胶—凝胶法制备ZnO薄膜[D];电子科技大学;2005年
2 张有润;制备ITO薄膜的工艺研究[D];电子科技大学;2005年
3 楼晓波;ZnO薄膜的制备与性能分析[D];南京航空航天大学;2008年
4 肖锋伟;磁控溅射法制备氮掺杂ZnO薄膜及其光学特性研究[D];西北大学;2009年
5 张贺攀;PLD方法沉积ZnO薄膜及其光电性能研究[D];大连理工大学;2009年
6 李福龙;ZnO薄膜的制备及其性能研究[D];厦门大学;2009年
7 谢学武;ZnO薄膜的溶胶凝胶法制备工艺及其性能的研究[D];中国科学技术大学;2009年
8 尹玉刚;ZnO薄膜的制备及光电特性研究[D];南京航空航天大学;2009年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 孙兆奇;徐凯;杨蕾;石市委;张苗;宋学萍;;沉积电位对ZnO薄膜结构及光电性能的影响[J];安徽大学学报(自然科学版);2013年02期
2 赵印中;李林;许旻;何延春;吴春华;王洁冰;;ZnO薄膜的结构、性能及其应用[J];真空与低温;2009年01期
中国硕士学位论文全文数据库 前6条
1 彭金强;磁控溅射法制备优质氮化镓衬底生长用缓冲层氧化锌薄膜[D];哈尔滨工业大学;2010年
2 俞亮燕;反应溅射制备纳米ZnO功能纺织材料及其性能表征[D];江南大学;2008年
3 金巨江;Sol-gel法掺杂导电ZnO薄膜及其低温氮气热处理[D];天津大学;2008年
4 陈功兵;溶胶—凝胶法制备GaN基LED缓冲层氧化锌薄膜的研究[D];哈尔滨工业大学;2009年
5 陈奇;射频磁控溅射法制备氮掺杂氧化锌薄膜及其性能研究[D];牡丹江师范学院;2010年
6 刘京津;Cu、Ag掺杂ZnO薄膜的结构及磁性研究[D];河北师范大学;2012年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 陈祝;张树人;杜善义;杨成韬;郑泽渔;李波;孙明霞;;ZnO陶瓷靶制备及其薄膜RF溅射工艺研究[J];无机材料学报;2006年04期
2 陈祝;张树人;杨成韬;;高度(002)择优取向Li~+掺杂ZnO薄膜的制备和性能[J];材料研究学报;2007年04期
3 袁晓梅;闫鹏勋;孔凡成;方延平;郑晓慧;;氮气分压对Cu_3N薄膜性质的影响[J];中国矿业大学学报;2008年02期
4 王晓飞;吴雪梅;诸葛兰剑;;Zn_(1-x)Cu_xO薄膜的结构和光学性质[J];功能材料;2008年02期
5 陈祝;聂海;杨成韬;杨邦朝;;PZT/ZnO薄膜制备及其结构特性研究[J];功能材料;2009年12期
6 侯捷;张丛春;杨春生;丁桂甫;;Si衬底上RF磁控溅射MgO薄膜的研究[J];功能材料;2010年07期
7 郭瑞;李东临;王怡;武光明;邢光建;;衬底温度对Mg_(0.1)Zn_(0.9)O薄膜结构及光学性能的影响[J];材料导报;2010年S2期
8 程谟杰,林励吾,杨亚书,杨维慎,徐奕德,李新生;玻璃表面上晶粒择优取向的分子筛膜的合成[J];科学通报;1996年10期
9 侯东芳;周根树;郑茂盛;;贝壳中文石晶体择优取向的XRD分析[J];三峡大学学报(自然科学版);2006年05期
10 杨于兴;李东明;;择优取向钢中残余奥氏体的测定[J];上海金属;1986年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 童俊军;刘秋香;蒋艳萍;唐新桂;;气氛对射频磁控溅射NiFe_2O_4薄膜性能的影响[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第5分册)[C];2010年
2 陈瑞;边旭明;范佰杰;何春河;李丽;;射频溅射生长氧化锌及氧化锌的腐蚀[A];第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会论文集[C];2008年
3 戴树玺;王洋;张电波;王书杰;杜祖亮;;图案化氧化锌薄膜的制备及其光电性质[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年
4 张静;张维佳;赵而敬;沈燕龙;杨东杰;林军;Havugimana Jean Jacques;;掺铝氧化锌粉末及其陶瓷靶的制备与性能分析[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第6分册)[C];2010年
5 汲明亮;李凤岩;何青;李伟;孙云;刘唯一;徐传明;周志强;;射频溅射氧化锌薄膜晶体结构和电学性质[A];中国真空学会第六届全国会员大会暨学术会议论文集[C];2004年
6 王洋;戴树玺;张电波;程轲;杜祖亮;;以单层PS球为模板利用纳米压印制备图案化氧化锌薄膜[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年
7 王云飞;陈学康;;原子氧处理对氧化锌薄膜的结构及光学性能的影响[A];中国真空学会2008年学术年会论文摘要集[C];2008年
8 李炳生;刘益春;支壮志;申德振;吕有明;张吉英;范希武;孔祥贵;;用等离子体增强的化学汽相沉积的方法制备高质量ZnO薄膜[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
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10 杨洁;;金刚石薄膜/氧化锌薄膜异质结研制和性质研究[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
中国重要报纸全文数据库 前2条
1 傅竹西;新一代宽禁带半导体材料[N];科技日报;2000年
2 尚学瑞 郭慧兰;中药材的火试鉴别[N];中国中医药报;2001年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
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2 朱夏明;掺氮氧化锌的光电特性及其在薄膜晶体管中的应用研究[D];浙江大学;2010年
3 李其仲;氧化锡陶瓷靶材的制备及其性能研究[D];武汉理工大学;2011年
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5 张丽;氧化锌薄膜的微结构调整及光、电、磁性质研究[D];河北大学;2009年
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7 王梦;钛酸锶钡系铁电薄膜材料特性及其移相器结构性能仿真研究[D];华中科技大学;2011年
8 王玉新;硼碳氮薄膜的制备及其光透过性质研究[D];长春理工大学;2005年
9 陈宏伟;铁电薄膜材料及在介质移相器中的应用研究[D];电子科技大学;2010年
10 邹光龙;氢氧化镁、氧化锌微/纳米结构的软化学合成与表征[D];浙江大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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2 陆何俊;氧化锌薄膜的制备与性能研究[D];吉林大学;2005年
3 彭金强;磁控溅射法制备优质氮化镓衬底生长用缓冲层氧化锌薄膜[D];哈尔滨工业大学;2010年
4 王超;氧化锌薄膜晶体管的制备与研究[D];吉林建筑工程学院;2010年
5 苏雪琼;激光沉积法制备掺钴氧化锌稀磁半导体[D];北京工业大学;2010年
6 达文欣;氧化锌薄膜和罗丹明6G分子的拉曼散射研究[D];大连理工大学;2006年
7 周丹;氧化锌薄膜的制备与场发射特性研究[D];延边大学;2010年
8 石明吉;硅和氧化锌纳米材料制备及光学性质研究[D];曲阜师范大学;2006年
9 付晶晶;K575DX溅射镀膜仪反应溅射制备ZnO薄膜的研究[D];天津大学;2012年
10 谢学武;ZnO薄膜的溶胶凝胶法制备工艺及其性能的研究[D];中国科学技术大学;2009年
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