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《功能材料》 1999年05期
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超高真空磁控溅射Co/Si多层膜的X射线衍射分析

马忠元  杨宇  吴兴惠  
【摘要】:采用X射线衍射分析表征了磁控溅射方法制备的Co/Si周期多层膜,由带折射修正的布喇格衍射定律导出多层膜周期厚度,对两组折射修正公式的计算结果进行对比,讨论了平均折射车修正值为负的原因,并应用薄膜光学理论分析小角X射线衍射谱中出现的一系列现象。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 闫洪;1999年云南金属材料与加工年评[J];云南冶金;2000年02期
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 何杰,顾诠,陈维德,许振嘉;CoSi_2薄膜形成过程中的反应机制[J];半导体学报;1994年08期
2 殷功杰,范正修,邵建达;小角衍射法精确测定Mo/Si软X射线多层膜的结构[J];中国激光;1993年12期
3 邵建达,范正修,殷功杰,袁利祥;簿膜结构分析中的低角X射线衍射方法[J];物理学报;1994年06期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 许振嘉;半导体器件工艺与薄膜科学[J];真空科学与技术学报;1997年06期
2 齐红基,易葵,贺洪波,邵建达;溅射粒子能量对金属Mo薄膜表面特性的影响[J];物理学报;2004年12期
3 邵建达,范正修,殷功杰,袁利祥;簿膜结构分析中的低角X射线衍射方法[J];物理学报;1994年06期
4 邵建达,范正修,殷功杰,易葵,袁利祥;W/C超薄多层膜的制备及其结构与光学特性分析[J];物理学报;1994年12期
5 邵建达,易葵,范正修,王润文,崔明启;短波长软X射线多层膜高级次峰设计与制备[J];物理学报;1997年11期
6 邵建达,范正修,王桂英,丁志华;多层膜结构和界面分析应用中的高分辨率透射电镜剖面分析[J];中国激光;1994年06期
7 李宏宁,毛旭,杨宇;磁控溅射Ge/Si多层膜X射线低角衍射界面结构分析[J];光电子.激光;2000年01期
8 陈亮维,吴隽,王永能;Co/Pt多层膜X射线小角衍射分析[J];贵金属;1998年04期
9 梁励芬,董树忠,顾志光,李炳宗;Si(100)上生长的CoSi_2薄膜的STM研究[J];半导体学报;1997年01期
10 宋利民,胡家升;波长为1.03nm的掠入射多层膜反射镜的设计[J];光电子.激光;2002年04期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 王勇;杨宏卫;周卫;张怀若;杨宇;;Ge/Si多层膜的低角X射线衍射研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
2 易葵;邵建达;冯仕猛;祝国龙;范正修;;软X射线Mo/Si多层膜的时效实验研究[A];第六届全国激光科学技术青年学术交流会论文集[C];2001年
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 宋利民;软X射线多层膜反射镜的设计与制作[D];大连理工大学;2002年
2 白晓明;沉积条件对Ti/TiN,CrN/SiN_x纳米多层膜微观结构、界面结构和硬度的影响及其热稳定性[D];吉林大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 易葵;软x射线激光多层膜反射镜及分光元件的研制[D];浙江大学;2002年
2 张延志;八氧化三铀和金属铀表层结构的XRD研究[D];中国工程物理研究院北京研究生部;2003年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 陈克巧,徐勇;微波能应用研究现状与发展趋势[J];四川有色金属;1999年01期
2 杨世伟,李莉,罗兆红,王海江,刘金玲;钢铁常温快速发黑液[J];材料保护;1999年08期
3 木冠南,赵天培;铈(Ⅳ)离子和聚乙二醇辛基苯基醚(OP)对锌的缓蚀协同效应[J];材料保护;1999年10期
4 邓纶浩,何柳,郭忠诚,杨显万;Ni-W-B-SiC复合电镀中B的沉积机理及其对镀层硬度的影响[J];材料保护;1999年06期
5 汤爱涛,潘复生,丁培道,雍岐龙;新型高速钢及表面热处理的发展现状[J];材料导报;1999年05期
6 王剑华,郭玉忠,刘荣佩;溶胶-凝胶法制备SiO_2薄膜的研究[J];材料科学与工艺;1999年03期
7 张永俐,罗素华;SiC-Al梯度功能材料(FGM)的制备[J];材料科学与工程;1999年04期
8 苏畅,邓纶浩,何柳;太阳能吸热涂层的研究现状[J];电镀与环保;1999年05期
9 邓纶浩,郭忠诚;PTFE在复合镀层中应用及进展[J];电镀与环保;1999年02期
10 何柳,邓纶浩,苏畅;Ni-B合金及其复合镀层的研究现状及应用[J];电镀与环保;1999年03期
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 闫洪;2000年云南金属材料与加工年评[J];云南冶金;2001年02期
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 殷功杰,范正修,邵建达;小角衍射法精确测定Mo/Si软X射线多层膜的结构[J];中国激光;1993年12期
2 吴志强,吕向东,黄文勇,刘洪图,金怀诚,王昌燧,周贵恩,吴自勤;非晶态多层膜和单层膜的低角X射线衍射研究[J];物理学报;1987年05期
3 周国良,沈孝良,盛篪,蒋维栋,俞鸣人;Ge_xSi_(1-x)/Si超晶格的X射线小角衍射分析[J];物理学报;1991年01期
4 邵建达,范正修,王桂英,丁志华;多层膜结构和界面分析应用中的高分辨率透射电镜剖面分析[J];中国激光;1994年06期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 马忠元,杨宇,吴兴惠;超高真空磁控溅射Co/Si多层膜的X射线衍射分析[J];功能材料;1999年05期
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