收藏本站
《功能材料》 1990年03期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

SnO_2/Fe_2O_3多层结构薄膜型气敏元件的研究

马晓翠  阎大卫  戴国瑞  邹慧珠  
【摘要】:本文报导了采用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)方法制备 SnO_2/Fe_2O_3多层薄膜气体敏感材料及敏感元件的性质。所研制的多层薄膜在保持对乙醇有较高的灵敏度及较好的响应恢复时间的同时,其稳定件较单层膜有明显地改善。乙醇和汽油的分离倍数达10左右,对其它气体分离倍数更高。研究表明所制备的 SnO_2/Fe_2O_3薄膜材料可用于开发新型气敏元件。
【作者单位】

手机知网App
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 管玉国,戴国瑞,南金;多层薄膜高性能乙醇传感器[J];传感器技术;1997年02期
2 焦正,张耀华;多层薄膜气敏材料研究概况[J];功能材料;1998年05期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 佟雷;;光学薄膜的离子抛光[J];激光技术;1980年02期
2 王玉花;;小型彩色摄象机用滤色条制作技术[J];光电子技术;1982年02期
3 曾庆城,罗庆芳;镜面磨角法检测硅芯片上的多层薄膜[J];南昌大学学报(理科版);1983年01期
4 G. H. Olsen,程阜民;以(311)InP为衬底采用双管汽相外延工艺制作1.3μm连续工作激光器和1.0~1.7μm光电探测器[J];半导体光电;1983年01期
5 曾庆城;对国外IC芯片多层薄膜的简易检测技术[J];半导体技术;1984年03期
6 ;资料简介索引[J];红外技术;1985年01期
7 周茂树;;分子束外延生长HgCdTe合金膜的前景[J];红外与激光工程;1986年03期
8 安志超;LD—1型离子束镀膜机及其应用[J];微细加工技术;1987年Z2期
9 佐野直克;芦云蓉;;超晶格[J];微纳电子技术;1987年03期
10 罗文秀,谭忠恪;掺磷SnO_2多晶膜的研究[J];人工晶体学报;1989年02期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 王梦魁;王志凡;刘文磊;;关于SnO_2-CdO-WO_3系敏感陶瓷特性的研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
2 蔡珣;刘煊杰;茅及放;;适用于平面显示器透明电极的ZnS/Ag/ZnS纳米多层薄膜[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
3 李爱武;陈丽华;白旭东;吴连海;王修中;贾秀利;全宝富;;低阻SnO_2薄膜的制备及其性质研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
4 殷景华;蔡伟;王明光;李美成;赵连城;;磁控溅射PtSi/p-Si异质薄膜界面结构[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
5 张克立;陈晨;张勇;席美云;袁良杰;孙聚堂;;纳米吸波材料的合成和性能研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
6 杨海刚;项金钟;杨爱民;文建华;方静华;陈秀华;;纳米SnO_2/TiO_2复合粉体制备及其红外特性研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ[C];2004年
7 王黎;周嶅;毕文跃;;SnO_2纳米颗粒制备及其对溶胶-凝胶Sb:SnO_2薄膜性能的影响[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
8 黄庚;王文继;;Li_2O~SiO_2~V_2O_5~SnO_2体系的锂快离子导体研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
9 郝瑞英;雷智;郑家贵;冯良桓;蔡伟;武莉莉;张静全;;反应液加入H_2O_2制备本征SnO_2高阻薄膜[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
10 施卫;侯磊;;超声热解法制备SnO_2:F薄膜加热管及其性能研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 张孟军;神奇的多层薄膜材料[N];科技日报;2003年
2 ;高性能纳米复合稀土永磁薄膜制备成功[N];科技日报;2003年
3 ;高性能纳米复合稀土永磁薄膜制备成功[N];科学时报;2003年
4 国宾;国外食品新包装[N];中国食品质量报;2003年
5 石化;膜级切片品种开发形成系列化[N];中国包装报;2004年
6 ;凹凸形积极层包装材料成型工艺及其成型装置[N];中国包装报;2005年
7 吕纪增;大棚蔬菜怎样防冻[N];河南科技报;2005年
8 祝佳才;纳米PA6复合材料投产[N];科技日报;2005年
9 记者 冯国梧 通讯员 张国;我可再生能源研究取得新进展[N];科技日报;2005年
10 王壮凌;别出心裁的食品包装新技术[N];中国食品质量报;2005年
中国博士学位论文全文数据库 前9条
1 张茂林;纳米ZnO/SnO_2等复合光催化剂的制备及其降解有机污染物研究[D];中国科学院研究生院(广州地球化学研究所);2004年
2 杨成韬;光学多层薄膜结构及磁光性能研究[D];电子科技大学;2003年
3 贾建峰;多层铁电薄膜的制备及其电性能研究[D];兰州大学;2006年
4 何则强;SnO_2基锂离子电池负极材料的研究[D];中南大学;2004年
5 臧国忠;高压SnO_2压敏陶瓷研究及新型低压—高介压敏、无铅压电材料探索[D];山东大学;2006年
6 杜娟;P型透明导电氧化物薄膜的研究[D];浙江大学;2006年
7 卢迎习;层状组装聚合物薄膜的室温压印[D];吉林大学;2007年
8 罗国强;SnO_2-MnO_2-CuO-Sb_2O_3电极陶瓷材料的制备及其性能研究[D];武汉理工大学;2007年
9 王宇;SnO_2及Sn-Fe-Nb-O体系的合成与性质研究[D];吉林大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李春领;反应磁控溅射法制备玻璃基TiO_2/TiN/TiO_2多层薄膜的研究[D];武汉理工大学;2004年
2 陈红;SnO_2:F薄膜的光电特性[D];吉林大学;2004年
3 薛宝永;TiO_2-SnO_2复合半导体催化剂对气相污染物的光催化降解研究[D];吉林大学;2004年
4 童宏扬;以Ti为基体的电极材料的开发应用基础研究[D];扬州大学;2004年
5 张虹霞;微型气体传感器中SnO_2薄膜特性的计算机模拟[D];大连理工大学;2004年
6 张可成;负热膨胀SnO_2-ZrO_2-2WO_3系统微晶材料的研究[D];大连理工大学;2004年
7 刘志强;SnO_2气敏元件的修饰改性研究[D];吉林大学;2004年
8 敖伟琴;机械化学合成氧化物纳米晶及其复合掺杂的研究[D];中南大学;2003年
9 张馨;TiO_2与SnO_2:F纳米薄膜的制备与特性研究[D];吉林大学;2004年
10 胡盛华;二氧化锡基硫化氢气敏材料的改性研究[D];华东师范大学;2004年