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《功能材料》 2003年05期
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铁电薄膜研究中的几个重要问题

肖定全  
【摘要】: 近十多年来,铁电薄膜及集成铁电器件一直是材料科学工作者和电介质物理工作者关注和研究的热点之一。要使集成铁电器件得到更广泛的应用,还应针对铁电薄膜本身和铁电薄膜异质结构开展更深入的研究。本文针对铁电薄膜的疲劳、老化和电压漂移、电阻等特性退变,以及薄膜异质结构的表面和界面等问题,结合作者的研究工作,进行比较概括的分析,并提出一些解决问题的方法。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 李丽华;黄金亮;张柯;殷镖;;熔盐法合成片状Bi_4Ti_3O_(12)粉体的研究[J];电子元件与材料;2007年03期
2 苗彬彬;王君;陈江涛;闫鹏勋;;铁电PLZT薄膜的最新研究进展[J];人工晶体学报;2006年03期
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 陈祝;溶胶—凝胶改进工艺制备锆钛酸铅(PbZr_xTi_(1-x)O_3)铁电薄膜的结构与性能研究[D];电子科技大学;2006年
2 王君;射频磁控溅射法沉积氮化铜纳米薄膜及PLZT薄膜[D];兰州大学;2006年
3 贾建峰;多层铁电薄膜的制备及其电性能研究[D];兰州大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 王震东;PZT铁电薄膜的磁控溅射低温生长[D];南昌大学;2006年
2 黄惠东;铁电薄膜电容分布的扫描探针显微镜研究[D];电子科技大学;2006年
3 蒲朝辉;PZT铁电薄膜的制备与性能研究[D];四川大学;2006年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 范希智,陈君,刘旭,顾培夫,唐晋发;有机电致发光薄膜的电流输运机理的分析[J];鞍山师范学院学报;2000年03期
2 崔升,沈晓冬,蔡永明,黄杏芳,江国栋;纳米氧化铟锡掺杂的有机玻璃电导率及复介电常数的研究[J];兵器材料科学与工程;2004年03期
3 李海华,王遵立;信息高速处理与光电子技术[J];半导体光电;2002年04期
4 石礼伟,李玉国,王强,薛成山,孙海波;高密存储介质磁性纳米颗粒薄膜与纳米超晶格结构研究进展(英文)[J];微纳电子技术;2003年09期
5 朱传凤,韩梅娟,商广义,万立骏,沈玉全,邱玲,郝聚民;光学高分子薄膜纳米结构与性能关系的探讨[J];微纳电子技术;2005年06期
6 张楷亮,宋志棠,封松林,Chen Bomy;ULSI关键工艺技术——纳米级化学机械抛光[J];微纳电子技术;2005年07期
7 郑香娣,魏杰,刘立峰,钟俊;菁染料光稳定性及氧猝灭剂对其光稳定性的影响[J];北京化工大学学报(自然科学版);2004年02期
8 王承遇,潘玉昆,陶瑛;21世纪新玻璃的发展[J];玻璃与搪瓷;2002年03期
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10 韦文生,张春熹,周克足,王天民;硅基光电集成材料及器件的研究进展[J];材料导报;2003年05期
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 米双山;介电式种子分选机理及其设备的研究[D];中国农业大学;2000年
2 吴涧彤;压电晶体扭转效应的研究[D];大连理工大学;2000年
3 孙宇瑞;非饱和土壤介电特性测量理论与方法的研究[D];中国农业大学;2000年
4 卢祥军;改性铅基复合钙钛矿型弛豫铁电陶瓷的结构与微波介电性能[D];浙江大学;2001年
5 杜设亮;精密机械仿生热稳定构件研究[D];浙江大学;2001年
6 孙明清;碳纤维混凝土与素混凝土的力电机敏性及应用研究[D];武汉理工大学;2002年
7 申林;掺镧钛酸铋粉体、陶瓷及薄膜的溶胶-凝胶制备技术与性能研究[D];四川大学;2002年
8 赵燕东;土壤水分快速测量方法及其应用技术研究[D];中国农业大学;2002年
9 徐峥谊;微机械热电堆红外探测器[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2002年
10 董树荣;微波介质陶瓷薄膜的研究[D];浙江大学;2003年
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1 叶超;α-C:F薄膜的沉积、结构与介电性质研究[D];苏州大学;2001年
2 杨芝茵;残余应力对压电薄膜材料性能的影响[D];湘潭大学;2001年
3 刁立臣;点状籽晶生长优质DKDP晶体及其表征的研究[D];北京工业大学;2002年
4 周小燕;掺铈钇铁石榴石相的制备研究[D];武汉理工大学;2002年
5 刘军芳;放电等离子烧结法制备氮化铝透明陶瓷[D];武汉理工大学;2002年
