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《工具技术》 2009年02期
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类金刚石薄膜纳米摩擦性能的试验研究

张晶  范真  
【摘要】:利用摩擦力显微镜(FFM),对由等离子体增强化学气相法沉积的类金刚石(DLC)薄膜的纳米摩擦性能进行了试验研究。用原子力显微镜(AFM)观察了DLC薄膜样品的表面形貌,同时测定了其粘附力值。从外加载荷、扫描速度和湿度的角度分析了薄膜的摩擦特性。
【作者单位】镇江高等专科学校机械系;江苏大学;
【分类号】:TB383.2

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