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《物理与工程》 2004年01期
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微机电系统与微加速度计

张霞  
【摘要】:本文简要介绍了具有高新技术特征的微机电系统 ,以及一种典型的微机电系统器件———微加速度计
【作者单位】北京广播学院物理教研室
【分类号】:TH824.4

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 王喜珍;滕云田;;地震传感器的新技术与发展[J];地球物理学进展;2010年02期
2 胡雪梅;吕俊霞;;微机电系统的发展现状和应用[J];机电设备;2005年06期
3 闫冬;管欣;高振海;;基于MEMS技术的微惯性传感器及在汽车上的应用[J];汽车技术;2006年02期
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 周敬然;加速度传感器ICP关键制作工艺及检测电路的研究[D];吉林大学;2008年
2 李博;基于共振隧穿结构介观压阻效应的纳机电加速度计研究[D];中北大学;2008年
3 任明星;微米尺度构件金属型铸造成形规律研究[D];哈尔滨工业大学;2008年
4 杨闯;微熔模精铸过程微尺度成形及充型流动规律研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 董金虎;硅微谐振式加速度计的温度特性研究[D];南京理工大学;2012年
2 陈建军;GaAs基共振隧穿压阻式加速度计研究[D];中北大学;2006年
3 张峥;惯性步态测量系统的研究[D];武汉理工大学;2006年
4 李凯;基于ARM和RTOS嵌入式系统的加速度传感器的应用研究[D];扬州大学;2006年
5 王国田;微尺度构件微铸造成形工艺及组织性能研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
6 胡杰;介观压阻型加速度计的设计与性能测试[D];中北大学;2008年
7 丁金玲;差分式双轴加速度传感器的系统仿真及分析[D];哈尔滨工业大学;2007年
8 丁志新;基于MEMS加速度传感器人体模仿的设计与实现[D];华中科技大学;2008年
9 刘国文;GaAs基HEMT嵌入式加速度计结构与工艺设计研究[D];中北大学;2009年
10 周建文;闭环加速度计∑-△数字输出电路的设计[D];哈尔滨工业大学;2008年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 何晓燕;王庆春;;CMOS反相器电压传输特性的分析和仿真[J];安康师专学报;2006年02期
2 杨道虹,董典红,徐晨,张剑铭,阳启明,沈光地;激光在MEMS键合技术中的应用[J];半导体光电;2004年02期
3 孙晓峰,王海燕,卢景霄,李维强;大面积多晶硅绒面的制备[J];半导体光电;2004年03期
4 武智平;潘淼;庞爱锁;李艳华;陈朝;;物理冶金法多晶硅片磷吸杂工艺的优化[J];半导体光电;2011年05期
5 聂磊;史铁林;廖广兰;钟飞;;Cr掩模在硅湿法刻蚀中的应用研究[J];半导体技术;2005年12期
6 霍文晓;徐晨;杨道虹;赵林林;赵慧;沈光地;;CF_4等离子处理在低温硅片直接键合中的应用[J];半导体技术;2006年04期
7 刘兵武;张兆华;谭智敏;林惠旺;刘理天;;用于MEMS器件的单面溅金硅共晶键合技术[J];半导体技术;2006年12期
8 陈德英;浓硼硅腐蚀自停止的研究[J];半导体技术;1998年05期
9 邝小飞,金湘亮;集成电路技术发展的物理极限挑战与对策[J];半导体情报;2001年05期
10 鞠挥,吴一辉,王立鼎;硅光栅的制作与应用[J];微纳电子技术;2002年02期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 刘国文;薛旭;张承亮;万蔡辛;刘雪松;李丹东;;一种“三明治”加速度传感器研究[A];微机电惯性技术的发展现状与趋势——惯性技术发展动态发展方向研讨会文集[C];2011年
2 张治国;陈信琦;李颖;唐慧;;电容式硅加速度传感器的研制[A];中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会论文集[C];2004年