6 郭莉;石英晶体扭转效应的仿真与优化[D];大连理工大学;2002年
7 徐闫;溶胶凝胶法制备的钛酸锶钡薄膜的介电性质[D];苏州大学;2002年
8 张龙;混粉电火花加工及其镜面加工技术的实验研究[D];大连理工大学;2003年
9 王燕;取样光栅及其在光纤通信中应用的理论研究[D];江西师范大学;2003年
10 杨卫明;新型层状铁电—铁磁复合材料的合成与表征[D];武汉理工大学;2003年
【同被引文献】
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1 张琼;苗鸿雁;谈国强;;BiFeO_3薄膜研究进展[J];硅酸盐通报;2007年01期
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3 刘新福,孙以材,刘东升;四探针技术测量薄层电阻的原理及应用[J];半导体技术;2004年07期
4 袁晓梅;王君;吴志国;岳光辉;闫鹏勋;;射频磁控溅射法制备Cu_3N薄膜及其性能研究[J];人工晶体学报;2006年03期
5 李友清,刘丽,刘润山;聚酰亚胺研究[J];精细石油化工进展;2003年03期
6 梁宗存,沈辉,李戬洪;太阳能电池研究进展[J];能源工程;2000年04期
7 蒋荣华,肖顺珍;硅基太阳能电池与材料[J];新材料产业;2003年07期
8 李靓,姚熹,张良莹;非制冷热释电薄膜红外探测器热绝缘结构的研制[J];半导体学报;2004年07期
9 刘梅冬,曾亦可,李楚容,饶韫华,王培英,邓传益;铁电薄膜的制备及应用技术研究[J];材料导报;2000年12期
10 王悦辉,庄志强;择优取向铁电薄膜制备影响因素的分析[J];材料导报;2003年04期
中国博士学位论文全文数据库 前5条
1 王卓;钛酸铋钠基铁电薄膜的制备及相关刻蚀工艺的研究[D];山东大学;2003年
2 袁小武;钛酸铅镧钙系铁电薄膜的制备及其性能研究[D];四川大学;2005年
3 吕炜;铁电材料与形状记忆合金的宏细观本构研究[D];清华大学;1998年
4 杨长红;钛酸盐类铁电薄膜的制备及其性能研究[D];山东大学;2006年
5 王龙海;用于嵌入式铁电存储器的集成铁电电容研究[D];华中科技大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王震东;PZT铁电薄膜的磁控溅射低温生长[D];南昌大学;2006年
2 杨芝茵;残余应力对压电薄膜材料性能的影响[D];湘潭大学;2001年
3 郭冬云;FFET存储器用Bi_4Ti_3O_(12)铁电薄膜的制备及性能研究[D];武汉理工大学;2002年
4 袁小武;PLCT(x)纳米微粉和铁电薄膜的Sol-Gel法制备及其结构和性能研究[D];四川大学;2002年
5 杨莺;锆钛酸铅铁电薄膜的制备及性能测试[D];西安理工大学;2003年
6 李松霞;铁电畴的扫描力显微镜检测方法研究[D];电子科技大学;2003年
7 陈富贵;PZT铁电薄膜的疲劳与老化特性研究[D];电子科技大学;2005年
8 曾慧中;纳米尺度铁电电畴结构及其运动的扫描力显微镜研究[D];电子科技大学;2005年
9 方瑜;溶胶凝胶技术制备钛酸锶钡系列铁电薄膜及其性能研究[D];四川大学;2005年
10 张兴国;PZT铁电薄膜的制备与研究[D];江苏大学;2005年
【二级引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 张玮;新型热释电晶体的探索[D];北京工业大学;2007年
2 黄奇辉;PZT铁电薄膜/LaNiO_3薄膜周期结构的制备及其光学性质[D];南昌大学;2007年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张惠丰,王本民,张瑜瑛,朱金祥,张林妹;铁电薄膜存储材料的进展[J];化学进展;1993年02期
2 杨长红,王卓,韩建儒;金属有机分解法制备无铅K_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3铁电薄膜[J];人工晶体学报;2004年05期
3 王卓,杨长红,王民,房昌水;0.87Na_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3-0.13PbTiO_3薄膜的MOSD+Dipping制备[J];人工晶体学报;2004年05期
4 曾亦可,刘梅冬,王培英,饶韫华;铁电薄膜电滞回线测量研究[J];功能材料;1998年06期
5 李立本,李雪玲,张运强;表面和界面效应对铁电薄膜极化分布的影响[J];周口师范学院学报;2005年02期
6 石富文,孟祥键,王根水,林铁,李亚巍,马建华,孙兰,褚君浩;锰掺杂对PbZr_(0.5)Ti_(0.5)O_3铁电薄膜电学性能的影响[J];功能材料与器件学报;2005年02期
7 戴品强,何则荣,卢洪,毛志远;STM及AFM在材料断裂与疲劳研究中的应用[J];材料导报;2000年10期
8 李志军,程光旭,段权;一种纤维增强复合材料的力学化学疲劳模型[J];西安交通大学学报;2002年01期
