收藏本站
《工具技术》 1994年01期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

光栅干涉仪在高精密测量中的技术和应用

周维来  
【摘要】:@在车间条件下操作时 近几年市场上出现的光栅干涉仪在测量精度方面常优于He-Ne激光干涉仪.它有一些特别的优点 如在变化的环境空气条件下好的稳定性及通过尺体材料的选择对各应用状况的热膨涨系数的匹配能力 导致这些系统在高精密测量中用途的增加.本文阐述了光栅干涉仪的工作原理和特点 以及在这一技术基础上已经实现的一些测量系统.
【分类号】:TH744.3

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 梁浩明;;衍射光栅刻划机拉簧减振基础[J];分析仪器;1980年04期
2 梁浩明;郝德阜;;衍射光栅自刻法[J];光学精密工程;1983年01期
3 郝德阜;;衍射光栅的半波相位差面及其与光栅误差的关系[J];光学精密工程;1983年05期
4 Emmett N.Leith;R.Hershey;纳斯;;光栅干涉仪中的传递函数和空间滤波[J];应用光学;1985年06期
5 明海,谢建平,李明,陈农;纳光灯光栅干涉仪及其应用[J];量子电子学报;1988年04期
6 廉闻宇,张福祥;真实火箭射流冲击流场中激波结构的实验研究[J];力学学报;1990年06期
7 明海,李戟,谢建平;半导体激光泰伯干涉仪和夹层光栅干涉术[J];光电工程;1990年02期
8 郝德阜;;光栅干涉仪的运动误差原理[J];光学精密工程;1990年05期
9 王一凡;;光盘伺服槽及预制格式刻划机计算机检测系统及机械传动链频谱分析[J];光学精密工程;1991年02期
10 王一凡;王立鼎;;一种高精度机械传动链传动误差的检测系统[J];光学精密工程;1991年06期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 李树秋;郑万波;杨永健;;单片机160细分的原理和实现[A];第七届青年学术会议论文集[C];2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 刘玉圣;高精度线性衍射光栅干涉仪系统的研制[D];合肥工业大学;2006年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026