3 马望京;赵艳艳;段培成;李智;;传统卤化银感光材料的生产工艺与集成电路制造工艺比较研究[A];中国感光学会影像材料的研究与应用学术研讨会论文集[C];2007年
4 何胜;赵采凡;王巍;朱红生;;“三明治式”硅微加速度计工程化研究[A];中国惯性技术学会第五届学术年会论文集[C];2003年
5 罗蓉;徐爱东;王玮;吕苗;;一种可以实现快速检测的微振荡型PCR芯片[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
6 周再发;黄庆安;李伟华;王涓;孙岳明;;用3D动态元胞自动机模型模拟硅的各向异性腐蚀过程[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
7 张海涛;于晓梅;王小保;张大成;;MEMS与SOI CMOS单片集成的模拟研究[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
8 赵林林;徐晨;杨道虹;霍文晓;赵慧;沈光地;;金硅共晶键合在微机械Golay-cell红外探测器中的应用[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
9 赵慧;徐晨;霍文晓;赵林林;沈光地;邹德恕;;一种适用于薄膜结构的静电键合方法[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
10 吕树海;罗蓉;杨拥军;吕苗;;SDB技术在MEMS加速度计中的应用[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 石晶;基于硅微通道板的新型三维传感器[D];华东师范大学;2011年
2 孙丽波;微板多物理场耦合非线性动力学研究[D];燕山大学;2011年
3 孟凡涛;纳米光刻技术及其在三端结器件和纳米光栅偏振器中的应用[D];大连理工大学;2011年
4 慈朋亮;硅微通道板制备及其热电性能研究[D];华东师范大学;2011年
5 闫社平;硅纳米线的机电特性研究[D];浙江大学;2011年
6 汪涛;UMBIRFPA的计算机仿真及非均匀性校正研究[D];重庆大学;2001年
7 姜成山;转基因微细作业系统中超微量注射及双目时分立体成像技术的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2002年
8 徐峥谊;微机械热电堆红外探测器[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2002年
9 刘卫丽;多孔硅外延层转移SOI新材料制备与改性多孔硅发光性能的研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2002年
10 席占稳;MEMS传感器及在引信中的应用研究[D];南京理工大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王博;辐射桥面发射激光器工艺与测试[D];长春理工大学;2010年
2 吴江宏;晶体硅太阳电池表面织构化工艺的研究[D];五邑大学;2010年
3 李国熠;硅基长波红外光波导器件的研究[D];浙江大学;2011年
4 朱华章;基于电磁带隙的RF MEMS可切换滤波器研究[D];北京邮电大学;2011年
5 张小斌;10位流水线A/D转换器的研究与实现[D];华南理工大学;2011年
6 张安元;湿法刻蚀制备黑硅及性能研究[D];电子科技大学;2011年
7 薛阳;硅微通道电化学腐蚀过程中的输运特性[D];长春理工大学;2011年
8 路昱;二维硅光子晶体制备及带隙研究[D];长春理工大学;2011年
9 姜振华;多孔硅的制备及发光特性的研究[D];长春理工大学;2011年
10 毛胜平;闭锁电热双稳态微开关研究[D];上海交通大学;2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 高红,李庆绵;真空蒸发镀膜膜厚影响因素的实验研究[J];鞍山师范学院学报;2003年02期
2 何进,陈星弼,杨传仁,王新;直接键合硅片的亲水处理及其表征[J];半导体技术;1999年05期
3 袁明权;硅基微机械加工技术[J];半导体技术;2001年08期