9 贾威,曾梅光;疲劳对快凝Al-Fe-V-Si-Nd纳米合金微结构的影响[J];材料热处理学报;2003年03期
10 肖定全,朱建国,钱正洪,朱居木,郭华聪,谢必正,张文,采保金;多离子束反应共溅射技术制备(Pb,La)TiO3铁电薄膜及薄膜物化性能表征[J];高技术通讯;1994年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 于艳菊;王福平;赵连城;;稀土Eu掺杂改性的PbZr_(0.52)Ti_(0.48)O_3铁电薄膜[A];2002年材料科学与工程新进展(下)——2002年中国材料研讨会论文集[C];2002年
2 马运新;宋世庚;苏树兵;郑应智;;纳米晶PZT/PT铁电薄膜的尺寸效应[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
3 李金隆;张鹰;李言荣;邓新武;熊杰;;BST类铁电薄膜的最低晶化温度和自组装生长研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
4 王华;李岩;;Bi_4Ti_3O_(12)铁电薄膜Ⅰ-Ⅴ特性的研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
5 陈延峰;孙力;于涛;闵乃本;姜晓明;修立松;;MOCVD制备PbTiO_3铁电薄膜的研究[A];1996年中国青年学者物理学讨论会——薄膜材料与物理论文集[C];1996年
6 姜胜林;谢甜甜;曾亦可;李元昕;;Sol-Gel技术制备PST铁电薄膜及其电性能研究[A];科技、工程与经济社会协调发展——中国科协第五届青年学术年会论文集[C];2004年
7 周济;李俊国;李龙土;张孝文;;溶胶—凝胶(Sol—Gel)过程制备Pb(Zr,Ti)O_3铁电薄膜[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
8 王东生;于涛;孙波;游彪;胡安;吴迪;李爱东;刘治国;;氮氢混合气氛退火对SrBi_2Ta_2O_9薄膜铁电性能的影响[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
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10 朱建国;肖定全;陈猛;彭文斌;张力;景亚斌;;PbTiO_3铁电薄膜快速退火后结晶特性研究[A];第二届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1995年
中国重要报纸全文数据库 前1条
1 任干生;纳米电子陶瓷材料面市[N];中国电子报;2000年
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1 尚杰;铁电氧化物薄膜的制备及其激光感生电压效应[D];昆明理工大学;2010年
2 朱哲;铁电薄膜生长机制和畴变演化的研究[D];湘潭大学;2011年
3 刘骁兵;铁酸铋与P(VDF-TrFE)铁电薄膜的制备及性能研究[D];复旦大学;2012年
4 迟庆国;钛酸铅基铁电薄膜组织结构控制及性能研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
5 袁小武;钛酸铅镧钙系铁电薄膜的制备及其性能研究[D];四川大学;2005年
6 黄平;锶铋钛铁电陶瓷及薄膜的研究[D];天津大学;2005年
7 吴化平;具有择优取向的多晶铁电薄膜的力学性能研究[D];哈尔滨工业大学;2009年
8 范素华;(CaSr)Bi_4Ti_4O_(15)铁电薄膜的制备与特性[D];武汉理工大学;2007年
9 魏贤华;氧化物铁电薄膜生长与界面控制方法研究[D];电子科技大学;2005年
10 刘敬松;FRAM铁电材料的微结构与电性能研究[D];电子科技大学;2005年
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1 陈富贵;PZT铁电薄膜的疲劳与老化特性研究[D];电子科技大学;2005年
2 陈祝;Sol-Gel前驱单体法制备PZT铁电薄膜技术与性能研究[D];电子科技大学;2004年
3 周军连;FRAM用铁电薄膜的制备与性能研究[D];电子科技大学;2004年
4 侯芳;(Bi,Nd)_4Ti_3O_(12)薄膜的溶胶—凝胶法制备及其铁电性质[D];苏州大学;2004年
5 方瑜;溶胶凝胶技术制备钛酸锶钡系列铁电薄膜及其性能研究[D];四川大学;2005年
6 柳擎;PZT铁电薄膜的掺杂改性研究[D];华中科技大学;2005年
7 王震东;PZT铁电薄膜的磁控溅射低温生长[D];南昌大学;2006年
8 田召明;PZT薄膜的铁电性和极化反转特性研究[D];电子科技大学;2005年
9 言智;铅基铁电薄膜材料在热、电载荷作用下的疲劳特性[D];湘潭大学;2003年
10 沈健;铁电薄膜表面与界面特性的扫描力显微镜研究[D];电子科技大学;2006年
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