4 王勇刚,马骁宇,吕卉,王丽明,刘媛媛;宽带半导体可饱和吸收镜研制方法及选择腐蚀研究[J];半导体技术;2004年07期
5 王振宇,成立,祝俊;微/纳米级微电子机械系统制造新技术[J];半导体技术;2005年08期
6 张威,张大成,王阳元;MEMS概况及发展趋势[J];微纳电子技术;2002年01期
7 郭维廉,梁惠来,张世林,牛萍娟,毛陆虹,赵振波,郝景臣,魏碧华,张豫黔,宋婉华,杨中月;共振隧穿二极管[J];微纳电子技术;2002年05期
8 谢自力,邱凯,尹志军,方晓华,陈建炉,蒋朝辉;Al_xGa_(1-x)As/GaAs调制掺杂结构的MBE优化工艺生长[J];微纳电子技术;2002年08期
9 王泗禹,康剑;半导体微细加工中的刻蚀设备及工艺[J];微纳电子技术;2002年11期
10 温廷敦,张文栋;介观压阻效应[J];微纳电子技术;2003年Z1期
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 易婷;高性能∑△模数转换器设计[D];复旦大学;2002年
2 刘清梅;超声波对金属凝固特性及组织影响的研究[D];上海大学;2007年
3 任明星;微米尺度构件金属型铸造成形规律研究[D];哈尔滨工业大学;2008年
4 隋艳伟;钛合金立式离心铸造缺陷形成与演化规律[D];哈尔滨工业大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李浩;小量程悬臂梁微机械压阻式加速度传感器研究[D];中国科学院上海冶金研究所;2001年
2 郝颖;微机械加速度计的测试与应用研究[D];哈尔滨工程大学;2002年
3 陈光炎;真空微电子加速度传感器的研究[D];重庆大学;2002年
4 寇剑菊;叉指式微加速度计的系统仿真分析[D];中国工程物理研究院北京研究生部;2003年
5 侯占民;微型三轴振动传感器的设计[D];哈尔滨工程大学;2003年
6 杨朝辉;扁平驻极体微电机的研究与仿真[D];西北工业大学;2004年
7 高强业;硅微加速度计的特性及应用研究[D];国防科学技术大学;2003年
8 钟福如;硅电容式加速度传感器及其读出电路设计研究[D];电子科技大学;2005年
9 李伟;高g值硅微加速度计的结构设计与分析[D];南京理工大学;2005年
10 李清梅;石英挠性加速度计温度误差建模与补偿技术研究[D];国防科学技术大学;2005年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 周敬然;张海英;瞿鹏飞;董玮;刘彩霞;;ICP刻蚀在微加速度传感器制作中的应用[J];微纳电子技术;2010年11期
2 王劲松;王令军;王婷;张立勋;;不同步速下人体步态规律的测量与研究[J];传感器与微系统;2008年09期
3 刘军;何国国;岳兴连;罗石;吴硕开;;基于IMEMS传感器的汽车运动姿态测量系统研究[J];传感器与微系统;2009年11期
4 唐军;郭浩;刘俊;赵锐;;硅基外延GaAs材料的力学仿真分析[J];传感器与微系统;2012年05期
5 吕良;邓中亮;刘玉德;辛洪兵;;基于MEMS技术的汽车传感器研究进展[J];电工技术学报;2007年04期
6 王喜珍;滕云田;;地震传感器的新技术与发展[J];地球物理学进展;2010年02期
7 杨卓青;丁桂甫;蔡豪刚;付世;赵小林;;基于非硅表面微加工的MEMS惯性开关设计与动力学仿真[J];功能材料与器件学报;2008年03期
8 曹双兰;林君;杨泓渊;陈祖斌;张林行;;用于深部探测的地震检波器低频拓展技术[J];地球物理学进展;2012年05期
9 郭浩;唐军;张斌珍;刘俊;薛慧;丁宇凯;;MEMS传感器敏感单元RTD的力敏特性优化[J];传感技术学报;2012年10期
10 胡星星;滕云田;谢凡;王喜珍;李彩华;王晓美;;基于MEMS传感器的速度型地震计技术研究[J];地球物理学进展;2013年01期
中国重要会议论文全文数据库 前3条
1 陈述官;黄军辉;;MEMS传感器在汽车电子上的应用研究与展望[A];教育部中南地区高等学校电子电气基础课教学研究会第二十届学术年会会议论文集(下册)[C];2010年
2 杨卓青;丁(火圭)甫;蔡豪刚;赵小林;;基于UV-LIGA工艺的微型惯性电学开关的封装与测试[A];2007年上海市电子电镀学术年会论文集[C];2007年
3 贾继伟;金延中;张凤翠;;浅析微机电(MEMS)系统技术及其应用[A];十三省区市机械工程学会第五届科技论坛论文集[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 瞿鹏飞;用于光控相控阵的微波光子移相器的研究[D];吉林大学;2011年
2 杨海波;多孔硅基MEMS非制冷红外探测器微结构与工艺研究[D];天津大学;2010年
3 孙丽波;微板多物理场耦合非线性动力学研究[D];燕山大学;2011年
4 刘恒;静电刚度谐振式微加速度计相关技术研究[D];重庆大学;2011年
5 谢勇君;MEMS微结构动态测试方法及关键技术研究[D];华中科技大学;2006年
6 周敬然;加速度传感器ICP关键制作工艺及检测电路的研究[D];吉林大学;2008年
7 千承辉;基于嵌入式实时系统的汽车检测线测控系统研究[D];吉林大学;2008年
8 房振乾;微电子机械系统(MEMS)中介孔硅材料的热学、力学及电学特性研究[D];天津大学;2007年
9 陈宏;全对称双级解耦微机械振动式陀螺研究[D];哈尔滨工业大学;2008年
10 宋瑞良;共振隧穿器件的研制及模拟研究[D];天津大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 刘晓艳;基于惯性测量单元及GPS的运动记录技术研究[D];吉林大学;2011年
2 李力;基于惯性调控的主动悬架技术研究[D];吉林大学;2011年
3 王瑞荣;静电驱动硅基介观压阻式微陀螺仪设计与相关陀螺测试[D];中北大学;2011年
4 谭振新;HEMT嵌入式微加速度计的优化设计与测试[D];中北大学;2011年
5 李志超;微机电安全与解除保险机构驱动器设计[D];南京理工大学;2011年
6 褚鸿杰;微流体陀螺仪驱动与检测技术研究[D];南京理工大学;2011年
7 张健伟;基于OBIS的机动车运行安全姿态监测平台的研制[D];华南理工大学;2011年
8 张恒智;基于3轴加速信号的信号分析与运动监测[D];华南理工大学;2011年
9 刘亚;基于Blackfin531的惯性跟踪模块的设计[D];电子科技大学;2011年
10 杨海波;面向MEMS非制冷红外探测器的多孔硅绝热层及力学性能研究[D];天津大学;2007年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 蒋庆华;苑伟政;常洪龙;;面向无人机的单芯片惯性测量组合[J];航空工程进展;2010年01期
2 何高法;唐一科;何晓平;刘世明;;一种新型谐振式微加速度计设计和分析[J];微纳电子技术;2007年Z1期
3 徐平;张勇;侯占强;江平;;基于MS3110的差分电容检测方法研究及其电磁兼容性设计[J];仪表技术与传感器;2008年05期
4 崔峰;苏宇锋;张卫平;吴校生;陈文元;赵小林;;静电悬浮转子微陀螺及其关键技术[J];中国惯性技术学报;2005年06期
5 毛尧辉;苑伟政;虞益挺;;基于MEMS技术的无线加速度测量系统[J];微纳电子技术;2006年05期
6 张霞;微机电系统与微加速度计[J];物理与工程;2004年01期
7 黄军辉;陈述官;廖中文;王海林;;MEMS传感器在汽车电子上的应用研究与展望[J];拖拉机与农用运输车;2011年02期
8 肖鹏,王冰;基于MEMS微加速度计的无视觉传感器防摇控制系统研究[J];机电工程;2005年01期
9 张斌珍;李科杰;张文栋;薛晨阳;王建;;基于共振隧穿压阻薄膜的GaAs基微加速度计研究[J];中北大学学报(自然科学版);2006年05期
10 陈义华;王凌云;孙道恒;;基于MEMS技术的微型惯性测量组合[J];自动化博览;2005年S2期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 万蔡辛;李丹东;张承亮;冯强;郑旭东;;电容式微加速度计的整流误差与减震浅析[A];微机电惯性技术的发展现状与趋势——惯性技术发展动态发展方向研讨会文集[C];2011年
2 何高法;唐一科;何晓平;刘世明;;一种新型谐振式微加速度计设计和分析[A];第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集[C];2007年
3 王晓东;余家欣;陈磊;钱林茂;;水分和氧气对单晶硅摩擦化学行为的影响[A];2011年全国青年摩擦学与表面工程学术会议论文集[C];2011年
4 李圣怡;刘宗林;吴学忠;;微加速度计的发展[A];全国生产工程第九届年会暨第四届青年科技工作者学术会议论文集(二)[C];2004年
5 徐爱东;杨拥军;卢新艳;;MEMS惯性器件的新进展及应用[A];2010’全国半导体器件技术研讨会论文集[C];2010年
6 胡莉;李茜;;微加速度计[A];中国自动化学会、中国仪器仪表学会2004年西南三省一市自动化与仪器仪表学术年会论文集[C];2004年
7 杨慧;郭航;;压电式微加速度计的研究[A];第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会摘要集[C];2006年
8 何晓平;张德;文贵印;;“叉指”结构微加速度计的系统设计[A];中国工程物理研究院科技年报(2002)[C];2002年
9 何晓平;;“叉指”式静电伺服微加速度计敏感芯片的设计[A];中国工程物理研究院科技年报(2005)[C];2005年
10 邱波;姜利军;;MEMS传感技术在飞机系统测试中的应用研究[A];2011航空试验测试技术学术交流会论文集[C];2010年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 陈丹;科学家研制出可自我校准的微机电系统[N];科技日报;2010年
2 本报记者 郑晋鸣 本报通讯员 陆金玉;一生只为一件事[N];光明日报;2010年
3 本报记者 黄真;7%:既必要又可能[N];中国信息报;2002年
4 ;跟杨力学养生多活十年[N];中国邮政报;2004年
5 深圳特区报记者 孟迷;给力或不给力:2010年的文化“力学”[N];深圳特区报;2010年
6 刘德友;新中国一代力学宗师[N];中国水利报;2011年
7 刘静丽 齐乾屈 金星;在煤海中奏出力学的优美乐章[N];中国矿业报;2003年
8 记者 万川明;徐光春会见来豫参加中国力学学会2009年学术大会的院士[N];河南日报;2009年
9 航天航空学院党委书记 庄茁;传承力学伟业 再创航空辉煌[N];新清华;2011年
10 本报记者 刘玉;他是一座宏伟的“桥”[N];中国教育报;2009年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 祝捷;微机电系统自聚焦压电声学换能器[D];武汉大学;2010年
2 刘恒;静电刚度谐振式微加速度计相关技术研究[D];重庆大学;2011年
3 周吴;微加速度计的机电耦合特性及关键技术研究[D];西南交通大学;2010年
4 刘宗林;电容式微惯性器件设计理论与方法研究[D];国防科学技术大学;2004年
5 俞必强;多学科设计优化及在MEMS设计中应用的研究[D];北京科技大学;2006年
6 戴强;基于SOI的电容式微加速度计器件物理模型与实验研究[D];电子科技大学;2010年
7 李燕斌;静电梳齿结构的MEMS分析和优化设计[D];华中科技大学;2008年
8 刘云涛;电容式SIGMA-DELTA微加速度计接口ASIC芯片研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
9 曹钟慧;应用于光通信的非硅基底光开关与光衰减器的研究[D];浙江大学;2005年
10 钟莹;微机电系统谐振器面内运动检测的激光多普勒方法[D];天津大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 万镇;六轴静电悬浮微加速度计的设计及系统级仿真[D];上海交通大学;2012年
2 何江波;支撑梁有误差的力平衡式微加速度计性能研究[D];西南交通大学;2011年
3 李杨;三维无线能量传输技术在体内微机电系统中的实验研究[D];华南理工大学;2011年
4 赵文静;基于SOI技术的MEMS惯性加速度计的设计与优化[D];电子科技大学;2010年
5 王兴华;单片三轴微加速度计关键技术研究[D];国防科学技术大学;2011年
6 朱铭哲;二阶全差分ΣΔ微加速度计接口电路的设计[D];哈尔滨工业大学;2010年
7 牛正一;单片集成三轴微加速度计关键技术研究[D];国防科学技术大学;2010年
8 李文燕;复合量程微加速度计温度补偿的研究[D];中北大学;2012年
9 张运奎;多梁支撑圆盘电容式微加速度计测控系统的研究[D];上海交通大学;2012年
10 秦愿;六轴静电悬浮微加速度计的控制系统研究[D];上海交通大学;2011年
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